公开(公告)号：JPWO2017145810A1

公开(公告)日：2018-12-20

申请号：JP2017004926

申请日：2017-02-10

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 今井 克宏 ,  倉岡 義孝 ,  市村 幹也 ,  平尾 崇行

IPC: C30B25/18 ,  C30B19/04 ,  H01L33/32 ,  C30B29/38

Abstract: 【課題】略法線方向で特定結晶方位に配向した複数の単結晶粒子で構成される多結晶13族元素窒化物自立基板において、自立基板の上面におけるピットを低減する。 【解決手段】自立基板12は、略法線方向で特定結晶方位に配向した複数の単結晶粒子で構成される。多結晶13族元素窒化物が窒化ガリウム、窒化アルミニウム、窒化インジウムまたはこれらの混晶からなり、前記自立基板が上面及び底面を有しており、亜鉛とカルシウムとの少なくとも一方を含有しており、自立基板の上面の二乗平均粗さRmsが3.0nm以下である。 【選択図】 図1

公开(公告)号：JPWO2017145803A1

公开(公告)日：2018-12-20

申请号：JP2017004896

申请日：2017-02-10

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 今井 克宏 ,  倉岡 義孝 ,  市村 幹也 ,  平尾 崇行

IPC: H01L33/32 ,  H01L21/205 ,  C30B29/38

Abstract: 【課題】配向多結晶13族元素窒化物自立基板において、単結晶粒子のチルト角を低減し、またチルト角のバラツキを低減する。 【解決手段】自立基板は、略法線方向で特定結晶方位に配向した複数の単結晶粒子で構成される多結晶13族元素窒化物からなる。自立基板が上面及び底面を有している。多結晶13族元素窒化物が窒化ガリウム、窒化アルミニウム、窒化インジウムまたはこれらの混晶からなり、亜鉛を1×10 17 atoms/cm 3 以上、1×10 20 atoms/cm 3 以下の濃度で含有する。 【選択図】 図2

公开(公告)号：JP2017135178A

公开(公告)日：2017-08-03

申请号：JP2016012059

申请日：2016-01-26

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 滑川 政彦 ,  吉野 隆史 ,  今井 克宏 ,  倉岡 義孝

IPC: H01L23/36 ,  H01S5/024

CPC classification number: F21V29/70 ,  F21V19/0015 ,  F21V29/503 ,  F21V29/85 ,  H01L33/642 ,  H01S5/02476 ,  H01S5/02276 ,  H01S5/02469 ,  H01S5/32341

Abstract: 【課題】半導体レーザを発する光源素子を固定し、放熱するための光源素子放熱構造体において、構造体の生産性を向上させ、使用時に光源素子の位置ずれやクラックの起こりにくい構造を提供する。 【解決手段】光源素子放熱構造体1は、13族元素窒化物からなり、第一の主面1c、第二の主面1dおよび外側端面1eを有する膜1、第一の主面1cおよび第二の主面1dに開口する貫通孔2からなる光源素子収容部15、および貫通孔2に面し、光源素子に接する光源素子固定面2aを有する。 【選択図】 図1

公开(公告)号：JP6054516B2

公开(公告)日：2016-12-27

申请号：JP2015507960

申请日：2013-12-16

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 吉川 潤 ,  今井 克宏 ,  近藤 浩一 ,  菅野 公貴

IPC: C04B35/453 ,  C23C14/34

CPC classification number: C01G9/02 ,  C04B35/453 ,  C23C14/086 ,  C23C14/3407 ,  C23C14/3414 ,  C01P2002/90 ,  C01P2004/20 ,  C01P2004/54 ,  C01P2004/61 ,  C01P2004/62 ,  C01P2006/10 ,  C01P2006/80 ,  C04B2235/322 ,  C04B2235/3284 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/6025 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/787 ,  C04B2235/788

公开(公告)号：JP5855434B2

公开(公告)日：2016-02-09

申请号：JP2011259824

申请日：2011-11-29

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 下河 夏己 ,  今井 克宏 ,  小林 伸行 ,  水野 和幸

IPC: H02N1/00

公开(公告)号：JP5735420B2

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：JP2011520862

申请日：2010-06-10

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 下平 孝直 ,  今井 克宏 ,  岩井 真

IPC: C30B9/00 ,  C30B29/38

CPC classification number: C30B29/403 ,  C30B9/00

公开(公告)号：JP6890117B2

公开(公告)日：2021-06-18

申请号：JP2018501575

申请日：2017-02-10

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 今井 克宏 ,  倉岡 義孝 ,  市村 幹也 ,  平尾 崇行

IPC: H01L33/32 ,  H01L21/205 ,  C30B29/38

公开(公告)号：JP6816008B2

公开(公告)日：2021-01-20

申请号：JP2017546474

申请日：2016-09-30

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 平尾 崇行 ,  岩井 真 ,  今井 克宏 ,  吉野 隆史

IPC: C30B19/12 ,  H01L21/20 ,  C30B29/38

公开(公告)号：JP6621421B2

公开(公告)日：2019-12-18

申请号：JP2016561446

申请日：2015-10-07

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 吉野 隆史 ,  今井 克宏 ,  下平 孝直 ,  和田 敬

IPC: C30B29/38

公开(公告)号：JPWO2017145802A1

公开(公告)日：2019-01-17

申请号：JP2017004891

申请日：2017-02-10

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 渡邊 守道 ,  佐藤 圭 ,  倉岡 義孝 ,  今井 克宏 ,  七瀧 努

IPC: C30B25/20 ,  C23C16/34 ,  H01L33/32 ,  H01L21/205 ,  C30B29/38

Abstract: それを用いて発光素子や太陽電池等のデバイスを作製した場合に、高い発光効率や高い変換効率等の優れた特性が得られる多結晶窒化ガリウム自立基板が提供される。本発明の多結晶窒化ガリウム自立基板は、略法線方向で特定結晶方位に配向した複数の窒化ガリウム系単結晶粒子で構成され、上面及び底面を有する。前記上面の電子線後方散乱回折法(EBSD)の逆極点図マッピングによって測定した各窒化ガリウム系単結晶粒子の結晶方位が特定結晶方位から様々な角度で傾斜して分布し、その平均傾斜角が0.1°以上1°未満であり、かつ、前記上面に露出している窒化ガリウム系単結晶粒子の最表面における断面平均径D T が10μm以上である。