シート面検査用光学系、シート面検査装置およびシート面検査方法
    21.
    发明专利
    シート面検査用光学系、シート面検査装置およびシート面検査方法 审中-公开
    用于表面检查的光学系统,以及用于检查表面的装置和方法

    公开(公告)号:JP2016145812A

    公开(公告)日:2016-08-12

    申请号:JP2015235778

    申请日:2015-12-02

    Abstract: 【課題】シート面の形状異常の検出精度を向上させるシート面検査用光学系、シート面検査装置およびシート面検査方法を提供すること。 【解決手段】貫通孔(20)と、貫通孔を軸とし貫通孔の一方の開口部に向かって縮径する栽頭状に形成されたシート面(S)と、を有する検査対象物(10)を検査するためのシート面検査用光学系(100a)であって、貫通孔を通して、貫通孔の他方の開口部側から光を入射させるとともに一方の開孔部側から出射させる光源(40)と、一方の開口部側から出射される光を、シート面上の周面に亘って照射するように反射させる反射部(44,46)と、を含む。 【選択図】図3

    Abstract translation: 要解决的问题:提供一种用于片材表面检查的光学系统,其能够提高片材表面形状异常的检测精度,并提供一种用于检查片材表面的装置和方法。解决方案:一种用于片材表面的光学系统(100a) 检查用于检查具有通孔(20)的目标物体(10)和形成为以通孔为中心的截头圆锥形状的片材表面(S),并且具有朝向通孔的一端逐渐减小的直径 并且包括:光源(40),被配置为将光发射到所述通孔的另一端,并允许所述光从所述一端离开; 以及反射器(44,46),其被配置为反射从所述通孔的一端出射的光,以用所述光照射所述片材表面的周边部分。图3

    照明装置
    22.
    发明专利
    照明装置 有权
    照明设备

    公开(公告)号:JP2016034785A

    公开(公告)日:2016-03-17

    申请号:JP2014157902

    申请日:2014-08-01

    Abstract: 【課題】照明領域内に存在する遮光領域と当該遮光領域に隣接する照射領域との間に、明度が段階的に変化する境界領域を生成することができる照明装置を提供する。 【解決手段】照明装置は、光源、複数の反射鏡が制御情報に基づいて独立にオンオフ駆動される反射鏡アレイ及び反射された光を照明領域に投光する投光部を有する光照射手段を備え、照明領域の画像情報に基づいて遮光対象を検出し、遮光対象を遮光する複数の暗画素からなる遮光領域を含み且つ遮光領域の周辺における暗画素及び明画素の配置状態が互いに異なる複数の照射パターンが交互に照射されるように、複数の反射鏡の各々をオン状態又はオフ状態とする制御情報を生成し、生成された制御情報に基づいて光照射手段を制御する。 【選択図】図4

    Abstract translation: 要解决的问题:提供一种照明装置,其能够产生在照明区域中存在的遮光区域与与遮光区域相邻的照射区域之间逐渐变亮的边界区域。解决方案:照明装置包括: 光照射装置,其包括光源,反射器阵列,其中多个反射器被独立地驱动以基于控制信息被导通或关闭;以及突出部分,将反射光投射到照明区域上,检测光屏蔽 基于照明区域上的图像信息生成用于打开或关闭每个反射器的控制信息,使得包含由多个暗像素构成的遮光区域的多个照射图案用于阻挡来自光的光 在遮光区域周围的暗像素和亮像素的布置状态不同的屏蔽物体也是不同的 根据生成的控制信息控制光照射装置。选择图:图4

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