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公开(公告)号：JP2021095849A
公开(公告)日：2021-06-24
申请号：JP2019226222
申请日：2019-12-16
Applicant: 株式会社荏原製作所
Abstract: 【課題】水槽内の液体を減らしつつ、モータの過熱を防止することができる水中ポンプ装置が提供される。 【解決手段】水中ポンプ装置Pは、主軸を介して羽根車10を回転させるアキシャルギャップ型モータ20と、オイルハウジング40と、軸受35と、を備える。軸受35とアキシャルギャップ型モータ20との間の距離は、軸受35と羽根車10との間の距離よりも小さい。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2021094660A
公开(公告)日：2021-06-24
申请号：JP2019228056
申请日：2019-12-18
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: H01L21/677 , H01L21/304 , B24B41/06 , B24B37/30
Abstract: 【課題】基板とプッシャとの接触面積を抑え、かつ、基板の受け取りの安全性および確実性を向上させる。 【解決手段】プッシャ230は、基板WFを支持するための支持面272aを一方の端部に有する複数の支持柱272と、複数の支持柱272の他方の端部と連結されるベース274と、ベース274を昇降させる第1昇降機構233と、を含む。支持面272aは、基板WFをトップリング302に受け渡す際および基板WFをトップリング302から受け取る際に基板WFを支持するように構成される。複数の支持柱272の少なくとも1つには、真空源260に連通し支持面272aに開口する吸引路272bが形成される。 【選択図】図8
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2021091039A
公开(公告)日：2021-06-17
申请号：JP2019222928
申请日：2019-12-10
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: B24B55/06 , B24B37/34 , B24B53/14 , H01L21/304 , B24B53/017
Abstract: 【課題】基板処理装置のフットプリントの増大を抑制し、かつ、基板処理装置の処理ユニットの処理効率を向上させる 【解決手段】基板処理装置に用いられるドレッシングユニットは、基板を研磨するための研磨パッド352に対向して配置されるドレッサシャフト51と、ドレッサシャフト51の軸心周りにアーム410を介して同心状に配置される複数のドレッシング部材50−1a,50−2aを保持する複数のドレッサ50−1,50−2と、複数のドレッサ50−1,50−2を研磨パッド352に対して近づけたり離したりする方向に駆動するエアシリンダと、複数のドレッサ50−1,50−2同士が近づくようにアーム410の角度を調整可能に構成された畳み機構450と、を含む。 【選択図】図6
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公开(公告)号：JP2021091019A
公开(公告)日：2021-06-17
申请号：JP2019221931
申请日：2019-12-09
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: B24B37/00 , B24B49/14 , B24B57/02 , H01L21/304 , B24B37/015
Abstract: 【課題】液体供給ラインを流れる液体の流量を精度よく制御することができるパッド温度調節システムを提供する。 【解決手段】システム5は、熱交換部材11と、液体供給ユニット30と、を備える。液体供給ユニット30は、加熱液供給ラインHSLを流れる液体の流量を調整するポンプ装置32と、冷却液供給ラインCSLに取り付けられたニードルバルブMNVと、ポンプ装置32およびニードルバルブMNVの動作を制御する制御装置40と、を備えている。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2021088005A
公开(公告)日：2021-06-10
申请号：JP2019218008
申请日：2019-12-02
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: H01L21/304 , B24B21/00 , B24B9/00
Abstract: 【課題】ノッチ部全体の研磨レートを均一にすることができる研磨装置を提供する。 【解決手段】研磨装置1は、基板Wを保持するステージ面14aを有する保持ステージ14と、保持ステージ14をステージ面14aに平行な平面内でスイングさせるスイング機構20と、研磨テープ31をノッチ部Nに接触させる研磨ヘッド50と、研磨ヘッド50に連結されたテンション調整装置43a,44a,73と、テンション調整装置43a,44a,73に接続された動作制御部90とを備え、動作制御部90は、テンション調整装置43a,73に指令を発して、保持ステージ14のスイング角度が所定の範囲内のときに、研磨テープ31のテンションを増加させるように構成されており、所定の範囲は、スイング角度が最大となる角度を含む。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP2021085381A
公开(公告)日：2021-06-03
申请号：JP2019215519
申请日：2019-11-28
Applicant: 株式会社荏原製作所
Abstract: 【課題】人々のライフスタイルに合わせて、現在時刻の適切な様子見運転時間を決定し、省エネ効果を高め、ポンプの始動頻度過多を防止できる給水装置の提供。 【解決手段】学習機能付き給水装置は、ポンプの吐出側の水の使用量が少なくなった少水量状態を検知したときに、少水量状態が継続していることを確認するポンプの様子見運転を経て、ポンプを停止させる少水量停止動作を実行させる制御装置40を備え、制御装置40は、ポンプの吐出側の水の使用頻度に基づいて、少水量停止動作にてポンプが様子見運転する様子見運転時間の要否ないしその長さを、時間帯毎に学習する学習部42と、学習部42よる学習結果と、入力された現在時刻と、に基づいて、様子見運転時間の要否ないしその長さを決定する決定部43と、を有する。 【選択図】図3
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公开(公告)号：JP2021085369A
公开(公告)日：2021-06-03
申请号：JP2019214921
申请日：2019-11-28
Applicant: 株式会社荏原製作所
Abstract: 【課題】人々のライフスタイルに合わせて、現在時刻の適切な様子見運転時間を決定し、省エネ効果を高め、ポンプの始動頻度過多を防止できる給水装置の提供。 【解決手段】給水装置は、ポンプの吐出側の圧力が低下したとき、ポンプを始動させ、吐出側の圧力を所定の圧力まで昇圧させる給水動作、及び、ポンプの吐出側の水の使用量が少なくなった少水量状態を検知したときに、少水量状態が継続していることを確認するポンプの様子見運転を経て、ポンプの吐出側の圧力を所定の圧力まで昇圧させるポンプの蓄圧運転の後に、ポンプを停止させる少水量停止動作を実行させる制御装置と、を備え、制御装置は、時間帯毎のポンプの吐出側の水の使用頻度に応じて、現在時刻の少水量停止動作にて、ポンプが様子見運転する様子見運転時間の要否ないしその長さを決定する。 【選択図】図2
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