公开(公告)号：JPWO2016143183A1

公开(公告)日：2017-11-24

申请号：JP2017504559

申请日：2015-10-19

申请人： 株式会社村田製作所

发明人： 拡才 畠山 ,  拡才 畠山

IPC分类号： G01P15/09 ,  G01P15/08

CPC分类号： G01P15/09 ,  G01P1/023 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/0922 ,  G01P2015/0828

摘要： 圧電素子の位置や保持角度のずれが生じ難く、かつノイズの影響を受け難い、加速度検出装置及びその製造方法を提供する。加速度検出装置1は、上面及び下面を有する圧電素子2と、圧電素子2の下面上に設けられているシート状の接着剤4と、シート状の接着剤4により圧電素子2が接合されている第1のパッケージ部材3とを備える。

公开(公告)号：JPWO2013161597A1

公开(公告)日：2015-12-24

申请号：JP2014512470

申请日：2013-04-15

申请人： 株式会社村田製作所

发明人： 拓生 羽田 ,  拓生 羽田 ,  藤本　克己 ,  克己 藤本 ,  堀内　秀哉 ,  秀哉 堀内 ,  米田　年麿 ,  年麿 米田

IPC分类号： G01P15/10

CPC分类号： G01P15/10 ,  G01P15/09 ,  G01P15/097 ,  G01P2015/0828

摘要： 加速度センサ(1)は、外形が矩形で枠状である固定部(12)と、平面視して、互いに対向しているX軸方向と平行な2つの辺と、互いに対向しているY軸方向と平行な2つの辺とを有する、略四角板状であり、X軸方向およびY軸方向に対して45?を成す方向に沿って設けられた、切欠部(15)を有する錘部(14)と、X軸方向およびY軸方向に対して45?を成す方向に沿って平面視して直線状に設けられ、一方の端部が固定部(12)に接続されており、他方の端部が錘部(14)に接続されており、一部が切欠部(15)内に配置されており、錘部(14)をZ軸方向に変位可能に支持する振動梁(13)と、振動梁(13)に設けられており、振動梁(13)を振動させる駆動部(19A)と、振動梁(13)に設けられており、振動梁(13)の変形に応じて変化する検出信号を出力する検出部(19B)と、を備える。

摘要翻译： 加速度传感器（1）的固定部分的外形是一个框架形的矩形带（12），在平面图中，两个平行边X轴方向上彼此相对的，Y轴是彼此相对 和一个并联的两个边方向，大致呈矩形板，45？沿方向形成设置在相对于X轴方向和Y轴方向，将具有重量部的凹口（15）（ 和14），在沿着形成45一方向俯视的直线设置？相对于X轴方向和Y轴方向上，一个端部连接到固定部分（12），其他的 端被连接到权重单元（14），振动梁部被布置在所述凹口（15）内，其可移动地支承在Z轴方向上重量部（14）（13） 被设置在振动梁（13），用于振动振动梁（13）（19A）设置在振动梁（13）的驱动单元，根据所述振动梁的变形而变化（13） 包括检测单元，用于输出检测信号（图19B），则。

公开(公告)号：JP2014238413A

公开(公告)日：2014-12-18

申请号：JP2014153789

申请日：2014-07-29

申请人： ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド ,  Honeywell Internatl Inc

发明人： PAUL DWYER

IPC分类号： G01P15/11

CPC分类号： G01P15/132 ,  G01P15/11 ,  G01P2015/0828

摘要： 【課題】磁気回路加速度計における振動整流エラーを最小限に抑えるシステム及び方法を提供する。【解決手段】下部内径を有する頂部ピース40と頂部ピースの下部内径よりも小さい直径を有する底部ピース42とを持つ、励磁リングを備えた加速度計20を含む。加速度計は、また、プルーフ・マスと、励磁リングの底部ピースに取り付けられた磁石44と、磁石に取り付けられた磁極片46と、励磁リングの頂部ピースと磁極片の間のギャップ内に延びると共にプルーフ・マスに取り付けられたコイルとを含む。【選択図】図2

摘要翻译： 要解决的问题：提供一种用于使磁路加速度计中的振动整流误差最小化的系统和方法。解决方案：一种系统包括加速度计20，包括：激励环，其具有内径较低的顶点40 部分; 以及直径小于顶点的下部的内径的底部件42。 加速度计包括：检验质量; 固定在激励环的底部片上的磁体44; 固定在磁铁上的磁极片46; 以及在激励环的顶点与磁极片之间的间隙中延伸的线圈，并且被固定到校验块。

公开(公告)号：JP5494803B2

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：JP2012519403

申请日：2011-06-08

申请人： 株式会社村田製作所

发明人： 隆寛 小西 ,  和広 吉田

IPC分类号： G01P15/12 ,  H01L29/84

CPC分类号： G01P15/123 ,  G01P2015/0828 ,  H01L29/84

公开(公告)号：JP2014092531A

公开(公告)日：2014-05-19

申请号：JP2012245101

申请日：2012-11-07

申请人： Seiko Epson Corp ,  セイコーエプソン株式会社

发明人： WATANABE JUN ,  NAKASENDO KAZUYUKI

IPC分类号： G01C9/06 ,  G01P15/08 ,  G01P15/10

CPC分类号： G01P15/09 ,  G01P1/023 ,  G01P2015/0828

摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a physical quantity detection device having a configuration in which inclination detectors are hardly affected by heat.SOLUTION: A physical quantity detection device 100 includes: a metal block (holding part) 30 having six faces; inclination detectors (physical quantity detector) 40 arranged on the selected three faces among the six faces; an electronic component 60 electrically connected to inclination detectors 40; and a heat insulating material (heat transfer reduction part) 20 which is disposed between the metal block 30 and the electronic component 60, and has heat conductivity smaller than that of the metal block 30.

摘要翻译： 要解决的问题：提供一种具有倾斜检测器几乎不受热影响的结构的物理量检测装置。解决方案：物理量检测装置100包括：具有六个面的金属块（保持部）30; 布置在六个面中的所选择的三个面上的倾斜检测器（物理量检测器）40; 电连接到倾斜检测器40的电子部件60; 以及设置在金属块30和电子元件60之间并具有小于金属块30的导热率的导热系数的绝热材料（传热减少部）20。

公开(公告)号：JP5446187B2

公开(公告)日：2014-03-19

申请号：JP2008237516

申请日：2008-09-17

申请人： セイコーエプソン株式会社

发明人： 竜太 西澤 ,  高弘 亀田

IPC分类号： G01P15/10

CPC分类号： G01P15/097 ,  G01P2015/0828

公开(公告)号：JP2013122375A

公开(公告)日：2013-06-20

申请号：JP2011248654

申请日：2011-11-14

申请人： Seiko Epson Corp ,  セイコーエプソン株式会社

发明人： WATANABE JUN

IPC分类号： G01P15/10 ,  G01C9/06 ,  H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H01L41/187

CPC分类号： G01P15/097 ,  G01P2015/0828

摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a physical quantity detection device capable of suppressing transmission of stress to a physical quantity detection element.SOLUTION: A physical quantity detection device 100 includes: a base part 10; a movable part 13 supported on the base part 10 through a joint part 12 and configured to displace according to a physical quantity change; a physical quantity detection element 40 bridging between the base part 10 and the movable part 13; and mass parts 50, 52 fixed to the movable part 13. The movable part 13 includes: a first fixation part 14 to which the physical quantity detection element 40 is fixed; second fixation parts 16a, 16b to which the mass parts 50, 52 are fixed; and notch parts 20a, 20b being separated from the joint part 12 and each having a notched form which starts from a side face 13e of the movable part 13 and reaches an intersection of line segments L1, L2 connecting the first fixation part 14 and the second fixation parts 16a, 16b, respectively.

摘要翻译： 要解决的问题：提供能够抑制对物理量检​​测元件的应力传递的物理量检测装置。 物理量检测装置100包括：基部10; 通过接合部12支撑在基部10上并构成为根据物理量变化而位移的可动部13; 桥接在基部10和可动部13之间的物理量检测元件40; 以及固定到可动部13的质量部50,52。可动部13包括：物理量检测元件40固定到的第一固定部14; 固定有质量部50,52的第二固定部16a，16b; 切口部20a，20b与接合部12分离，各自具有从可动部13的侧面13e开始的切口形状，并且到达连接第一固定部14和第二固定部14的线段L1，L2的交点 固定部分16a，16b。 版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP5187441B2

公开(公告)日：2013-04-24

申请号：JP2011510305

申请日：2010-04-16

申请人： 株式会社村田製作所

发明人： 順一 吉田

IPC分类号： B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G01P15/125 ,  H01H59/00 ,  H01L29/84

CPC分类号： B81B3/0018 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  B81B2203/053 ,  B81B2207/095 ,  B81B2207/096 ,  B81C1/00587 ,  B81C2201/0133 ,  B81C2203/0118 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0828

摘要： An acceleration sensor is formed using an etched layer sandwiched between first and second substrates. In this case, a structure including a movable portion which is displaceable in the thickness direction of the substrates, and a support frame are formed in the etched layer. In addition, first and second fixed electrodes are formed on the first and second substrates, respectively, at a position facing the movable portion. Further, a remaining sacrificial layer is provided on the substrate by leaving a portion of a second sacrificial layer when a first sacrificial layer is entirely etched away. Therefore, when the first sacrificial layer is etched away, corrosion of the structure and the support beams is prevented because the second sacrificial layer is preferentially corroded as compared to the structure.

公开(公告)号：JP2013033020A

公开(公告)日：2013-02-14

申请号：JP2011280003

申请日：2011-12-21

申请人： Nippon Dempa Kogyo Co Ltd ,  日本電波工業株式会社

发明人： KOYAMA MITSUAKI ,  MUTO TAKESHI ,  IWAI HIROKI ,  AMANO YOSHIAKI ,  ICHIKAWA RYOICHI

IPC分类号： G01P15/125 ,  G01L1/10 ,  G01L1/14 ,  G01P15/10

CPC分类号： G01P15/097 ,  G01L1/142 ,  G01L1/162 ,  G01P1/023 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0828 ,  G01P2015/0871

摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an external force detector capable of precisely and easily detecting an external force applied to a piezoelectric piece.SOLUTION: A quartz piece 2 is supported in a cantilever manner in a case 1. The quartz piece 2 has excitation electrodes 31 and 41 each formed on an upper surface and a lower surface at, for example, a central area. The quartz piece 2 has a movable electrode 5 formed in a front end portion at the lower surface side, which is connected to an excitation electrode 41 located at the lower surface side via an extraction electrode 42. The case 1 has a fixed electrode 6 formed on the bottom opposite the movable electrode 5. The excitation electrode 31 at the upper surface side and the fixed electrode 6 are connected to an oscillation circuit 14. When the quartz piece 2 deflects due to an external force applied thereto, the capacitance between the movable electrode 5 and the fixed electrode 6 varies. The variation of the capacitance is read as a variation of oscillation frequency of the quartz piece.

摘要翻译： 要解决的问题：提供能够精确且容易地检测施加到压电片的外力的外力检测器。 解决方案：石英片2以悬臂方式支撑在壳体1中。石英片2具有分别形成在例如中心区域的上表面和下表面上的激发电极31和41。 石英片2具有形成在下表面侧的前端部的可动电极5，其通过引出电极42与位于下表面侧的激励电极41连接。壳体1具有形成的固定电极6 在与可动电极5相对的底部上。上表面侧的激发电极31和固定电极6连接到振荡电路14.当石英片2由于施加的外力而偏转时，可动 电极5和固定电极6变化。 电容的变化被读取为石英片的振荡频率的变化。 版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2012533062A

公开(公告)日：2012-12-20

申请号：JP2012519127

申请日：2010-07-01

申请人： ウニヴェルシタ・デグリ・ストゥディ・ディ・サレルノ

发明人： ジェラルド・ジョルダーノ ,  ファブリツィオ・バローネ

IPC分类号： G01H1/00

CPC分类号： G01V1/186 ,  G01H1/00 ,  G01P15/08 ,  G01P2015/0828

摘要： 本発明は、支持体（Ｆ）と、試験質量（ＰＭ）と、単振り子（ＳＰ）と、倒立振り子（ＩＰ）とを備えた折り畳み振り子に関する。 ４つの対応するジョイントシステム（Ｇ）によって、単振り子及び倒立振り子の一方の端部は試験質量（ＰＭ）に接続され、他方の端部は支持体（Ｆ）に接続される。 試験質量は支持体に接続されておらず自由に振動する。 単振り子（ＳＰ）に関する各ジョイントシステムは、一以上の引張ジョイントを備える、本折り畳み振り子は、倒立振り子（ＩＰ）に関する各ジョイントシステム（が）が一以上の圧縮ジョイントを備えることを特徴とする。 更に、本発明は、本発明に係る折り畳み振り子を用いた地震センサに関する。