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公开(公告)号：JP6180311B2
公开(公告)日：2017-08-16
申请号：JP2013258095
申请日：2013-12-13
Applicant: 大塚電子株式会社
CPC classification number: G01N21/211 , G01N2021/213 , G01N2201/0675
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公开(公告)号：JP2017116495A
公开(公告)日：2017-06-29
申请号：JP2015254852
申请日：2015-12-25
Applicant: 大塚電子株式会社 , Otsuka Denshi Co Ltd
Inventor： SUGITA KAZUHIRO , INANO DAISUKE , IMASAKA MASAKO
Abstract: 【課題】誤差を抑制することが可能なプレチルト角測定装置及びプレチルト角測定方法を提供する。【解決手段】プレチルト角測定装置1は、偏光した測定光を液晶基板LCの測定位置Mに照射する透過測定投光部2と、測定光の透過光を受光して、透過光の偏光状態を取得する透過測定受光部3と、傾斜検出用光L1を液晶基板LCの測定位置Mに照射する傾斜測定投光部41と、傾斜検出用光L1の反射光L2を受光して、反射光L2の受光位置を取得する傾斜測定受光部43と、反射光L2の受光位置に基づいて、液晶基板LCの測定位置Mの傾斜角度を算出し、測定光の照射角度と、液晶基板LCの測定位置Mの傾斜角度と、透過光の偏光状態とに基づいて、液晶基板LCに含まれる液晶分子のプレチルト角を算出する制御部10と、を備える。【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2017116459A
公开(公告)日：2017-06-29
申请号：JP2015253670
申请日：2015-12-25
Applicant: 大塚電子株式会社 , Otsuka Denshi Co Ltd
Inventor： OKAMOTO MUNEHIRO , SANO HIROYUKI
CPC classification number: G02B21/244 , G01J3/0208 , G01J3/0237 , G02B21/06 , G02B21/361
Abstract: 【課題】小型化可能であり、かつ汎用性を高めた光学特性測定装置が提供される。【解決手段】光学特性測定装置は、被測定物からの測定光を平行光に変換する第1の光学素子と、第1の光学素子からの平行光を反射することで収束光に変換する反射型レンズと、反射型レンズからの収束光を受光する受光部と、被測定物に対する第1の光学素子の相対位置を変化させる駆動機構とを含む。【選択図】図1
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公开(公告)号：JPWO2016170667A1
公开(公告)日：2017-04-27
申请号：JP2016515156
申请日：2015-04-24
Applicant: 大塚電子株式会社
CPC classification number: G01N21/27 , G01N21/255 , G01N21/8422 , G01N33/00 , G01N2021/8411 , G01N2033/0096 , G01N2201/0826 , G01N2201/0833
Abstract: 光学測定装置の制御部は、回転体の回転速度が規定値となるように制御された状態で、光源で発生させた一定強度の光を、回転体の回転に伴ってサンプルが通過する領域である照射領域に照射するとともに、当該照射した光の反射光または透過光を第2の検出部で受光することで出力される強度の時間的変化に基づいて第1のタイミング情報を取得する。制御部は、回転体の回転速度が規定値となるように制御された状態で、第1のタイミング情報に従って光源で周期的に発生させたパルス状の光を、照射領域に照射するとともに、第1のタイミング情報に従って第1の検出部の測定を周期的に有効化することで出力される結果に基づいて第2のタイミング情報を取得する。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2015161650A
公开(公告)日：2015-09-07
申请号：JP2014038499
申请日：2014-02-28
Applicant: 大塚電子株式会社
Inventor： 赤木 基信
Abstract: 【課題】単層構造または多層構造を有するサンプルの特性値をより高い精度で測定できる測定装置および測定方法が要望されている。 【解決手段】測定装置は、照射部からサンプルに向けてテラヘルツ波を照射したときに、当該サンプルで反射して生じるテラヘルツ波を検出部が検出することで第2の時間波形を取得する手段と、サンプルを構成する各層の特性値を示すパラメータについてそれぞれ初期値を設定するとともに、それぞれのパラメータの初期値から、第1の時間波形を用いてサンプルの各界面で生じるそれぞれの反射波の時間波形を推定する手段と、推定されたそれぞれの反射波の時間波形を合成した時間波形と第2の時間波形との間の誤差が予め定められた値を下回るまで、それぞれのパラメータを初期値から順次変化させることで、サンプルの特性値を探索する手段とを含む。 【選択図】図5
Abstract translation: 要解决的问题：提供能够高精度地测量具有单层或多层结构的样品的特征值的测量装置和测量方法。解决方案：测量装置包括：第二时间波形为 当照射单元用太赫兹波照射样本时，通过使用检测单元检测由样本反射的太赫兹波来获取; 用于设置表示构成样本的各个层的特征值的每个参数的初始值的装置，并且用于根据每个参数的初始值来估计在样本的各个界面处产生的每个反射波的时间波形 使用第一次波形; 以及用于通过从各个初始值顺序地改变参数来搜索样本的特征值的装置，直到通过合成各个反射波的估计时间波形而获得的第二时间波形和时间波形之间的误差变得小于预定的 值。
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公开(公告)号：JP2015075452A
公开(公告)日：2015-04-20
申请号：JP2013213455
申请日：2013-10-11
Applicant: 大塚電子株式会社
CPC classification number: G01J3/2823 , G01B11/0608
Abstract: 【課題】簡易な構成で振動の影響を抑制することが可能な形状測定装置及び形状測定方法を提供する。 【解決手段】本発明の形状測定装置1は、サンプルSの表面SSに対向する参照平面41を有する透光性の光学部品4と、光学部品4を通じて、サンプルSの表面SSに所定の波長領域を有する光を照射する光源2と、サンプルSの表面SSに定義される線状領域の各位置について反射スペクトルを測定するイメージング分光器6と、線状領域の各位置について測定された反射スペクトルに基づいて、線状領域の各位置と参照平面41との距離を算出する演算部7と、を備える。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供能够以简单的构造抑制振动的影响的形状测量装置和形状测量方法。解决方案：形状测量装置1包括：透光光学部件4，其具有与表面相对的参考平面41 SS样品S; 用于通过光学部件4将具有预定波长区域的光照射到样品S的表面SS上的光源2; 用于测量在样品S的表面SS上限定的线性区域的每个位置处的反射光谱的成像分光镜6; 以及操作单元7，用于基于在线性区域的每个位置处测量的反射光谱来计算线性区域的每个位置与参考平面41之间的距离。
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公开(公告)号：JP2014157025A
公开(公告)日：2014-08-28
申请号：JP2013026571
申请日：2013-02-14
Applicant: Otsuka Denshi Co Ltd , 大塚電子株式会社
Inventor： OKUBO KAZUAKI
CPC classification number: G01J1/08 , G01J1/42 , G01J2001/061 , G01J2001/4252
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a novel standard light source which is suitable for the total luminous flux measurement of a light source having a light distribution characteristic different from that of a conventional standard light source and is configured more simply and to provide a measurement method using the standard light source.SOLUTION: A standard light source 10 includes a light-emitting part 14, a power supply part electrically connected to the light-emitting part and a regulation part provided between the light-emitting part and the power supply part and regulating the propagation of light emitted from the light-emitting part to the side of the light supply part. The surface on which the light from the light-emitting part is made incident, of the regulation part is configured to be diffusive and reflective.
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种新颖的标准光源，其适用于具有与常规标准光源不同的光分布特性的光源的总光通量测量，并且更简单地配置并提供测量方法 使用标准光源。解决方案：标准光源10包括发光部分14，电连接到发光部分的电源部分和设置在发光部分和电源部分之间的调节部分，以及 调节从发光部发射到光供给部侧的光的传播。 来自发光部的光的入射表面被配置为扩散和反射。
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公开(公告)号：JP5479543B2
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：JP2012160527
申请日：2012-07-19
Applicant: 大塚電子株式会社
IPC: G01J1/02
CPC classification number: G02B17/00 , G01J1/0214 , G01J1/04 , G01J1/0407 , G01J1/0425 , G01J3/0218 , G01J3/0254 , G01J3/0262 , G01J3/505 , G01J2001/0481 , G01J2001/4252 , G02B5/08
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80.发明专利
公开(公告)号：JP2014507665A
公开(公告)日：2014-03-27
申请号：JP2013556001
申请日：2011-10-13
Applicant: ラブスフェア・インコーポレイテッドLabsphere, Inc. , 大塚電子株式会社
CPC classification number: G01J1/0407 , F21V7/10 , G01J1/0295 , G01J1/42 , G01J2001/0481 , G01J2001/4247
Abstract: 光学測定システム（１００）は、内壁に反射面（１１０ａ）を有するとともに第１の窓（１３２）を有する積分球（１１０）と、積分球の実質的な中心位置に光源を支持するための支持部材（１２０）と、第１の窓と支持部材により支持された光源とを結ぶ直線上に配置された第１のバッフル（１３６）とを含む。 支持部材は、光源に対して第１の窓と対向する領域において積分球の内壁と接続される。
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