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公开(公告)号：JP2018060205A
公开(公告)日：2018-04-12
申请号：JP2017213721
申请日：2017-11-06
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 【課題】低温硬化が可能であり、硬化レリーフパターン形状に優れた硬化膜を形成することができる、フェノール樹脂を含有する感光性樹脂組成物、硬化レリーフパターン及びその製造方法、並びに半導体装置及び表示体装置の提供。 【解決手段】(A)フェノール樹脂、(B)カルボキシ基、エステル結合、アミド結合、ウレタン結合及びウレア結合からなる群から選択される少なくとも一つの官能基を分子内に2〜4有する炭素数2〜150の化合物、並びにカルボキシル基を分子内に2〜4有する炭素数2〜150の化合物の酸無水物、からなる群から選択される少なくとも一つの化合物、並びに(C)光酸発生剤、を含む感光性樹脂組成物。 【選択図】なし
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公开(公告)号：JPWO2017170600A1
公开(公告)日：2018-04-05
申请号：JP2017551344
申请日：2017-03-28
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 本明細書において特定される構造を有する樹脂及び化合物を含む感光性樹脂組成物が、銅配線への接着性に優れた硬化膜を与える。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2017198977A
公开(公告)日：2017-11-02
申请号：JP2017062244
申请日：2017-03-28
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 【課題】高温保存(high temperature storage)試験後、Cu層の、硬化後の感光性樹脂層に接する界面でボイドが発生せず、密着性が高い樹脂層が得られる、感光性樹脂組成物及び該感光性樹脂組成物を用いた硬化レリーフパターンの形成方法の提供。 【解決手段】感光性樹脂と特定の可塑剤とを組み合わせることにより、高温保存(high temperature storage)試験後に、Cu層と樹脂層との界面でボイドが発生せず、密着性が高い感光性樹脂が得られる感光性樹脂組成物及び該感光性樹脂組成物を用いた硬化レリーフパターン。 【選択図】なし
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公开(公告)号：JP6000416B2
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：JP2015139162
申请日：2015-07-10
Applicant: 旭化成株式会社
CPC classification number: G03F7/0236 , C08G61/02 , C08G8/04 , C08L61/12 , C08L65/00 , G03F7/40 , C08G2261/3424 , C08G2261/45 , C08G2261/592
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公开(公告)号：JP5968227B2
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：JP2012550952
申请日：2011-12-26
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: G03F7/004 , C08G61/02 , H01L21/768 , H01L23/532 , G03F7/023
CPC classification number: G03F7/0236 , C08G61/02 , C08G8/04 , C08L61/12 , C08L65/00 , G03F7/40 , C08G2261/3424 , C08G2261/45 , C08G2261/592
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