評価装置及び評価方法
    12.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2018205092A

    公开(公告)日:2018-12-27

    申请号:JP2017110146

    申请日:2017-06-02

    Abstract: 【課題】センサ部の誤差や測定対象物の形状変化に拘わらず、測定対象物の加工精度を正確に評価する。 【解決手段】第1形状データ取得部711は、センサ部130を位置Z1に位置決めし、溝402の溝断面Q1の形状をセンサ部130に測定させて第1形状データを取得する。第2形状データ取得部712は、センサ部130を位置Z2に位置決めし、ステージ110により中心軸CZと平行に移動される測定対象物300の溝302の溝断面Q2の形状をセンサ部130に連続的又は断続的に測定させて1又は複数の第2形状データを取得する。評価部713は、第2形状データ取得部712で特定された第2形状データと第1形状データとの差分に基づいて位置ZDの溝断面の形状を評価する。 【選択図】図2

    オイルミスト除去装置の異常診断装置
    16.
    发明专利
    オイルミスト除去装置の異常診断装置 有权
    油雾去除装置异常诊断装置

    公开(公告)号:JP2016140789A

    公开(公告)日:2016-08-08

    申请号:JP2015016684

    申请日:2015-01-30

    Abstract: 【課題】気体に含まれるオイルミストを除去する複数段のオイルミスト除去装置について、各段のオイルミスト除去装置の異常が診断できるオイルミスト除去装置の異常診断装置を提供する。 【解決手段】オイルミスト除去装置の異常診断装置1aは、複数段のオイルミスト除去装置7のそれぞれについて、オイルミスト除去装置7に入る気体に含まれるオイルミストの量、及び、オイルミスト除去装置7から出てきた気体に含まれるオイルミストの量を変数とする所定式を用いて、指標値を算出する算出部33と、複数段のオイルミスト除去装置7のそれぞれの指標値を、予め定められた第1の基準値と比較して、複数段のオイルミスト除去装置7のそれぞれについて、異常か否かを判定する第1の判定部35と、を備える。 【選択図】図1

    Abstract translation: 要解决的问题:提供能够诊断多级除油装置的各阶段的异常的除油装置的异常诊断装置,其除去气体中所含的油雾。解决方案:异常诊断装置1a 油雾除去装置的计算部包括:计算部33,其通过使用其变量是进入油雾去除部7的气体中所含有的油雾量的预定表达式和包含在油雾除去装置7中的油雾量来计算指标值 相对于油雾除去装置7的多个级中的每一个,从油雾去除部7出来的气体; 以及第一判断部35,其将多级油雾除去装置7的指标值与第一规定基准值进行比较,判断多级除油装置7是否异常。 选择图:图1

    回転機の異常診断装置、回転機の異常診断方法、及び、回転機
    18.
    发明专利
    回転機の異常診断装置、回転機の異常診断方法、及び、回転機 有权
    旋转机非正常诊断装置,旋转机异步诊断方法及旋转机

    公开(公告)号:JP2016057247A

    公开(公告)日:2016-04-21

    申请号:JP2014185820

    申请日:2014-09-12

    CPC classification number: G01H17/00 G01M99/00

    Abstract: 【課題】第1の回転体と第2の回転体とが接触しているか否かを正確に判定できる回転機の異常診断装置を提供する。 【解決手段】複数の凸部を有する第1の回転体2と、凸部の数と異なる数の複数の凹部を有する第2の回転体3と、を備え、第1の回転体2と第2の回転体3とが回転することにより、対応する凸部と凹部とが順番に噛み合う回転機1に関して、回転機1から生じる弾性波の強度と時間との関係を示す信号Sを、時間周波数解析して得られたデータである第1のデータから、所定の周波数成分の強度と時間との関係を示すデータである第2のデータを抽出し、第1の回転体2の回転周期をT1、第2の回転体3の回転周期をT2、複数の凸部の数と複数の凹部の数との比率をa:bとし、第2のデータに、T1×b=T2×aで示される周期の強度変動が含まれている場合、第1の回転体2と第2の回転体3とが接触していると判定する。 【選択図】図1

    Abstract translation: 要解决的问题:提供一种能够精确地确定第一转子是否与第二转子接触的旋转机械的异常诊断装置。解决方案:旋转机械的异常诊断装置包括:具有第一转子2的第一转子2, 多个突起; 以及具有与突起数目不同的多个凹部的第二转子3。 第二数据是表示预定频率分量的强度和时间之间的关系的数据,从作为通过对表示强度和时间的关系的信号S执行时间频率分析获得的数据的第一数据提取 旋转机1相对于旋转机1产生的弹性波,其中相应的突起和凹槽通过第一转子2和第二转子3的旋转依次彼此接合。随着旋转机构1的旋转频率 第一转子2被定义为T1,转子3的旋转频率被定义为T2,并且多个突起的数量与凹部的数量的比率为a:b。 当第二数据包括T1×b = T2×a所示的强度波动时,第一转子2和第二转子3被确定为彼此接触。选择的图:图1

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