公开(公告)号：JP2012508373A

公开(公告)日：2012-04-05

申请号：JP2011535139

申请日：2009-11-11

Applicant: フラウンホファー ゲセルシャフト ツール フェールデルンク ダー アンゲヴァンテン フォルシュンク エー.ファオ.

Inventor： ペーター・メルツ ,  マンフレート・ヴァイス

IPC: G01C19/5762 ,  G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5719 ,  G01C19/5712 ,  G01C19/574 ,  G01C19/5755

Abstract: The micro-mechanical coriolis rotary speed sensor has components around measuring axes in three orthogonal spatial directions. A substrate (7), a detection mass (3) and two drive masses (4a,4b,4c,4d) are provided, where the drive masses are driven relative to the substrate in a primary motion. The detection mass is coupled with the drive masses. An independent claim is included for a method for detecting rotary speed in three mutually orthogonal spatial directions.

公开(公告)号：JP2011203086A

公开(公告)日：2011-10-13

申请号：JP2010070077

申请日：2010-03-25

Applicant: Toyota Central R&D Labs Inc ,  株式会社豊田中央研究所

Inventor： AKASHI TERUHISA ,  NONOMURA YUTAKA ,  FUJIYOSHI MOTOHIRO ,  FUNABASHI HIROBUMI ,  HATA YOSHIYUKI ,  OMURA YOSHITERU

IPC: G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  G01P15/125

CPC classification number: G01C19/574 ,  G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/082

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To achieve a structure with a first movable section displaced orthogonal to a substrate surface and a second movable section displaced parallel to the substrate surface by using a laminated structure, and to reduce a manufacturing cost by letting the first and second movable sections have a nesting structure.SOLUTION: The laminated structure 10 is equipped with: the frame-like outer movable section 20; and the inner movable section 30 received in a frame of the outer movable section 20. A y-spring 21 is connected to the outer movable section 20, and the outer movable section 20 is supported displaceably in the y-axis direction by the y-spring 21 at a height at which the outer movable section 20 is separated from an outer substrate 81. A z-spring 31 is connected to the inner movable section 30, and the inner movable section 30 is supported displaceably in the z-axis direction by the z-spring 31 at a height at which the inner movable section 30 is separated from an outer substrate 81. The outer movable section 20 and the z-spring 31 have different heights from the substrate 81, and the z-spring 31 sterically crosses the outer movable section 20 at the height at which the z-spring 31 is separated from the outer movable section 20.

Abstract translation: 要解决的问题：为了实现具有与基板表面正交位移的第一可移动部分和通过使用层压结构平行于基板表面移动的第二可移动部分的结构，并且通过使第一和第二可移动 切片具有嵌套结构。解决方案：层压结构10配备有框架状的外部可动部20; 并且内部可动部30容纳在外部可动部20的框架中.Y弹簧21连接到外部可动部20，外部可动部20在y轴方向上被y轴方向支承， 外部可动部20与外部基板81分离的高度的弹簧21.z弹簧31连接到内部可动部30，内部可动部30以z轴方向可移动地支承， 在内部可动部分30与外部基板81分离的高度处的z-弹簧31.外部可移动部分20和z-弹簧31具有与基板81不同的高度，z-弹簧31空间交叉 外部可移动部分20在z弹簧31与外部可移动部分20分离的高度处。

公开(公告)号：JP4577671B2

公开(公告)日：2010-11-10

申请号：JP2008261218

申请日：2008-10-08

Applicant: オートリブ デベロップメント アクテボラゲット

Inventor： アンダースン，ゲルト ,  スベンソン，ペア ,  ヘデンスティールナ，ニルズ

IPC: B60R21/16 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5656 ,  G01C19/574 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01C19/5656 ,  G01C19/574

Abstract: The invention includes a sensor comprising a body (1) formed from a planar substrate. The body defines a beam (2), the opposed ends of which are adapted to be fixed in position, the beam having a preferential bending direction which makes an acute angle with the plane of the planar substrate. The beam (2) carries an inertia mass comprising two arms (6,7) interconnected by a connecting bar, the central part of the connecting bar being formed unitarily with part of the beam (2). Capacitative plates (15,16,18,19) located adjacent a conductive layer on the arms (6,7) are provided with potentials which cause the inertia mass to rotate about the axis of the connecting bar with a "see-Saw" action which, because of the configuration of the beam (2) leads to a rotational oscillation of the inertia mass in the plane of the substrate. If the arrangement is rotated about an axis coincident with the connecting bar, the inertia mass rotates about an axis coincident with the beam with an oscillating rotation. This is detected by capacitative plates (23,24) to determine angular velocity.

公开(公告)号：JP4516113B2

公开(公告)日：2010-08-04

申请号：JP2007508620

申请日：2005-04-14

Applicant: アナログ デバイシス, インコーポレイテッド

Inventor： ジンボ クアン， ,  ウィリアム エー． クラーク， ,  ジョン エー． ジーン，

IPC: G01C19/02 ,  G01C19/56 ,  G01P15/00 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01C19/5719 ,  G01C19/574

公开(公告)号：JP4223191B2

公开(公告)日：2009-02-12

申请号：JP2000528873

申请日：1999-01-22

Applicant: オートリブ デベロップメント アクテボラゲット

Inventor： アンダースン，ゲルト ,  スベンソン，ペア ,  ヘデンスティールナ，ニルズ

IPC: B60R21/16 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5656 ,  G01C19/574 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01C19/5656 ,  G01C19/574

Abstract: The invention includes a sensor comprising a body (1) formed from a planar substrate. The body defines a beam (2), the opposed ends of which are adapted to be fixed in position, the beam having a preferential bending direction which makes an acute angle with the plane of the planar substrate. The beam (2) carries an inertia mass comprising two arms (6,7) interconnected by a connecting bar, the central part of the connecting bar being formed unitarily with part of the beam (2). Capacitative plates (15,16,18,19) located adjacent a conductive layer on the arms (6,7) are provided with potentials which cause the inertia mass to rotate about the axis of the connecting bar with a "see-Saw" action which, because of the configuration of the beam (2) leads to a rotational oscillation of the inertia mass in the plane of the substrate. If the arrangement is rotated about an axis coincident with the connecting bar, the inertia mass rotates about an axis coincident with the beam with an oscillating rotation. This is detected by capacitative plates (23,24) to determine angular velocity.

公开(公告)号：JP2018185188A

公开(公告)日：2018-11-22

申请号：JP2017086119

申请日：2017-04-25

Applicant: セイコーエプソン株式会社

Inventor： 古畑 誠 ,  金本 啓

IPC: G01C19/5747

CPC classification number: G01C19/5733 ,  B60W10/184 ,  B60W10/22 ,  B60W30/02 ,  B60W2420/10 ,  B81B3/0051 ,  G01C19/574 ,  G01C19/5769 ,  G01P3/22

Abstract: 【課題】効率よく、不要振動を低減することのできる物理量センサー、物理量センサーの製造方法、物理量センサーデバイス、電子機器および移動体を提供する。 【解決手段】本発明の物理量センサーは、駆動部と、前記駆動部を第1方向に変位可能に支持する駆動ばね部と、を有し、前記駆動ばね部は、蛇行形状をなし、前記第1方向に交差する第2方向に延在する複数の梁部を有し、前記複数の梁部のうちの少なくとも1つの梁部は、前記駆動ばね部の他の部分に対して前記第1方向および前記第2方向に交差する第3方向の厚さが薄い薄肉部を有している。 【選択図】図5

公开(公告)号：JP2018155499A

公开(公告)日：2018-10-04

申请号：JP2017050201

申请日：2017-03-15

Applicant: 株式会社日立製作所

Inventor： ジョアン ヒネル

IPC: H01L29/84 ,  G01C19/574

CPC classification number: G01C19/574

Abstract: 【課題】高いQ因子、高い作製時対称性を有し、象限誤差を低減するジャイロスコープを提供する。 【解決手段】接続ユニットは、X−Y面の任意の方向で移動することができる第1の質量MS1および第2の質量MS2を機械的に接続する。接続ユニットは、基板に固着されたアンカーACRと第1の質量MS1との間に位置する第1のシャトルISHと、アンカーACRと第2の質量MS2との間に位置する第2のシャトルOSHと、アンカーACRおよび第1のシャトルISHを接続する第1のビームと、アンカーACRおよび第2のシャトルOSHを接続する第2のビームと、第1の質量MS1および第1のシャトルISHを接続する第3のビームと、第2の質量MS2および第2のシャトルOSHを接続する第4のビームと、第1のシャトルISHおよび第2のシャトルOSHを接続する第5のビームとを備える。 【選択図】図5

公开(公告)号：JP6363638B2

公开(公告)日：2018-07-25

申请号：JP2016022728

申请日：2016-02-09

Applicant: ノースロップ グラマン システムズ コーポレイション ,  NORTHROP GRUMMAN SYSTEMS CORPORATION

Inventor： アレクサンダー トルーソフ ,  デイビッド エム.ロゼール

IPC: H01L29/84 ,  G01C19/5755

CPC classification number: G01C19/5726 ,  G01C19/574 ,  G01C19/5755 ,  G01C25/00 ,  G01C25/005

公开(公告)号：JP6344033B2

公开(公告)日：2018-06-20

申请号：JP2014087981

申请日：2014-04-22

Applicant: セイコーエプソン株式会社

Inventor： 瀧澤 照夫

IPC: B81B3/00 ,  H01L29/84 ,  G01C19/5747

CPC classification number: G01C19/574

公开(公告)号：JP2017156313A

公开(公告)日：2017-09-07

申请号：JP2016042347

申请日：2016-03-04

Applicant: セイコーエプソン株式会社

Inventor： 金本 啓

IPC: G01C19/5747 ,  G01C19/5726

CPC classification number: G01P21/02 ,  G01C19/574 ,  G01C25/005 ,  G01P3/44

Abstract: 【課題】角速度検出素子から出力される複数の検出信号に基づいて生成される出力信号のS/Nを向上させることが可能な角速度検出回路を提供すること。 【解決手段】第1の検出信号を電圧に変換する第1の変換部と、第2の検出信号を電圧に変換する第2の変換部と、前記第1の変換部の出力信号に基づく信号と前記第2の変換部の出力信号に基づく信号とを差動増幅する差動増幅部の出力信号に基づいて角速度信号を生成する角速度信号生成部と、前記角速度検出素子の駆動振動に基づく信号に基づいて、前記第1の検出信号及び前記第2の検出信号に含まれる漏れ信号によって生じる前記角速度信号のオフセットを低減させるための補正信号を生成する補正信号生成部と、を含み、前記補正信号は、角速度検出素子の第1の検出電極から前記差動増幅部に至る第1の信号経路にある回路に入力される、角速度検出回路。 【選択図】図7