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    膜交換ユニットおよび膜交換ユニットを有するシステム
    51.
    发明专利
    膜交換ユニットおよび膜交換ユニットを有するシステム 有权
    系统具有膜交换单元和膜更换单元

    公开(公告)号：JPWO2014038194A1

    公开(公告)日：2016-08-08

    申请号：JP2014534194

    申请日：2013-09-04

    申请人： アトナープ株式会社

    发明人： プラカッシ スリダラ ムルティ ,  プラカッシ スリダラ ムルティ

    IPC分类号： G01N27/68 ,  G01N27/62 ,  H05H1/24

    CPC分类号： G01N27/68 ,  B01D19/0031 ,  B01D53/32 ,  B01D2053/221 ,  B01D2259/818 ,  G01N1/4005 ,  G01N27/40 ,  G01N27/624 ,  G01N2001/4011

    摘要： 本発明の膜交換ユニットは、第1の分離膜(51)と、第1の分離膜を介して第2の空間(22)に接続した第1の空間(21)と、第1の空間に第1の流体(キャリアガス)(39)を供給し、第2の空間から第1の空間に、第1の分離膜を透過して拡散した化学物質を、第1の空間から排出される第1の流体によりイオン検出器に供給する第1の経路(25)と、第1の空間に設けられた第1のイオン化ユニット(71)とを有する。本発明によると、汚染の発生が少なく、イオン検出器を高い感度で作動できる前処理システムを提供できる。本発明は、FAIMSに適用できる。

    摘要翻译： 本发明的膜交换单元，第一分离膜（51），第一和通过第一分离膜（22），第一空间连接到所述第二空间的空间（21） 提供第一流体（载气）（39），从第二空间中的第一空间，所述的化学品扩散通过第一分离膜中，从第一空间排出 它具有用于供给离子检测器（25），第一和通过所述第一流体在所述第一空间中的离子化部（71）的第一路径。 根据本发明，污染的发生是小的，可以提供一个预处理系统可以在高灵敏度离子检测器进行操作。 本发明适用于FAIMS。

    汚染物質除去用プラズマ反応器
    54.
    发明专利
    汚染物質除去用プラズマ反応器 有权
    用于去除污染物的等离子体反应器

    公开(公告)号：JP2015213171A

    公开(公告)日：2015-11-26

    申请号：JP2015092054

    申请日：2015-04-28

    申请人： コリア・インスティテュート・オブ・マシナリー・アンド・マテリアルズ ,  KOREA INSTITUTE OF MACHINERY & MATERIALS

    发明人： 許 民 ,  姜 宇石 ,  李 載玉

    IPC分类号： H05H1/46 ,  B01J19/08 ,  B01D45/08 ,  C23C16/44 ,  H01L21/3065

    CPC分类号： H01J37/32844 ,  B01D53/32 ,  H01J37/32091 ,  H01J37/32834 ,  H05H1/46 ,  B01D2259/818 ,  H05H2001/4667 ,  H05H2245/1215 ,  Y02C20/30

    摘要： 【課題】工程チャンバから真空ポンプに向かう工程ガスの排出経路上に設けられ、工程ガスに含まれている汚染物質を除去するプラズマ反応器を提供する。 【解決手段】プラズマ反応器は、内部に工程ガスの通過する管状の絶縁体と、工程チャンバに向かう絶縁体の前端に連結される第1接地電極と、真空ポンプに向かう絶縁体の後端に連結され、工程ガスの移送方向に沿って絶縁体の内部中心に対向する対向部を備える第2接地電極と、絶縁体の外面に固定され、電源部と連結されて交流あるいはRF駆動電圧を受ける駆動電極とを含む。 【選択図】図2

    摘要翻译： 要解决的问题：提供一种用于去除处理气体中所含的污染物的等离子体反应器，该处理气体设置在从处理室引导真空泵的处理气体的排气路径上。解决方案：等离子体反应器包括： 工艺气体通过; 连接到前进到处理室的绝缘体前端的第一接地电极; 连接到离开真空泵的绝缘体的后端的第二接地电极，设置有沿着处理气体的传送方向面对绝缘体的内部中心的面对部分; 以及固定在绝缘体的外表面的驱动电极，其通过连接到电源而接收AC或RF驱动电压。

    プラズマ生成装置
    58.
    发明专利
    プラズマ生成装置 有权
    等离子体生成装置

    公开(公告)号：JPWO2013002315A1

    公开(公告)日：2015-02-23

    申请号：JP2013522929

    申请日：2012-06-28

    申请人： イマジニアリング株式会社

    发明人： 池田　裕二 ,  裕二 池田

    IPC分类号： F01N3/08 ,  F01N3/28 ,  H05H1/24 ,  H05H1/46

    CPC分类号： B01D53/92 ,  B01D53/32 ,  B01D53/94 ,  B01D53/9454 ,  B01D2259/80 ,  B01D2259/806 ,  B01D2259/818 ,  F01N3/2882 ,  F01N2240/28 ,  F02M27/042 ,  Y02T10/22

    摘要： エンジンの排気ガスを浄化する浄化触媒の上流でプラズマを生成するプラズマ生成装置において、浄化触媒に効果的にプラズマを接触させて、浄化触媒の活性化に要する時間を短縮させる。排気通路30における浄化触媒31の上流に配置され、排気ガスが通過する内部通路40が形成された通路形成部材41と、内部通路40においてプラズマを生成するプラズマ生成部29とを備え、内部通路40を流れる排気ガスによりプラズマ生成部29が生成したプラズマが内部通路40の出口43から吹き出して浄化触媒31に到達するように、内部通路40の出口部分が浄化触媒31に近接又は当接している。

    摘要翻译： 在用于在用于净化发动机的排气净化催化剂的上游产生等离子体的等离子体生成装置，有效地与在净化催化剂等离子体接触，以缩短净化催化剂的活化所需的时间。 在排气通路30中的净化催化剂31的上游设置包括通道形成构件41通道40的内部形成有排气通过，以及用于在内部通道40，所述内部通道40中产生等离子体的等离子体发生器29 等离子体的等离子体产生单元29已产生是到达净化催化剂31从内部通道40的出口43吹出时，内部通道40的出口部分接近或与由流动的排气的净化催化剂31接触。