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    エッチング方法
    31.
    发明专利
    エッチング方法 审中-公开

    公开(公告)号：JP2020077693A

    公开(公告)日：2020-05-21

    申请号：JP2018208799

    申请日：2018-11-06

    申请人： 三菱製紙株式会社

    发明人： 田邉 昌大 ,  入澤 宗利 ,  宮崎 隆 ,  豊田 裕二

    IPC分类号： G03F7/40 ,  G03F7/20 ,  H01L21/306

    摘要： 【課題】アルカリ現像型で且つネガ型の感光性樹脂組成物層から形成されたレジストパターンを用いて、強アルカリ性のエッチング液によって、ポリイミドフィルム等の基材をエッチングするエッチング方法において、基材のエッチングが完了する前にレジストパターンが溶解、膨潤又は剥離することを抑制することができるエッチング方法を提供することである。 【解決手段】(工程1)基材の少なくとも片面にアルカリ現像型で且つネガ型の感光性樹脂組成物層を形成する工程、(工程2)感光性樹脂組成物層を露光・現像してレジストパターンを形成する工程、(工程3)レジストパターンに追加露光する工程、(工程4)15〜45質量%のアルカリ金属水酸化物及び5〜40質量%のエタノールアミン化合物を含有するエッチング液によって基材をエッチング処理する工程を含むエッチング方法において、(工程3)終了から(工程4)開始までの時間が30分以下であることを特徴とするエッチング方法。 【選択図】なし

    剥離方法
    32.
    发明专利
    剥離方法 审中-公开

    公开(公告)号：JP2019159233A

    公开(公告)日：2019-09-19

    申请号：JP2018049207

    申请日：2018-03-16

    申请人： 三菱製紙株式会社

    发明人： 宮崎 隆 ,  入澤 宗利 ,  梶谷 邦人

    IPC分类号： G03F7/027 ,  G03F7/029 ,  G03F7/42

    摘要： 【課題】基材と高い密着性を有する感光性樹脂組成物の硬化物からなるレジストパターンを基材に悪影響を及ぼさずに、基材上から残渣無く除去することができる剥離方法を提供する。 【解決手段】剥離剤組成物を用いて感光性樹脂組成物の硬化物を剥離する剥離方法であって、該感光性樹脂組成物が、(A)酸変性エポキシ(メタ)アクリレート、(B)光重合開始剤及び(C)ブロック化イソシアネート化合物を含有し、剥離剤組成物が(a)ベンジルアルコールと(b)第一級アミン化合物を含有することを特徴とする剥離方法。 【選択図】なし

    ポジ型ドライフィルムレジスト
    37.
    发明专利
    ポジ型ドライフィルムレジスト 审中-公开

    公开(公告)号：JP2021157049A

    公开(公告)日：2021-10-07

    申请号：JP2020057101

    申请日：2020-03-27

    申请人： 三菱製紙株式会社

    发明人： 中村 優子 ,  入澤 宗利

    IPC分类号： G03F7/004 ,  G03F7/11 ,  H05K3/06 ,  G03F7/023

    摘要： 【課題】本発明の課題は、露光部が現像液に残渣無く溶解し、かつ、未露光部の現像液への溶解速度が低減されて、膜減りやレジストパターンの欠けが生じにくいポジ型ドライフィルムレジストを提供することである。 【解決手段】少なくとも(a)支持体フィルムと(b)剥離層と(c)ポジ型感光性レジスト層がこの順で積層してなり、(b)剥離層がポリビニルアルコールを含み、(c)ポジ型感光性レジスト層が、ノボラック樹脂及びキノンジアジドスルホン酸エステルを主成分として含み、且つ、3質量%以上10質量%以下の溶剤成分を含むことを特徴とするポジ型ドライフィルムレジスト。 【選択図】図1

    感光性樹脂組成物、エッチング方法及び樹脂構造体の製造方法
    38.
    发明专利
    感光性樹脂組成物、エッチング方法及び樹脂構造体の製造方法 审中-公开

    公开(公告)号：JPWO2020013107A1

    公开(公告)日：2021-08-26

    申请号：JP2019026931

    申请日：2019-07-08

    申请人： 三菱製紙株式会社

    发明人： 入澤 宗利 ,  伊藤 旭 ,  田邉 昌大 ,  豊田 裕二 ,  梶谷 邦人

    IPC分类号： G03F7/033 ,  G03F7/40 ,  C08F20/10 ,  C08F265/06 ,  C08F2/44 ,  G03F7/20 ,  G03F7/027

    摘要： 15〜45質量%のアルカリ金属水酸化物及び5〜40質量%のエタノールアミン化合物を含有する強アルカリ性のエッチング液への耐性が優れた感光性樹脂組成物と該感光性樹脂組成物を利用するエッチング方法を提供することを課題にし、少なくとも(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)光重合開始剤及び(C)重合性単量体を含有し、(C)重合性単量体として、一般式(i)で示され、m+nが2以上7以下である化合物を5〜80質量%含有するか、又は、(A)アルカリ可溶性樹脂がスチレン及びメタクリル酸の共重合体であり、(C)重合性単量体として、一般式(i)で示され、m+nが2以上20以下である化合物を含有し、m+nが2以上7以下である化合物の含有量が80質量%以下である感光性樹脂組成物、並びに、該感光性樹脂組成物を利用するエッチング方法及び樹脂構造体の製造方法により上記課題を解決した。

    スクリーン印刷版用感光性フィルム及びスクリーン印刷版の製造方法
    39.
    发明专利
    スクリーン印刷版用感光性フィルム及びスクリーン印刷版の製造方法 审中-公开

    公开(公告)号：JP2021051209A

    公开(公告)日：2021-04-01

    申请号：JP2019174446

    申请日：2019-09-25

    申请人： 三菱製紙株式会社

    发明人： 伊藤 旭 ,  入澤 宗利 ,  梶谷 邦人

    IPC分类号： G03F7/027 ,  G03F7/004 ,  G03F7/12 ,  B41N1/24 ,  B41C1/14 ,  G03F7/11

    摘要： 【課題】本発明の課題は、耐溶剤性、耐刷性に優れ、密着露光後のマスク汚染が少ないスクリーン印刷版用感光性フィルム及びスクリーン印刷版の製造方法を提供することである。 【解決手段】支持体上に保護層と感光性樹脂層とをこの順に有するスクリーン印刷版用感光性フィルムにおいて、該保護層が(A)アルカリ可溶性樹脂を含み、かつ該感光性樹脂層が、(B)酸変性エポキシアクリレート、(C)ブロック化イソシアネート化合物及び(D)光重合開始剤を含有することを特徴とするスクリーン印刷版用感光性フィルム、及び、該スクリーン印刷版用感光性フィルムを用いるスクリーン印刷版の製造方法 【選択図】図1