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公开(公告)号：JPS57196443A
公开(公告)日：1982-12-02
申请号：JP8204981
申请日：1981-05-29
Applicant: DENKI KAGAKU KOGYO KK
Inventor： WADA TETSUYA , ISHII MASAJI , MIYAI AKIRA , HAGIWARA HIROTOSHI
Abstract: PURPOSE:To achieve both prevention of the oxidation of a cathodic chip and prevention of the reaction between the cathodic chip and a high-melting-point supporting metal by joining the cathodic chip and the supporting metal by means of a paste containing both colloidal carbon and a reaction-barrier member, and sintering the paste applied between the cathodic chip and the supporting metal in an inactive atmosphere. CONSTITUTION:A hot cathode in this invention, as shown in the figure, cinsists of a tungsten wire 3 and a cathodic hexaboride chip 4 held at the center of the wire 3, and as the result, has a notably improved luminance and a widely extended life. A tantalum cup 5, which supports the cathodic chip 4 made of polycrystal lanthanum hexaboride, is prepared by shaping a tantalum plate having 0.1mm. thickness and used as a supporting metal into form with ?-shaped section. A paste 6 is prepared by mixing colloidal carbon and titanium powder in a ratio by volume of 1 to 5 before the mixture is mixed into water, and is applied between the chip 4 and the cup 5 so as to make them to stick together. Then, thus applied paste 6 makes a reaction-barrier layer after being heated for about 15 minutes, and becomes in mechanical and thermal contact with both the chip 4 and the cup 5.
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公开(公告)号：JP6548179B1
公开(公告)日：2019-07-24
申请号：JP2018051579
申请日：2018-03-19
Applicant: 株式会社PARAM
IPC: H01J37/06 , H01L21/027 , H01J1/148 , H01J37/065
Abstract: 【課題】電子銃の高輝度化と長寿命化を達成する。 【解決手段】主としてLaB 6 またはCeB 6 を元にした電子銃陰極材料105を用いた電子銃に関する。電子銃陰極材料105を保持する真空室内部に、メタンガスまたはエタンガスを1×10 −4 pascal以下の真空分圧となるように流入せしめて、1000℃から1500℃の温度範囲で加熱する。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JPWO2018016286A1
公开(公告)日：2019-05-09
申请号：JP2017023933
申请日：2017-06-29
Applicant: デンカ株式会社
Abstract: 電子放出材料の消耗を抑制することができる、電子源を提供する。 本発明によれば、電子放出材料と、前記電子放出材料の側面を被覆する電子放出制限材料とを有する電子源であって、前記電子放出制限材料の仕事関数が前記電子放出材料の仕事関数よりも高く、前記電子放出制限材料の熱輻射率が電子放出材料の熱輻射率よりも低いことを特徴とする電子源が提供される。
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公开(公告)号：JP2018113250A
公开(公告)日：2018-07-19
申请号：JP2017235482
申请日：2017-12-07
Inventor： ヴィクター カツァプ
Abstract: 【課題】カソードチップの形態学的完全性を高めることが可能なカソード製造方法を提供する。 【解決手段】円錐形状面を有する上側テーパ部と、平坦面切頂チップと、を備える、LaB 6 単結晶のエミッタ構造を形成し、前駆体LaB 6 カソードを得るために切頂チップの平坦面をカーボンコーティングが無い状態に保ちつつ少なくとも上側テーパ部の円錐面にカーボンコーティングを塗布し、前駆体LaB 6 カソードを1×10 −7 〜1×10 −8 Torrの真空下で1700K〜2000Kの温度まで初期加熱を行い、初期加熱が施された前駆体LaB 6 カソードを周囲温度まで冷却し、周囲温度の前駆体LaB 6 カソードを、水蒸気を含む大気に晒し、LaB 6 カソードを得るために1×10 −7 〜1×10 −8 Torrの真空下において1700K〜2000Kの放出温度で前駆体LaB 6 カソードの第2の加熱を行なうことを特徴とする。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JPS5796437A
公开(公告)日：1982-06-15
申请号：JP17341580
申请日：1980-12-09
Applicant: DENKI KAGAKU KOGYO KK
Inventor： ISHII MASAJI , HAGIWARA HIROTOSHI , HIRAOKA HIDEO
Abstract: PURPOSE:To reduce the aging of the strength of an electron beam by forming an inherent natural face in the axial direction of a single crystal at the tip of a cathode made of a single crystal having hexa calcium boride type crystal structre. CONSTITUTION:The tip of a single crystal 1 having the hexa calcium boride type crystal structure is shapened through the field grinding to form a cathode tip section 4 made of a conical face 2 and a top section 3. Then it is thermally processed for 3-100hr under the temperature of 1,400-1,650 deg.C and the vacuum of 10 Torr. Consequently a plurality of inherent and natural faces are formed in the axial direction of the crystal on said top section 3 to produce a polyhedron. Alternatively the natural face may be formed through the chemical ethcing of nitric acid of higher than 20wt% for 20-300sec.. Consequently a thermodynamically stable face is formed at the top section resulting in the reduction of the aging of the strength of the electron beam.
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：JP2021153051A
公开(公告)日：2021-09-30
申请号：JP2021048709
申请日：2021-03-23
Applicant: エフ イー アイ カンパニ , FEI COMPANY
Inventor： クン リウ , スティーブン ジェイ.ランドルフ
Abstract: 【課題】重大な劣化なしに、かつ構造の他の要素によって加えられる圧縮力でエミッタを所定の位置にクランプまたは保持する必要なしに、ビーム生成エミッタと荷電粒子ビーム(CPB)システムの光軸との改善された位置合わせ、ならびに高温での長期の安定した信頼性のある動作をする荷電粒子ビーム(CPB)源の提供。 【解決手段】荷電粒子ビーム源は、ベースに連結された導電性支持部材208と、支持部材208に連結されボアを画定する取り付け部材216と、ボア内に受容されたエミッタ部材224であって、エミッタ部材224はボア内のエミッタ部材224の周りに流される固定材料層242によって保持される。 【選択図】図3
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公开(公告)号：JP2005228741A
公开(公告)日：2005-08-25
申请号：JP2005018549
申请日：2005-01-26
Applicant: Nuflare Technology Inc , 株式会社ニューフレアテクノロジー
Inventor： KATSAP VICTOR
CPC classification number: H01J9/042 , H01J1/148 , H01J1/15 , H01J2201/19 , H01J2237/06308
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To elongate life of and improve electrooptic performance of a thermionic cathode for a device using electron beams such as a lithography device, a scanning electron microscope (SEM), and a transmission electron microscope (TEM). SOLUTION: The thermionic cathode of an improved type is provided with a conical part with its outside face covered with a carbon film having a comparatively small conical angle of not more than 60°, and has large angular intensity and brightness of emitted electron beams and a long life. COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI
Abstract translation: 要解决的问题：为了延长使用诸如光刻装置，扫描电子显微镜（SEM）和透射电子显微镜（TEM）的电子束的装置的热离子阴极的寿命并提高电离性能。 解决方案：改进型的热离子阴极设置有圆锥形部分，其外表面覆盖有不大于60°的较小锥角的碳膜，并且具有大的角度强度和发射电子的亮度 梁和寿命长。 版权所有（C）2005，JPO＆NCIPI
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公开(公告)号：JP2976013B2
公开(公告)日：1999-11-10
申请号：JP34989195
申请日：1995-12-21
Applicant: KAGAKU GIJUTSUCHO MUKIZAISHITSU KENKYUSHOCHO
Inventor： OOTANI SHIGEKI , SODA RYUTARO , ISHIZAWA YOSHIO
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公开(公告)号：JPH0146976B2
公开(公告)日：1989-10-12
申请号：JP8204981
申请日：1981-05-29
Applicant: DENKI KAGAKU KOGYO KK
Inventor： WADA TETSUYA , ISHII MASAJI , MYAI AKIRA , HAGIWARA HIROTOSHI
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