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    Impact detector
    13.
    发明专利
    Impact detector 审中-公开
    冲击检测器

    公开(公告)号：JP2010060327A

    公开(公告)日：2010-03-18

    申请号：JP2008223828

    申请日：2008-09-01

    申请人： Ricoh Co Ltd ,  株式会社リコー

    发明人： NARUISHI SUNAO

    IPC分类号： G01P15/00 ,  G01P15/02

    摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an impact detector compatible with measurements of a drop impact and an inclination using a single apparatus, and simultaneously displaying the detected drop impact and a history of the inclination.
    SOLUTION: The impact detector comprises: a vertical path 210 in which a weight 440 drops from a normal position to a drop detection position when the drop impact is applied to a to-be-detected object; an upper lateral path 220 vertically disposed relative to the vertical path 210, and moving the weight 440 when the to-be-detected object is inclined; and a lower lateral movement path 230. Arm members 420, 430 are disposed in both paths, and leave the movement history of the weight 440. A front case 300 is provided with: an impact display hole 340 for displaying the weight 440 in the impact detection position; upper inclination display holes 320L, R for displaying display plates of the arm member 420, 430; and lower inclination display holes 330L, R.
    COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

    摘要翻译： 要解决的问题：提供一种与使用单个装置的跌落冲击和倾斜度的测量相兼容的冲击检测器，并且同时显示检测到的跌落冲击和倾斜的历史。 冲击检测器包括：垂直路径210，当跌落冲击被施加到被检测物体时，其中重物440从正常位置下降到跌落检测位置; 相对于垂直路径210垂直设置的上横向路径220，并且当待检测物体倾斜时移动重物440; 和下横向移动路径230.臂构件420,430设置在两个路径中，并且留下重物440的移动历史。前壳体300设置有：冲击显示孔340，用于将重物440显示在冲击中 检测位置; 用于显示臂构件420,430的显示板的上倾斜显示孔320L，R; 和下倾斜显示孔330L，R。版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

    Mems device, and inclusions, and mems device, and a method for integrating the inclusions
    16.
    发明专利
    Mems device, and inclusions, and mems device, and a method for integrating the inclusions 审中-公开

    公开(公告)号：JP2008509820A

    公开(公告)日：2008-04-03

    申请号：JP2007521586

    申请日：2005-07-13

    申请人： ザ・チャールズ・スターク・ドレイパ・ラボラトリー・インコーポレイテッド

    发明人： ディー．ソーヤー ウィリアム

    IPC分类号： B81C1/00 ,  B81B3/00 ,  G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  G01P15/02 ,  H01L21/00

    CPC分类号： B81B7/0048 ,  B81B2203/0307

    摘要： 本発明の側面によると、プロセスは、ボンディングされた、エッチ・バック絶縁体上シリコン（以降は、ＢＥＳＯＩと称する）方法に基づく。 ＢＥＳＯＩ方法は、絶縁体上シリコン（ＳＯＩ）ウェハを含み、絶縁体上シリコン（ＳＯＩ）ウェハは、（ｉ）ハンドル・レイヤ、（ｉｉ）二酸化ケイ素（ＳｉＯ
    2 ）レイヤであることが好ましい誘電体レイヤ、及び（iii）装置レイヤを有する。 最初、装置レイヤは、メサ・エッチングによってパターン形成される。 装置レイヤがパターン形成された後、ＳＯＩウェハは、基板に面する、パターン形成された装置レイヤを有する基板にボンディングされる。 ＳＯＩウェハのハンドル・レイヤ、及び誘電体レイヤは、エッチングによって除去される。 更に、装置レイヤが、ＭＥＭＳ装置を定めるためにエッチングされる。 ＢＥＳＯＩ方法では、誘電体ＳｉＯ
    2 レイヤが除去された後に構造エッチングが実行される。

    Convection accelerometer
    18.
    发明专利
    Convection accelerometer 有权

    公开(公告)号：JP2008500552A

    公开(公告)日：2008-01-10

    申请号：JP2007527373

    申请日：2005-05-17

    申请人： メット テク エルエルシー

    发明人： ワディム エム． アガフォーノフ ,  ウラジミール エイ． コズロフ

    IPC分类号： G01P15/02 ,  G01P15/00

    CPC分类号： G01P15/006

    摘要： 直線加速度又は角加速度、速度、或いは傾斜角を測定することのできる対流加速度計が提供される。 加速度計は、液剤を含むシールドハウジングの内側に位置する、対流に敏感な検知素子を備える。 外部から加速度を加えることにより、液剤の強制対流が生じ、検知素子によって生じる電流において、加えられた加速度又は傾斜角に比例する変化が生じる。 加速度計は、サイズが小さく、きわめて広い周波数範囲及びダイナミックレンジ、高い感度、単純なデザインを有し、大量生産に適している。 この装置には、安定化システム及び制御システム、自国の保安、石油探査など、広範囲の用途がある。
    【選択図】図１

    Structure of acceleration sensor and its manufacturing method
    19.
    发明专利
    Structure of acceleration sensor and its manufacturing method 审中-公开
    加速度传感器结构及其制造方法

    公开(公告)号：JP2007248147A

    公开(公告)日：2007-09-27

    申请号：JP2006069654

    申请日：2006-03-14

    申请人： Miyazaki Oki Electric Co Ltd ,  Oki Electric Ind Co Ltd ,  宮崎沖電気株式会社 ,  沖電気工業株式会社

    发明人： NOMURA AKIHIKO

    IPC分类号： G01P15/02 ,  B81C99/00 ,  H01L29/84

    CPC分类号： G01P15/18 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/123 ,  G01P2015/0842

    摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an acceleration sensor, which has a stopper structure, especially a stopper structure manufactured by a micromachining process, capable of preventing such a fault that a deadweight and a stopper part are bonded, and a manufacturing method of the acceleration sensor. SOLUTION: This acceleration sensor has a deadweight fixing part, a seat fixing part which spaces/surrounds the deadweight fixing part, a beam part which flexibly connects the deadweight fixing part and the seat fixing part, a first substrate having a stopper part which is spaced from the deadweight fixing part and the beam part and connected to the seat fixing part, a deadweight part which is connected to the deadweight fixing part via a first connection layer and which is spaced from the stopper part and overlain, a seat part which is spaced from the deadweight part and which is connected to the seat fixing part via a second connection layer, and a protrusion part which is spaced from the stopper part and which is formed on the deadweight part between the stopper part and the deadweight part. COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

    摘要翻译： 要解决的问题：提供一种加速度传感器，其具有阻止结构，特别是通过微加工工艺制造的止动结构，能够防止这种与自重和止动部分接合的故障，以及制造方法 的加速度传感器。 解决方案：该加速度传感器具有固定固定部分，空间/环绕固定部分的座椅固定部分，柔性地连接自重固定部分和座椅固定部分的梁部分，具有止动部分 其与固定部分和梁部分间隔开并连接到座椅固定部分，一个自重部分，其通过第一连接层连接到自重固定部分，并且与止动部分间隔开并且重叠;座部件 其与所述自重部分间隔开并且经由第二连接层连接到所述座椅固定部分，以及突出部分，其与所述止动部分间隔开并形成在所述止动部分和所述自重部分之间的所述自重部分上。 版权所有（C）2007，JPO＆INPIT