公开(公告)号：JP6382362B2

公开(公告)日：2018-08-29

申请号：JP2017009006

申请日：2017-01-20

申请人： 旭化成株式会社

发明人： 渋井 智史 ,  平田 竜也 ,  佐々木 隆弘 ,  山田 泰輔

IPC分类号： G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  C08G61/02 ,  G03F7/20 ,  G03F7/023

CPC分类号： G03F7/0233 ,  C08G8/22 ,  C08G16/0225 ,  C08G61/02 ,  C08G61/127 ,  C08G61/128 ,  C08G2261/3424 ,  C08G2261/76 ,  C08L61/12 ,  C08L65/00 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/022 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/023 ,  G03F7/0236 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0382 ,  G03F7/0384 ,  G03F7/039 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/162 ,  G03F7/2004 ,  G03F7/30 ,  G03F7/322 ,  G03F7/40 ,  H01L21/56 ,  H01L23/293

公开(公告)号：JP6000416B2

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：JP2015139162

申请日：2015-07-10

申请人： 旭化成株式会社

发明人： 佐々木 隆弘 ,  山田 泰輔 ,  李 軍

IPC分类号： G03F7/023 ,  C08G61/02

CPC分类号： G03F7/0236 ,  C08G61/02 ,  C08G8/04 ,  C08L61/12 ,  C08L65/00 ,  G03F7/40 ,  C08G2261/3424 ,  C08G2261/45 ,  C08G2261/592

公开(公告)号：JP5968227B2

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：JP2012550952

申请日：2011-12-26

申请人： 旭化成株式会社

发明人： 佐々木 隆弘 ,  山田 泰輔 ,  李 軍

IPC分类号： G03F7/004 ,  C08G61/02 ,  H01L21/768 ,  H01L23/532 ,  G03F7/023

CPC分类号： G03F7/0236 ,  C08G61/02 ,  C08G8/04 ,  C08L61/12 ,  C08L65/00 ,  G03F7/40 ,  C08G2261/3424 ,  C08G2261/45 ,  C08G2261/592

公开(公告)号：JP6228460B2

公开(公告)日：2017-11-08

申请号：JP2013548299

申请日：2012-12-06

申请人： 旭化成株式会社

发明人： 渋井 智史 ,  平田 竜也 ,  佐々木 隆弘 ,  山田 泰輔

IPC分类号： G03F7/023

CPC分类号： G03F7/0233 ,  C08G16/0225 ,  C08G61/127 ,  C08G61/128 ,  C08G8/22 ,  C08L61/12 ,  C08L65/00 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/022 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/023 ,  G03F7/0236 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0382 ,  G03F7/0384 ,  G03F7/039 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/162 ,  G03F7/2004 ,  G03F7/30 ,  G03F7/322 ,  G03F7/40 ,  H01L21/56 ,  H01L23/293 ,  C08G2261/3424 ,  C08G2261/76 ,  C08G61/02

公开(公告)号：JP2017111455A

公开(公告)日：2017-06-22

申请号：JP2017009006

申请日：2017-01-20

申请人： 旭化成株式会社

发明人： 渋井 智史 ,  平田 竜也 ,  佐々木 隆弘 ,  山田 泰輔

IPC分类号： G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  C08G61/02 ,  G03F7/20 ,  G03F7/039 ,  G03F7/023

CPC分类号： G03F7/0233 ,  C08G16/0225 ,  C08G61/127 ,  C08G61/128 ,  C08G8/22 ,  C08L61/12 ,  C08L65/00 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/022 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/023 ,  G03F7/0236 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0382 ,  G03F7/0384 ,  G03F7/039 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/162 ,  G03F7/2004 ,  G03F7/30 ,  G03F7/322 ,  G03F7/40 ,  H01L21/56 ,  H01L23/293 ,  C08G2261/3424 ,  C08G2261/76 ,  C08G61/02

摘要： 【課題】本発明は、十分なアルカリ溶解性を有し、300℃以下の温度での硬化が可能であり、硬化膜の伸度に優れ、厚膜(約10μm)でのパターン形成が可能であり、硬化時の残膜率が高く、かつ硬化レリーフパターンの形状が良好である感光性樹脂、該感光性樹脂を用いてパターンを形成する硬化レリーフパターンの形成方法、並びに該硬化レリーフパターンを有する半導体装置及び表示体装置を提供することを課題とする。 【解決手段】(A−1)下記一般式(1)で表される構造を含む樹脂及び(B)光酸発生剤を含む感光性樹脂組成物が提供される。 {式(1)中、X、R 1 〜R 7 、m 1 〜m 4 、n 1 、n 2 、Y及びWは、それぞれ明細書に規定された通りである} 【選択図】図1