公开(公告)号：JP2006053152A

公开(公告)日：2006-02-23

申请号：JP2005234782

申请日：2005-08-12

Applicant: Commiss Energ Atom ,  コミツサリア タ レネルジー アトミーク

Inventor： ROBERT PHILIPPE

IPC: G01C19/56 ,  G01P3/14 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01C19/574

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a very sharp, stable, and simple gyrometer compared with existing gyrometers of the same type, by the direct digital electronic processing particularly. SOLUTION: This is a microgyrometer (10) based on detection of Coriolis force generated from vertical angular motion (Ω) (machined by using existing microelectronics, preferably), for the oscillating direction (X) of mass bodies (12 and 12') movable freely along a plane (X, Y) of the microgyrometer (10). Coriolis force is detected via motions fitting with eigenmode of a resonator (22) connected to a movable device (20). COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Abstract translation: 要解决的问题：与现有的相同类型的陀螺仪相比，特别是通过直接数字电子处理，提供非常尖锐，稳定和简单的陀螺仪。 解决方案：这是一种基于从质量体（12和12）的振荡方向（X）检测由垂直角运动（Ω）（通过使用现有的微电子机加工）产生的科里奥利力的微测量仪（10） '）沿着微型计（10）的平面（X，Y）自由移动。 通过与连接到可移动装置（20）的谐振器（22）的本征模拟拟合的运动来检测科里奥利力。 版权所有（C）2006，JPO＆NCIPI

公开(公告)号：JP2018527571A

公开(公告)日：2018-09-20

申请号：JP2018511247

申请日：2016-06-27

Applicant: ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング ,  ROBERT BOSCH GMBH

Inventor： アンドレアス ラスル ,  ブルクハルト クールマン ,  ミルコ ハッタス ,  クリスティアン ヘプナー ,  ベンヤミン シュミット ,  トアステン バルスリンク

IPC: H01L29/84 ,  G01C19/5747

CPC classification number: G01C19/5642 ,  G01C19/574 ,  G01C19/5747

Abstract: 本願においては、回転速度センサ(1)であって、主延在平面(100)を有する基板(3)と、主延在平面(100)に対して平行な第1の軸(X)に対して実質的に平行である軸まわりの回転速度センサ(1)の第1の回転速度を検出するための少なくとも1つの第1の回転速度センサ構造体(2)と、主延在平面(100)に対して垂直な第2の軸(Z)に対して実質的に平行である軸まわりの回転速度センサ(1)の第2の回転速度を検出するための少なくとも1つの第2の回転速度センサ構造体(4)とを備えた回転速度センサ(1)が開示されており、回転速度センサ(1)は、第1の回転速度センサ構造体(2)の、基板(3)に対して可動である第1の構造体(5)と、当該第1の回転速度センサ構造体(2)の、基板(3)及び当該第1の構造体(5)に対して可動である第2の構造体(9)とを、それぞれ変位させるための、かつ、第2の回転速度センサ構造体(4)の、基板(3)に対して可動である第3の構造体(13)と、当該第2の回転速度センサ構造体(4)の、基板(3)及び当該第3の構造体(13)に対して可動である第4の構造体(15)とを、それぞれ変位させるための駆動装置(17)を備えていることにより、第1の構造体(5)と第2の構造体(9)と第3の構造体(13)と第4の構造体(15)とが、機械的に連結された振動を行うように励振可能となっている。

公开(公告)号：JP2018096722A

公开(公告)日：2018-06-21

申请号：JP2016238903

申请日：2016-12-08

Applicant: 株式会社東芝

Inventor： 池橋 民雄 ,  前田 舜太 ,  丸藤 竜之介 ,  冨澤 泰

IPC: H01L29/84 ,  B81B3/00 ,  G01C19/574

CPC classification number: H03H9/2468 ,  B81B3/00 ,  G01C19/5621 ,  G01C19/574

Abstract: 【課題】 同位相モードの振動成分を抑制することが可能な振動装置を提供する。 【解決手段】 実施形態に係る振動装置は、第1の軸に対して平行な方向に配列され且つ第1の軸に対して平行な方向に振動可動な第1及び第2の可動部を含む第1の可動ユニット10と、第1の軸に対して垂直な第2の軸に対して平行な方向に振動可動な第2の可動ユニット40と、第1の可動ユニットと第2の可動ユニットとを接続する接続ユニット50とを備え、第1の可動ユニットの同位相モードでの共振周波数をfi とし、第1の可動ユニットの逆位相モードでの共振周波数をfa とし、第1の可動ユニットの逆位相モードでの共振のQ値をQa として、以下の関係が満たされる fi >(1+1/(2Qa))fa ものである。 【選択図】図3

公开(公告)号：JP6111434B2

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：JP2014503480

申请日：2013-03-05

Applicant: パナソニックIPマネジメント株式会社

Inventor： 石田 貴巳 ,  山本 賢作

IPC: G01C19/5621 ,  G01P15/09 ,  H01L41/113 ,  H01L41/047 ,  H01L41/053 ,  H01L41/23 ,  H01L41/29 ,  G01C19/5628

CPC classification number: G01P15/0922 ,  G01C19/574 ,  G01C19/5769 ,  G01P15/097 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/1132

公开(公告)号：JP6078901B2

公开(公告)日：2017-02-15

申请号：JP2012550717

申请日：2011-12-22

Applicant: パナソニックIPマネジメント株式会社

Inventor： 藤井 剛 ,  山本 賢作

IPC: H01L41/047 ,  H01L41/113 ,  G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5719 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5607 ,  G01C19/574 ,  H01L41/1132

公开(公告)号：JP2016164550A

公开(公告)日：2016-09-08

申请号：JP2016022728

申请日：2016-02-09

Applicant: ノースロップ グラマン システムズ コーポレイション ,  NORTHROP GRUMMAN SYSTEMS CORPORATION

Inventor： アレクサンダー トルーソフ ,  デイビッド エム.ロゼール

IPC: H01L29/84 ,  G01C19/5755

CPC classification number: G01C19/5726 ,  G01C19/574 ,  G01C19/5755 ,  G01C25/00 ,  G01C25/005

Abstract: 【課題】直交位相効果を実質的に緩和した振動マスジャイロスコープシステムを提供する。 【解決手段】振動マスジャイロスコープシステムを含む。このシステムは、振動マスと、振動マスに結合されて、振動マスの面内運動を容易にするように構成された複数の電極とを備えるセンサシステムを含む。このシステムはまた、駆動軸に沿った振動マスの面内周期的振動運動をもたらすべく複数の電極のうちの第1のセットに供給される駆動信号を生成するように、かつ、入力軸を中心とした振動マスジャイロスコープシステムの回転を計算するべく複数の電極のうちの第2のセットに供給される力再平衡信号を生成するように、かつ、振動マスに関連する直交位相効果を実質的に緩和するべく複数の電極のうちの第3のセットに供給される直交位相信号を生成するように構成されたジャイロスコープ制御部も備える。 【選択図】図2

Abstract translation: 要解决的问题：提供基本上减轻正交效应的振动质量陀螺仪系统。解决方案：本发明包括振动质量陀螺仪系统。 该系统包括传感器系统，其包括振动块和耦合到振动块的多个电极，其被构造成便于振动块的平面内运动。 该系统还包括陀螺仪控制器，该陀螺仪控制器被配置为产生提供给多个电极的第一组的驱动信号，以提供振动块沿着驱动轴线的面内周期振荡运动，以产生力 - 重新平衡信号 其被提供给第二组多个电极以计算振动质量陀螺仪系统围绕输入轴的旋转，并且产生提供给多个电极的第三组的正交信号，以基本上减轻正交 与振动质量相关的影响。选择图：图2

公开(公告)号：JP2015052484A

公开(公告)日：2015-03-19

申请号：JP2013184484

申请日：2013-09-05

Applicant: 日立オートモティブシステムズ株式会社 ,  Hitachi Automotive Systems Ltd

Inventor： YAMANAKA KIYOKO ,  TEI KIGEN ,  HAYASHI MASAHIDE

IPC: G01C19/5712 ,  B81B3/00 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01C19/5712 ,  G01C19/574

Abstract: 【課題】x軸方向周りの角速度、あるいは、y軸方向周りの角速度を検出できる面内角速度センサの性能向上を図る。【解決手段】角速度センサ素子が形成された半導体チップCHP1は、デバイス層DLとキャップ層CAPLとを含む。デバイス層DLには、支持基板1Sの厚さ方向を含むzx平面内で振動可能な励振素子105と、zx平面に垂直なxy平面内に含まれる回転軸周りに角速度が印加された際、角速度に起因して発生するコリオリ力に基づくxy平面内の変位を静電容量の変化として捉える検出部とが形成されている。キャップ層CAPLには、励振素子105をzx平面内で振動させるための電圧が印加される駆動用固定電極106b、107bが形成されている。【選択図】図2

Abstract translation: 要解决的问题：提高能够检测围绕x轴方向的角速度和围绕y轴方向的角速度的面内角速度传感器的性能。解决方案：具有角速度的半导体芯片CHP1 其中形成的传感器元件包括器件层DL和盖层CAPL。 器件层DL在其中形成有能够在包括支撑衬底1S的厚度方向的zx平面内振动的振动元件105和能够捕获xy平面中的位移的电容变化的检测单元 垂直于zx平面引起的由科里奥利力产生的角速度围绕包含在xy平面内的旋转轴。 盖层CAPL具有施加电压的固定驱动电极106b和107b，该电压用于使振动元件105在zx平面内振动。

公开(公告)号：JP5680310B2

公开(公告)日：2015-03-04

申请号：JP2010012080

申请日：2010-01-22

Applicant: コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ ,  コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ

Inventor： フィリップ・ロベール

IPC: G01C19/574 ,  G01C19/56

CPC classification number: G01C19/574

公开(公告)号：JP5617921B2

公开(公告)日：2014-11-05

申请号：JP2012520207

申请日：2010-06-16

Applicant: トヨタ自動車株式会社

Inventor： 勝俊 成田 ,  勝俊 成田 ,  英彦 山岡 ,  英彦 山岡

IPC: G01C19/5747 ,  G01C19/574 ,  G01C19/5769 ,  G01P15/125 ,  G01P15/14 ,  G01P15/18

CPC classification number: G01C19/574 ,  G01P3/22 ,  G01P15/0888 ,  G01P15/125 ,  G01P15/14 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0805

公开(公告)号：JP2014169934A

公开(公告)日：2014-09-18

申请号：JP2013042165

申请日：2013-03-04

Applicant: Seiko Epson Corp ,  セイコーエプソン株式会社

Inventor： FURUHATA MAKOTO

IPC: G01C19/5747 ,  B81B3/00 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01C19/574

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a gyro sensor which is capable of suppressing an influence of an in-phase mode on an oscillation mode.SOLUTION: A gyro sensor includes: a vibrator; a first spring structure part extending in a direction along a first axis and connected to a fixed part and the vibrator; a driving unit for exciting the vibrator; and a detection unit provided on the vibrator. The vibrator has first and second vibrating parts which are juxtaposed in the direction along the first axis in plan view and are driven to vibrate in opposite phases, and a second spring structure part extending in the direction along the first axis and connected to the first and second vibrating parts. A first spring constant Kof the first spring structure part is smaller than a second spring constant Kat one end of the second spring structure part from a middle point equally dividing a length between both ends of the second spring structure part.

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够抑制同相模式对振荡模式的影响的陀螺仪传感器。解决方案：陀螺仪传感器包括：振动器; 第一弹簧结构部分沿着第一轴线方向延伸并连接到固定部分和振动器; 用于激励振动器的驱动单元; 以及设置在振动器上的检测单元。 振动器具有第一和第二振动部分，它们在平面图中沿着第一轴线的方向并列并被驱动以相反的相位振动;以及第二弹簧结构部件，沿着第一轴线方向延伸并且连接到第一和第二振动部分 第二振动部件。 第一弹簧结构部分的第一弹簧常数Kof小于第二弹簧常数Kat的第二弹簧结构部分的两端之间的长度等于第二弹簧结构部分的一端。