公开(公告)号：JP6270372B2

公开(公告)日：2018-01-31

申请号：JP2013168524

申请日：2013-08-14

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 奥田 敏章 ,  佐々木 隆弘 ,  米谷 昌樹

IPC: G03F7/023 ,  G03F7/038 ,  G03F7/004

公开(公告)号：JP6228460B2

公开(公告)日：2017-11-08

申请号：JP2013548299

申请日：2012-12-06

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 渋井 智史 ,  平田 竜也 ,  佐々木 隆弘 ,  山田 泰輔

IPC: G03F7/023

CPC classification number: G03F7/0233 ,  C08G16/0225 ,  C08G61/127 ,  C08G61/128 ,  C08G8/22 ,  C08L61/12 ,  C08L65/00 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/022 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/023 ,  G03F7/0236 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0382 ,  G03F7/0384 ,  G03F7/039 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/162 ,  G03F7/2004 ,  G03F7/30 ,  G03F7/322 ,  G03F7/40 ,  H01L21/56 ,  H01L23/293 ,  C08G2261/3424 ,  C08G2261/76 ,  C08G61/02

公开(公告)号：JP2017111455A

公开(公告)日：2017-06-22

申请号：JP2017009006

申请日：2017-01-20

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 渋井 智史 ,  平田 竜也 ,  佐々木 隆弘 ,  山田 泰輔

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  C08G61/02 ,  G03F7/20 ,  G03F7/039 ,  G03F7/023

CPC classification number: G03F7/0233 ,  C08G16/0225 ,  C08G61/127 ,  C08G61/128 ,  C08G8/22 ,  C08L61/12 ,  C08L65/00 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/022 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/023 ,  G03F7/0236 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0382 ,  G03F7/0384 ,  G03F7/039 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/162 ,  G03F7/2004 ,  G03F7/30 ,  G03F7/322 ,  G03F7/40 ,  H01L21/56 ,  H01L23/293 ,  C08G2261/3424 ,  C08G2261/76 ,  C08G61/02

Abstract: 【課題】本発明は、十分なアルカリ溶解性を有し、300℃以下の温度での硬化が可能であり、硬化膜の伸度に優れ、厚膜(約10μm)でのパターン形成が可能であり、硬化時の残膜率が高く、かつ硬化レリーフパターンの形状が良好である感光性樹脂、該感光性樹脂を用いてパターンを形成する硬化レリーフパターンの形成方法、並びに該硬化レリーフパターンを有する半導体装置及び表示体装置を提供することを課題とする。 【解決手段】(A−1)下記一般式(1)で表される構造を含む樹脂及び(B)光酸発生剤を含む感光性樹脂組成物が提供される。 {式(1)中、X、R 1 〜R 7 、m 1 〜m 4 、n 1 、n 2 、Y及びWは、それぞれ明細書に規定された通りである} 【選択図】図1

公开(公告)号：JP5981739B2

公开(公告)日：2016-08-31

申请号：JP2012057982

申请日：2012-03-14

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 奥田 敏章 ,  佐々木 隆弘 ,  米谷 昌樹

IPC: C08G65/40 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/023

公开(公告)号：JP6797866B2

公开(公告)日：2020-12-09

申请号：JP2018128480

申请日：2018-07-05

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 頼末 友裕 ,  中村 光孝 ,  井上 泰平 ,  平田 竜也 ,  佐々木 隆弘

IPC: G03F7/20 ,  C08G73/12 ,  C08F299/02 ,  C08F290/14 ,  G03F7/027

公开(公告)号：JP2018169627A

公开(公告)日：2018-11-01

申请号：JP2018128502

申请日：2018-07-05

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 頼末 友裕 ,  中村 光孝 ,  井上 泰平 ,  平田 竜也 ,  佐々木 隆弘

IPC: G03F7/031 ,  G03F7/20 ,  C08G73/12 ,  C08F2/50 ,  C08F299/02 ,  C08F290/14 ,  G03F7/027

CPC classification number: C08G73/10 ,  G03F7/037

Abstract: 【課題】膜としたときに膜厚の面内均一性を向上させた、ネガ型感光性ポリイミド樹脂組成物を提供する。 【解決手段】(A)ポリイミド前駆体:100質量部;及び(B)光重合開始剤:0.1質量部〜20質量部;を含むネガ型感光性樹脂組成物であって、(A)ポリイミド前駆体が、ポリアミド酸エステル又はポリアミド酸塩であり、(A)ポリイミド前駆体の重量平均分子量(Mw)が、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)によるポリスチレン換算において、3,000以上、13,000以下であることを特徴とする、ネガ型感光性樹脂組成物。 【選択図】なし

公开(公告)号：JP6382362B2

公开(公告)日：2018-08-29

申请号：JP2017009006

申请日：2017-01-20

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 渋井 智史 ,  平田 竜也 ,  佐々木 隆弘 ,  山田 泰輔

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  C08G61/02 ,  G03F7/20 ,  G03F7/023

CPC classification number: G03F7/0233 ,  C08G8/22 ,  C08G16/0225 ,  C08G61/02 ,  C08G61/127 ,  C08G61/128 ,  C08G2261/3424 ,  C08G2261/76 ,  C08L61/12 ,  C08L65/00 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/022 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/023 ,  G03F7/0236 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0382 ,  G03F7/0384 ,  G03F7/039 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/162 ,  G03F7/2004 ,  G03F7/30 ,  G03F7/322 ,  G03F7/40 ,  H01L21/56 ,  H01L23/293

公开(公告)号：JP6294023B2

公开(公告)日：2018-03-14

申请号：JP2013157115

申请日：2013-07-29

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 奥田 敏章 ,  佐々木 隆弘

IPC: G03F7/004 ,  C08G61/10 ,  C08G8/08 ,  G03F7/023

公开(公告)号：JP6116954B2

公开(公告)日：2017-04-19

申请号：JP2013060161

申请日：2013-03-22

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 奥田 敏章 ,  佐々木 隆弘

IPC: G03F7/023 ,  G03F7/038 ,  C08L61/06 ,  C08L91/00 ,  C08K5/09 ,  C08K5/10 ,  G03F7/004

公开(公告)号：JP5999938B2

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：JP2012057995

申请日：2012-03-14

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 奥田 敏章 ,  佐々木 隆弘 ,  市橋 亮

IPC: G03F7/022 ,  G03F7/004 ,  C08G8/00 ,  G03F7/023