センサ装置およびその製造方法
    23.
    发明专利
    センサ装置およびその製造方法 有权
    传感器装置及其制造方法

    公开(公告)号:JP2015087131A

    公开(公告)日:2015-05-07

    申请号:JP2013223714

    申请日:2013-10-28

    Abstract: 【課題】耐久性および検出感度に優れていると同時に製造もし易い触覚センサ装置を提供する。 【解決手段】表基板構造部300は一面に接触センシング面を有し、センシング手段(371、378、701)を他面に有する。裏基板構造部400は、当該裏基板構造部400の上面と下面との電気的導通をとる貫通電極420を有する。表基板構造部300の他面側には集積回路340が組み込まれ、集積回路340とセンシング手段(371、378、701)との間には絶縁層(352)が介在している。接合層210は、表基板構造部300の他面と裏基板構造部400の上面との間に配設され、表基板構造部300の他面と裏基板構造部400の上面とを貼り合わせている。 【選択図】図5

    Abstract translation: 要解决的问题:提供耐久性和检测灵敏度优异并且可以容易地制造的触觉传感器装置。解决方案:前基板结构部件300在一个表面上具有接触检测表面,以及感测装置(371,378, 701)。 背面基板结构部件400具有在后基板结构部件400的上表面和下表面之间提供导电的穿透电极420.集成电路340被结合在前基板结构部件300的另一表面侧 并且在集成电路340和感测装置(371,378,701)之间插入绝缘层(352)。 接合层210设置在前基板结构部件300的另一个表面和后基板结构部件400的上表面之间,并且将前基板结构部件300的另一个表面和后基板结构的上表面 第400部分。

    燃料電池
    27.
    发明专利
    燃料電池 审中-公开

    公开(公告)号:JP2018163811A

    公开(公告)日:2018-10-18

    申请号:JP2017060668

    申请日:2017-03-27

    Abstract: 【課題】シリコン基板に電解質膜が積層された固体酸化物型の燃料電池において、電解質膜の破損を抑制しつつ燃料電池の集積化、小型化を図ることが可能な技術を提供する。 【解決手段】本明細書は、固体酸化物型の燃料電池を開示する。燃料電池は、シリコン基板と、シリコン基板に積層された電解質膜と、シリコン基板の内部に形成されたガス流路を備えている。電解質膜は電極膜を介してガス流路に対向している。ガス流路の側壁は、電解質膜に近い箇所でフィレット形状を有する。 【選択図】図3

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