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公开(公告)号：JP2021154240A
公开(公告)日：2021-10-07
申请号：JP2020058935
申请日：2020-03-27
申请人： 日本エア・リキード合同会社
摘要： 【課題】半導体製造装置から排出される、100ppm〜1%(好ましくは最大体積濃度が500ppm未満)の希ガス含有の排ガスから、希ガスを回収精製することができる希ガス(例えば、クリプトン)回収システムの提供。 【解決手段】希ガス含有排ガスから、所定の不純物を除去する不純物除去部11と、所定の不純物を除去された希ガス含有排ガスより希ガス濃度が高い高濃度希ガス(クリプトン)を含む濃縮排ガスと希ガス濃度が低い排ガスに分離する希ガス分離膜モジュール12と、濃縮排ガスから希ガスを選択的に吸着する希ガス吸着部13を備える。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2021116064A
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：JP2020008020
申请日：2020-01-22
申请人： 日本エア・リキード合同会社
摘要： 【課題】液化製品出荷業務における業務効率の改善と自動化による信頼性向上が可能な液化製品自動出荷システムを提供する。 【解決手段】液化製品自動出荷システム1は、タンクローリーの積込スケジュールを管理するための配車管理装置2と、配車管理装置とネットワークを介して接続可能な出荷管理装置31と、出荷管理装置とネットワークを介して接続可能な第一データ読取装置と、出荷管理装置とネットワークを介して接続可能な第一出力手段と、配車管理装置とネットワークを介して接続可能であって、タンクローリーの重量を計測するトラックスケール47と、各液化製品に対応して設置される第二データ読取装置と、出荷管理装置とネットワークを介して接続可能な第二出力手段と、充填される液体製品が自動的に導入されて分析を実行する自動分析装置7と、自動分析装置7を制御する分散制御装置8とを備える。 【選択図】図1A
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公开(公告)号：JP2021025687A
公开(公告)日：2021-02-22
申请号：JP2019142955
申请日：2019-08-02
申请人： 日本エア・リキード合同会社
发明人： 藤島 祥一
摘要： 【課題】従来のタイムラグの問題を低減させるべく、溶解、焼却または溶融のバッチプロセスにおいて、炉内で発生する可燃性ガスの発生状況を予測し、その予測結果に基づいて炉の燃焼制御を効果的に行える炉の制御システムを提供する。 【解決手段】炉の制御システムは、過去の炉に関するデータ、材料に関するデータ、プロセスに関するデータおよび排ガスに関するデータを学習データとして用いて知的情報処理技術によって生成される可燃性ガス状態量推定モデルを用いて、予測因子データに対応する可燃性ガス状態量を算出する可燃性ガス状態量算出部12と、可燃性ガス状態量算出部12で算出された、可燃性ガス状態量に基づいて、炉の燃焼を制御する燃焼制御部11とを有する。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2021010865A
公开(公告)日：2021-02-04
申请号：JP2019125659
申请日：2019-07-05
申请人： 日本エア・リキード合同会社
摘要： 【課題】冷却媒体の冷熱を効率的に利用して、被冷却媒体を迅速に冷却することができる、ダウンタイムの少ない冷凍撹拌装置を提供する。 【解決手段】冷凍槽と、冷却媒体を注入する冷却媒体注入機構20と、を有する冷凍撹拌装置であって、前記冷却媒体注入機構20は、冷却媒体導入経路22を備える注入ノズル21と、前記注入ノズル21の開口部24周囲の前記冷凍槽の壁面を加温する加温ケース23とを備え、前記開口部24の外周25と前記加温ケース23とが所定の間隔で離間して配置されることを特徴とする冷凍撹拌装置。 【選択図】図6
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公开(公告)号：JP2020186432A
公开(公告)日：2020-11-19
申请号：JP2019091137
申请日：2019-05-14
申请人： 日本エア・リキード合同会社
发明人： 小浦 輝政
IPC分类号： H01L21/31 , C23C16/448
摘要： 【課題】キャビネット内の固体材料容器を素早く冷却し、キャビネット内の固体材料容器の交換作業時間を短縮できる、固体材料容器用のキャビネットを提供する。 【解決手段】キャビネット2は、天壁21、側壁23、底壁22を有する本体と、本体の一部に取り付けられる、固体材料容器5を出し入れするための扉231と、天壁23に取り付けられる排気ダクト25と、固体材料容器5を加熱する加熱部と、加熱部の温度を測定する温度センサと、固体材料容器5に向かって冷却風を吹き付ける冷却用送風機3とを備える。 【選択図】図2A
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公开(公告)号：JP6670724B2
公开(公告)日：2020-03-25
申请号：JP2016198985
申请日：2016-10-07
申请人： 日本エア・リキード合同会社
发明人： ヌグイエンバン レミ , 石田 吉宏 , 金田 拓也 , 古井 栄治 , 椎葉 幸一
IPC分类号： B65G61/00
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公开(公告)号：JPD1652727S
公开(公告)日：2020-02-10
申请号：JPD20195845
申请日：2019-03-19
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