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公开(公告)号：KR102222658B1
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：KR1020157032069A
申请日：2014-06-12
申请人： 디아이씨 가부시끼가이샤
CPC分类号： C08G8/20 , C07C39/14 , C07C39/17 , C08G8/04 , C09D161/12 , G03F7/004 , G03F7/0226 , G03F7/0236 , G03F7/094 , G03F7/11 , C07C2603/92
摘要： 내열성이 뛰어난 페놀성 수산기 함유 화합물, 내열분해성, 광감도 및 해상도가 뛰어난 레지스트용 조성물, 내열분해성 및 드라이에칭 내성이 뛰어난 레지스트 하층막용 조성물을 제공한다. 하기 구조식(1)
(식 중, R
1 은 수소 원자, 알킬기 또는 아릴기이며, n은 2∼10의 정수이다. R
2 는 알킬기, 알콕시기, 아릴기, 아랄킬기, 할로겐 원자 중 어느 하나이며, m은 0∼4의 정수이다. m이 2 이상의 경우, 복수의 R
2 는 각각 동일해도 되며 달라도 되며, 나프틸렌 골격의 2개의 방향환 중 어느 쪽에 결합하고 있어도 된다)으로 표시되는 분자 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 페놀성 수산기 함유 화합물.-
公开(公告)号：JPWO2016208257A1
公开(公告)日：2018-05-10
申请号：JP2017524695
申请日：2016-04-15
申请人： 丸善石油化学株式会社
CPC分类号： C08F6/06 , C08F6/00 , C08F212/14 , C08F297/00 , C08G8/04 , C08G8/20 , C08G12/26
摘要： 【課題】金属イオン不純物の含有量が少ない電子材料用重合体を製造する方法およびその方法により得られた電子材料用重合体の提供。【解決手段】本発明の電子材料用重合体の製造方法は、単量体を重合反応させて重合体を得る、重合工程と、重合体を含む重合体溶液に、0以下のpKaを有する強酸を添加した後、イオン交換処理を施して、金属イオン不純物濃度を低減させる、精製工程と、を含んでなるものである。
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公开(公告)号：JP2017220669A
公开(公告)日：2017-12-14
申请号：JP2017108863
申请日：2017-06-01
申请人： 信越化学工業株式会社
IPC分类号： B24B7/22 , C09J7/02 , C09J201/00 , C09J183/04 , C09J163/00 , H01L21/683 , H01L21/304
CPC分类号： H01L24/29 , B32B37/1207 , B32B37/1284 , B32B7/12 , C08G77/42 , C08G8/04 , C08G8/28 , C09J161/14 , C09J183/10 , C09J5/06 , C09J7/35 , C09J9/00 , H01L21/6835 , H01L21/76898 , H01L24/27 , B32B2037/1253 , B32B2250/02 , B32B2255/26 , B32B2255/28 , B32B2305/72 , B32B2325/00 , B32B2363/00 , B32B2383/00 , B32B2386/00 , B32B2457/14 , C09J2203/326 , C09J2461/00 , C09J2483/00 , H01L2221/68327 , H01L2221/6834 , H01L2221/68381
摘要： 【課題】支持体とウエハとの接合が容易であり、ウエハの支持体からの剥離も容易で、薄型ウエハの生産性を高めることができる、薄型ウエハ製造に適したウエハ積層体、及びその製造方法を提供する。 【解決手段】支持体と、該支持体上に形成された接着剤層と、該接着剤層に回路面を有する表面が対向するように積層されたウエハとを備えたウエハ積層体であって、前記接着剤層が、前記支持体側から順に、遮光性を有する樹脂層Aと、シロキサン骨格及びエポキシ基を含む樹脂を含む樹脂層Bと、非シリコーン系熱可塑性樹脂を含む樹脂層Cとを含み、樹脂層Bが、シロキサン骨格及びエポキシ基を含む樹脂を含む樹脂組成物Bの硬化物からなり、該樹脂組成物Bの硬化物の樹脂モジュラスが10〜1,000MPaであるウエハ積層体。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JPWO2016104214A1
公开(公告)日：2017-10-05
申请号：JP2016566122
申请日：2015-12-14
申请人： 三菱瓦斯化学株式会社
IPC分类号： C07D311/78 , C08L101/02 , G03F7/039 , G03F7/11 , G03F7/26
CPC分类号： C07D311/78 , C08G8/04 , C08G8/08 , C08G18/30 , C09D161/06 , G03F7/11 , G03F7/16 , G03F7/20 , G03F7/26 , G03F7/30
摘要： 下記式(1)で表される、化合物。【化1】(式(1)中、Xは各々独立して、酸素原子若しくは硫黄原子、又は無架橋であることを表し、R1は単結合又は炭素数1〜30の2n価の基であり、該基は、脂環式炭化水素基、二重結合、ヘテロ原子又は炭素数6〜30のアリール基を有していてもよく、R2は各々独立して、炭素数1〜10の直鎖状、分岐状若しくは環状のアルキル基、炭素数6〜10のアリール基、炭素数2〜10のアルケニル基、炭素数1〜30のアルコキシ基、炭素数6〜30のアリールオキシ基又は水酸基であり、ここで、R2の少なくとも1つは炭素数1〜30のアルコキシ基又は炭素数6〜30のアリールオキシ基であり、mは各々独立して、1〜6の整数であり、pは各々独立して、0又は1であり、nは1〜4の整数である。)
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公开(公告)号：JPWO2016076403A1
公开(公告)日：2017-10-05
申请号：JP2016559109
申请日：2015-11-12
申请人： アイカSdkフェノール株式会社
摘要： フェノール類と、炭素原子数6〜20の飽和脂肪族アルデヒドとを、下記一般式(1)B−(OR)3(1)(式中、3個のRは、それぞれ独立に水素原子、炭素原子数1〜10のアルキル基のいずれかを示す。)で表されるホウ素化合物および25℃におけるpKaが5.0以下の酸の存在下で反応させる、ノボラック型フェノール樹脂の製造方法である。
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公开(公告)号：JP6135600B2
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：JP2014107792
申请日：2014-05-26
申请人： 信越化学工業株式会社
IPC分类号： G03F7/26 , G03F7/42 , C08G8/20 , H01L21/027 , G03F7/11
CPC分类号： H01L21/0276 , C08G8/04 , G03F7/091 , G03F7/094 , G03F7/425 , H01L21/266 , G03F7/0752 , G03F7/11
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公开(公告)号：JP6119669B2
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：JP2014107782
申请日：2014-05-26
申请人： 信越化学工業株式会社
CPC分类号： H01L21/0276 , C08G8/04 , G03F7/0752 , G03F7/091 , G03F7/094 , G03F7/11 , G03F7/425 , H01L21/266
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公开(公告)号：JP6119668B2
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：JP2014107769
申请日：2014-05-26
申请人： 信越化学工業株式会社
IPC分类号： G03F7/11 , C08G8/00 , G03F7/26 , G03F7/42 , H01L21/027
CPC分类号： H01L21/0276 , C08G8/04 , G03F7/0752 , G03F7/091 , G03F7/094 , G03F7/11 , G03F7/425 , H01L21/266
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公开(公告)号：JP6094587B2
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：JP2014534429
申请日：2013-09-06
申请人： JSR株式会社
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/11
CPC分类号： G03F7/11 , C07C217/18 , C07C279/08 , C08G8/04 , C08G8/20 , C08L61/06 , G03F7/094 , G03F7/26 , G03F7/40 , H01L21/02057 , H01L21/0273 , H01L21/0274 , H01L21/30604 , H01L21/3065 , H01L21/3081 , H01L21/3086 , H01L21/31058 , C07C2603/92
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公开(公告)号：JP6076412B2
公开(公告)日：2017-02-08
申请号：JP2015139558
申请日：2015-07-13
申请人： ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシー , Rohm and Haas Electronic Materials LLC , ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ・コリア・リミテッド
CPC分类号： G03F7/094 , C07C39/14 , C07C39/17 , C07D213/16 , C08G12/08 , C08G12/26 , C08G12/34 , C08G8/04 , C08G8/08 , C08G8/10 , C09D161/06 , C09D161/22 , C09D161/26 , G03F7/091 , G03F7/30 , G03F7/36 , C07C2103/18 , C07C2103/24 , C07C2103/40 , C07C2103/42 , C07C2103/50 , C07C2103/52
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