公开(公告)号：JP2015072994A

公开(公告)日：2015-04-16

申请号：JP2013207467

申请日：2013-10-02

Applicant: 株式会社ディスコ

Inventor： 荒井 一尚

IPC: H01L21/301

CPC classification number: B28D5/0082 ,  H01L21/6835 ,  H01L21/6836 ,  H01L2221/68327

Abstract: 【課題】装置を小型化可能なウェーハの加工方法を提供する。 【解決手段】交差する複数の分割予定ライン(17)で区画された表面(11a)の各領域にそれぞれデバイス(19)が形成されたウェーハ(11)の加工方法であって、ウェーハと略同形の支持部材(21)をウェーハの裏面(11b)に配設する支持部材配設ステップと、支持部材配設ステップを実施した後、ウェーハの表面側から分割予定ラインに沿ってダイシングしてウェーハを個々のチップへと分割する分割ステップと、を備える構成とした。 【選択図】図1

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种允许压实装置的晶片的处理方法。解决方案：一种晶片（11）的处理方法，其中在由表面（11a）上的每个区域中形成器件（19），该器件（19）由 多个交叉排列分割线（17）包括支撑部件设置步骤，用于在晶片的后表面（11b）上设置与晶片基本相同形状的支撑部件（21），以及用于切割晶片的分离步骤 沿着预定的分割线从支撑构件设置步骤的表面侧开始，并将晶片分成单独的芯片。

公开(公告)号：JP2014207250A

公开(公告)日：2014-10-30

申请号：JP2011176830

申请日：2011-08-12

Applicant: 株式会社安永 ,  Yasunaga Corp

Inventor： HAYAKAWA AKIO ,  ICHIMI KIYOHIDE

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/304

CPC classification number: H01L21/67092 ,  B28D5/0082

Abstract: 【課題】シリコンインゴットを切断してなる多数枚のウェハ群を液体通過後に確実に一枚ずつのウェハに分離して次工程に供給可能なウェハ分離装置及びこれを用いたウェハの製造方法を提供する。【解決手段】液槽内に、シリコンインゴットを切断して横置きに層状に積載された多数枚のウェハ群Wに向けて横方向に液流を噴射する液流噴射ノズル(50)と、液流噴射ノズルの下方に液流噴射ノズルとウェハ群Wとの間に気泡を吐出させ上昇させる気泡吐出装置(60)とを設ける。【選択図】図1

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种晶片分离器，其能够可靠地将通过将硅锭切割成每片晶片形成的多个晶片组，并通过液体提供下一步，并提供制造晶片的工艺 使用相同的方法。晶片分离器包括在液体罐中：液流喷射喷嘴（50），其通过切割水平状态在横向方向上朝向多个以水平状态装载的层的晶片组W喷射液体电流 硅锭; 以及在液流喷射喷嘴和晶片组W之间朝向液流喷射喷嘴的下方排出气泡的气泡排出装置（60）。

公开(公告)号：JP2014014903A

公开(公告)日：2014-01-30

申请号：JP2012154784

申请日：2012-07-10

Applicant: Komatsu Ntc Ltd ,  コマツNtc株式会社

Inventor： NAKAMOTO HIROSHI ,  KAWAZU TOMOYUKI ,  ISHIZUKA SATOSHI ,  HIMATA AKINORI ,  SATAKE TAKAFUMI

IPC: B24B27/06

CPC classification number: B28D1/08 ,  B24B27/0633 ,  B24B41/06 ,  B28D5/0082 ,  B28D5/045

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a wire saw which can feed and move a workpiece in a standing state toward a wire between rollers for processing, without fixing the workpiece to a feeding device, and can dispense with fixing of the workpiece to the workpiece feeding device, and to provide a workpiece processing method in the wire saw.SOLUTION: A wire 47 is wound between multiple rollers 45 for processing, the wire 47 is moved around by rotation of the rollers 45 for processing, and a workpiece 49 is cut off by the wire 47 moved around. There is provided a supply pallet 67 for guiding the workpiece 49 so as to be moved in a standing state toward the wire 47 between the rollers 45 for processing. At a workpiece receiving position on a downstream side of the wire 47 in a workpiece feeding direction, there is provided a receiving pallet 100 for receiving the cut off workpiece 49 being kept having a feeding attitude.

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种线锯，其能够将处于静止状态的工件进给和移动到用于加工的辊之间的线，而不将工件固定到进给装置，并且可以省去将工件固定到工件进给 装置，并在线锯中提供工件加工方法。解决方案：线47缠绕在多个辊45之间用于加工，线47通过辊45的旋转而移动以进行加工，并且将工件49切断 通过电线47移动。 设置有用于引导工件49的供应托板67，以便以处于立式状态的方式朝向辊45之间的线47移动以进行处理。 在工件进给方向的线47的下游侧的工件接收位置处，设置有用于接收保持具有进给姿态的切断工件49的接收托盘100。

公开(公告)号：JP5388862B2

公开(公告)日：2014-01-15

申请号：JP2009542686

申请日：2007-12-19

Applicant: アールイーシー・ウェーハ・ピーティーイー・リミテッド

Inventor： ペル・アルネ・ワン ,  アルネ・ラムスランド ,  オレ・クリスチャン・トロンルッド ,  エーリク・イェルタース ,  ベント・ハメル ,  アンドレ・スカイエ ,  オラ・トロンルッド

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/304

CPC classification number: B28D5/0082 ,  B65G49/061 ,  B65G49/068 ,  B65G2249/04 ,  Y10T156/19

公开(公告)号：JP2012533898A

公开(公告)日：2012-12-27

申请号：JP2012521040

申请日：2010-07-22

Applicant: ゲブリューダー シュミット ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング

Inventor： ボルム スベン ,  フーバー ラインハルト

IPC: H01L21/304 ,  H01L31/04

CPC classification number: H01L31/18 ,  B28D5/0076 ,  B28D5/0082 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/67313

Abstract: キャリア上の基板をクリーニングする装置及び方法において、複数の基板が、互いに平行で、互いから僅かに離れるように、キャリアの下側に固定され、キャリアが、その内部において、互いに平行に延びる複数の縦方向の通路を有する。 ウェーハのソーイングの結果として、通路は、開口を介して基板間の隙間に結合する。 相対移動の結果として、細長いチューブから出るクリーニング液が縦方向の通路の一つに供給され、キャリアの移動によって相対移動が行われる。

公开(公告)号：JP5016122B1

公开(公告)日：2012-09-05

申请号：JP2011049054

申请日：2011-03-07

Applicant: コマツNtc株式会社

Inventor： 晶寛 松田 ,  啓 谷崎

IPC: B24B27/06 ,  B28D5/04 ,  H01L21/304

CPC classification number: B28D5/0082 ,  B28D5/0064 ,  B28D5/045

Abstract: 【課題】ワーク支持部に対するワークの装着のたびに、ワイヤに対するワークの姿勢を調節する必要がなく、作業性を良くして加工能率を向上させることができる測定用治具及びワイヤソーを提供する。
【解決手段】ワイヤソーには、上下方向に延びる軸線を中心に位置調節可能なワーク支持部２７と、位置決め機能を有する複数のクランプ金具３０を介してワーク支持部２７に着脱可能に装着されるワーク用治具とを備える。 ワーク用治具に代えて、ワーク支持部２７にクランプ金具３０を介して着脱可能に装着される測定用治具４２を設ける。 測定用治具４２には、ワイヤソーのメインローラ間のワイヤ２５の位置を検出するためのカメラ４４を設ける。 カメラ４４によるワイヤ２５の位置検出に基づいてワーク支持部２７の位置を調節して、クランプ金具３０をワイヤ２５に対して所定位置に位置設定する。
【選択図】図９

公开(公告)号：JP2012115980A

公开(公告)日：2012-06-21

申请号：JP2011260791

申请日：2011-11-29

Applicant: Rena Gmbh ,  レナ ゲーエムベーハー

Inventor： DECHANT-WAGNER ROLAND

IPC: B24B27/06 ,  B28D7/02 ,  H01L21/304

CPC classification number: H01L21/67051 ,  B28D5/0076 ,  B28D5/0082

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To ensure uniform distribution and effective use of cleaning liquid over the entire longitudinal extent of a support.SOLUTION: A device has two regions arranged parallel to the device longitudinal axis (L). The upper region is configured as an adapter region 1 by means of which the device can be connected to a machine instrument. The lower region is formed as a holding region 2 which comprises a part, provided as a channel 11, of a circumferentially closed or closable channel system which can be supplied with flushing liquid by means of closable supply openings 5. The bottom of the channel 11 is opened in a slot-like fashion during the sawing of the substrate block 13A, 13B so as to provide passage openings 15 for the flushing liquid. The channel 11 is subdivided into a plurality of sections 11A, 11B along the device longitudinal axis (L).

Abstract translation: 要解决的问题：确保在支撑件的整个纵向范围内均匀分布和有效使用清洁液体。 解决方案：器件具有平行于器件纵向轴线（L）布置的两个区域。 上部区域被配置为适配器区域1，通过该适配器区域，该设备可以连接到机械仪器。 下部区域形成为保持区域2，保持区域2包括设置为通道11的周向闭合或闭合通道系统的部分，该通道系统可通过可关闭的供应开口5供应冲洗液体。通道11的底部 在基板块13A，13B的锯切期间以槽状开口，以便为冲洗液提供通道开口15。 通道11沿着设备纵向轴线（L）被细分为多个部分11A，11B。 版权所有（C）2012，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2012081746A

公开(公告)日：2012-04-26

申请号：JP2011201040

申请日：2011-09-14

Applicant: Sumitomo Chemical Co Ltd ,  住友化学株式会社

Inventor： MURAKAMI NORIO ,  OHIRA TOMOTSUGU

IPC: B28B11/14

CPC classification number: B28B11/14 ,  B28D5/0082 ,  B28D5/045

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for cutting a green honeycomb molded body by which a cross section of a through-hole is hardly deformed, to provide a method for producing a honeycomb structure, and to provide a cutting device.SOLUTION: The method is provided for cutting the green honeycomb molded body 70 having a through-hole 70a with a polygonal cross section. A cutting edge 12 which is arranged along a surface (XZ surface) perpendicular to the axis of the through-hole 70a and in the direction nonparallel to each side 70b of the through-hole 70a, is moved in the direction perpendicular to the cutting edge 12 relative to the green honeycomb molded body 70.

Abstract translation: 解决的问题：提供一种切割通孔的横截面几乎不变形的生坯蜂窝成形体的方法，以提供蜂窝结构体的制造方法，并提供切割装置。 解决方案：该方法用于切割具有多边形横截面的通孔70a的生坯蜂窝模制体70。 沿与通孔70a的轴线垂直的面（XZ面）和与通孔70a的各侧70b不平行的方向配置的切削刃12沿与切削刃垂直的方向移动 （C）2012，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2012506136A

公开(公告)日：2012-03-08

申请号：JP2011531462

申请日：2009-10-12

Applicant: ゲブリューダー シュミット ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング

Inventor： プラウエルン，ディルク ,  ボルバー，ゲルハルト ,  ボルバー，ハンス−イェルク ,  ボルバー，ミヒャエル ,  ボルバー，レンヒェン ,  ランプレヒト，イェルク

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/304

CPC classification number: B28D5/0082 ,  Y10T29/49821 ,  Y10T29/53

Abstract: ウエハを支持デバイス（１７）から分離する分離方法において、ウエハは接着剤によって支持デバイス（１７）に固着されたウエハブロック（４０）を切断して形成され、ウエハ自体はその一側において支持デバイス（１７）に依然として接着されており、ウエハを伴う支持デバイス（１７）は、一定の運動面に沿って接着剤除去デバイス（４７）へと駆動される。 支持デバイスは接着剤除去デバイス（４７）内に留まるとともに、接着剤除去容器（５５，５５ａ，５５ｂ）において可動壁部（５２ａ，５２ｂ）によって包囲される。 接着剤除去容器（５５，５５ａ，５５ｂ）を形成してこれを閉塞した後、接着剤を除去するための溶剤が接着剤除去容器内およびウエハに対して供給され、接着剤を溶解し、そしてウエハを支持デバイス（１７）から除去する。

公开(公告)号：JP2011518688A

公开(公告)日：2011-06-30

申请号：JP2011505606

申请日：2009-02-23

Applicant: アプライド マテリアルズ スイツァーランド エス エー

Inventor： フィリップ ナッシュ ,  ダビッド バラネス ,  ニクラウス ヨハン ビュセール

IPC: B28D7/04 ,  B24B27/06 ,  B28D5/04

CPC classification number: B28D5/0082 ,  B28D5/045 ,  Y10T83/95 ,  Y10T156/10

Abstract: The device (1) for wire sawing of a piece (10) to be sawed that is mounted on a support table (20) comprises fastening means (15, 26, 40) for fastening said piece (10) to be sawed to a carriage (18) apt to cooperate with a guide rail of said support table (20), said fastening means (15, 26, 40) consisting of a mounting plate (15) apt to be manufactured to which said piece (10) to be sawed is bonded, and of anchoring means (26, 40) for anchoring said mounting plate (15) directly on said carriage (18).