公开(公告)号：JP2013156260A

公开(公告)日：2013-08-15

申请号：JP2013017041

申请日：2013-01-31

Applicant: Freescale Semiconductor Inc ,  フリースケール セミコンダクター インコーポレイテッド

Inventor： HEINZ LORECK ,  KEITH L KRAVER ,  LI GARY G ,  LIN YIZHEN

IPC: G01C19/574 ,  G01C19/5712

CPC classification number: G01C19/5733 ,  G01C19/574

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To eliminate performance restriction resulting from various designs and manufacturing defects in a MEMS gyroscope.SOLUTION: A micro electro mechanical systems (MEMS) transducer (100, 700) uses a sensing electrode connected so as to add pickup values (for example, 102/107, 802/807) diagonally from a sensing mass structure pair to cancel a signal to be associated with rotation vibrations to be adapted to use horizontal shaft vibrations to generate nonplanar vibrations in a seesaw type sensing mass structure pair (120/140, 720/730) in response to the rotation motion of a transducer centering on rotational axes (170, 770).

Abstract translation: 要解决的问题：消除由MEMS陀螺仪中的各种设计和制造缺陷引起的性能限制。解决方案：微机电系统（MEMS）传感器（100,700）使用感测电极连接，以增加拾取值（适用于 例如102/107,802 / 807），以抵消与旋转振动相关联的信号，以适应于使用水平轴振动来产生跷跷板型感测质量结构对（120/107/802/808）中的非平面振动， 响应于以旋转轴线（170,770）为中心的传感器的旋转运动，140,720 / 730。

公开(公告)号：JPWO2011093077A1

公开(公告)日：2013-05-30

申请号：JP2011551764

申请日：2011-01-27

Applicant: パナソニック株式会社

Inventor： 今中　崇 ,  崇 今中 ,  宏幸 相澤 ,  宏幸 相澤

IPC: G01C19/5621 ,  G01C19/574

CPC classification number: G01C19/574

Abstract: 角速度センサは、互いに直交するX軸、Y軸、Z軸において、支持体と、支持体に結合する保持部と、第1から第4の錘と、第1から第4のアームと、第1から第4のアームを駆動させる駆動ユニットと、第1から第4のアームの変位を検出するモニタユニットと、第1から第4のアームの変位を検出する検出ユニットとを備える。検出ユニットはX軸と平行な軸に関して対称に設けられており、かつY軸に平行な軸に関して対称に設けられている。この角速度センサは、加速度や衝撃等の外乱に起因する不要信号を相殺することができ、高精度に角速度を検出することができる。

公开(公告)号：JP2013083662A

公开(公告)日：2013-05-09

申请号：JP2012281176

申请日：2012-12-25

Applicant: Analog Devices Inc ,  アナログ デバイシス, インコーポレイテッド

Inventor： JOHN A GEEN ,  JINBO KUANG

IPC: G01C19/5747 ,  B81B3/00

CPC classification number: G01C19/574

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inertial sensor.SOLUTION: An inertial sensor comprises a cross-quad configuration of four interconnected sensor elements 50A, 50B, 50C, and 50D. Each sensor element comprises: frames 52A, 52B, 52C, and 52D; and resonators 54A, 54B, 54C, and 54D suspended within the frames. The sensor elements are arranged so that the frames of adjacent sensor elements are allowed to move in anti-phase with one another but are substantially prevented from moving in the same phase with one another. The sensor elements are configured in a horizontally coupled arrangement, a vertically coupled arrangement, or a fully coupled arrangement. A pair of sensor elements may be vertically coupled.

Abstract translation: 要解决的问题：提供惯性传感器。 解决方案：惯性传感器包括四个互连的传感器元件50A，50B，50C和50D的十字形配置。 每个传感器元件包括：框架52A，52B，52C和52D; 以及悬挂在框架内的谐振器54A，54B，54C和54D。 传感器元件布置成使得相邻传感器元件的框架被允许彼此反相移动，但是基本上被阻止彼此以相同的相位移动。 传感器元件被配置成水平联接的布置，垂直耦合布置或完全耦合布置。 一对传感器元件可以垂直联接。 版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP5138772B2

公开(公告)日：2013-02-06

申请号：JP2010513679

申请日：2008-03-28

Applicant: ノースロップ グルマン リテフ ゲーエムベーハー

Inventor： ガイガー，ヴォルフラム

IPC: G01C19/5747 ,  G01C19/56

CPC classification number: G01C19/574

公开(公告)号：JP4905574B2

公开(公告)日：2012-03-28

申请号：JP2010070077

申请日：2010-03-25

Applicant: 株式会社豊田中央研究所

Inventor： 義輝 大村 ,  照久 明石 ,  良幸 畑 ,  博文 船橋 ,  基弘 藤吉 ,  裕 野々村

IPC: G01C19/5762 ,  G01P15/125

CPC classification number: G01C19/574 ,  G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/082

Abstract: A structure having a first movable portion displaced perpendicular to a substrate surface and a second movable portion displaced parallel to the substrate surface is realized by a laminated structure employing a nested structure for the first portion and the second portion. The laminated structure is provided with inner and outer movable portions. A y spring is connected to the outer portion, and the outer portion is supported in a y-axis direction by the y spring at a height apart from an outer substrate. A z spring is connected to the inner portion, and the inner portion is supported in a z-axis direction by the z spring at a height apart from the outer substrate. The outer portion and the z spring are at different heights from the substrate, and the z spring overpasses across the outer portion at a height apart from the outer movable portion.

公开(公告)号：JP4512636B2

公开(公告)日：2010-07-28

申请号：JP2007508588

申请日：2005-04-14

Applicant: アナログ デバイシス, インコーポレイテッド

Inventor： ジョン エー． ジーン，

IPC: G01C19/02 ,  G01C19/56 ,  G01P15/00

CPC classification number: G01C19/5719 ,  G01C19/574

公开(公告)号：JP4386073B2

公开(公告)日：2009-12-16

申请号：JP2006512097

申请日：2005-04-06

Applicant: 株式会社村田製作所

Inventor： 良隆 加藤

IPC: G01C19/56 ,  G01C19/574 ,  G01C19/5769 ,  H01L23/12

CPC classification number: G01C19/5769 ,  G01C19/574

公开(公告)号：JP2009529666A

公开(公告)日：2009-08-20

申请号：JP2008557769

申请日：2007-03-12

Applicant: コンティネンタル・テーベス・アクチエンゲゼルシヤフト・ウント・コンパニー・オッフェネ・ハンデルスゲゼルシヤフト

Inventor： ギュントナー・シュテファン ,  ハルトマン・ベルンハルト

IPC: G01C19/56 ,  G01C19/5684

CPC classification number: G01C19/574 ,  G01C19/5712 ,  G01P15/0888 ,  Y10T29/49124

Abstract: 回転速度センサ（１）であって、デカルト座標系のｘｙ平面に対して平行に整向された底面を有する少なくとも１つの基板（２）と、それぞれ１つのフレーム（７、８）、前記基板面における前記フレームの掛部、少なくとも１つのサイズモ質量体（３、４、５、６）、および前記フレーム（７、８）における前記サイズモ質量体の掛部（４１、４２）を有する少なくとも２つの基礎部材（９、１０）とを含み、かつ、１つまたは複数の基礎部材を駆動するための１つまたは複数の駆動手段と、１つまたは複数の読み取り機構（１６）とを具備し、その際、前記少なくとも２つの基礎部材（９、１０）が、少なくとも１つの連結棒（１１、１２、１３、１４）によって互いに連結されている。

公开(公告)号：JP2008537114A

公开(公告)日：2008-09-11

申请号：JP2008506534

申请日：2006-04-06

Applicant: アナログ デバイシス, インコーポレイテッド

Inventor： チンボ クァン， ,  ジョン エー． ジーン，

IPC: G01C19/56 ,  G01P9/04

CPC classification number: G01C19/574

Abstract: 慣性センサは、クロスした４個の構成の４つの相互接続されたセンサ素子を含んでいる。 各センサ素子は、フレーム、およびフレーム内にサスペンドされている共振器を含んでいる。 隣接するセンサ素子のフレームが、互いに逆位相で動くことを可能にするが、互いに同位相で動くことを実質的に防止するように、センサ素子は配置されている。 センサ素子は、横方向に連結された配置、縦方向に連結された配置、または完全に連結された配置で構成されている。 一組の対のセンサ素子は、縦方向に連結され得る。

公开(公告)号：JP3814016B2

公开(公告)日：2006-08-23

申请号：JP12974196

申请日：1996-05-24

Applicant: 三星電子株式会社Samsung Electronics Co.,Ltd. ,  韓国科学技術院

Inventor： 永昊 ▲チョ▼ ,  明錫 姜 ,  基武 宋 ,  聖基 尹

IPC: G01C19/56 ,  G01C19/00 ,  G01C19/574 ,  G01C19/5769

CPC classification number: G01C19/574

Abstract: A tuning fork type gyroscope including plate members spaced apart from each other, vibration elements for vibrating the plate members, suspension members for suspending the plate members, and electrodes arranged in the lower portion of the plate members, wherein the suspension members comprises: main bars connected to the plate members by connection members; fixing members connected to both ends of each of said main bars so as to support the main bars and reduce (a) restoring tensile forces(s) along the length of the main bars; and a supporting member connected to (a) central portion(s) of the main bars so as to support the main bars. The gyroscope reduces the restoring tensile force of the main bars and provides flexibility to the main bars.