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    KR102229924B1 - Substrate transferring and cutting apparatus
    81.
    发明专利
    KR102229924B1 - Substrate transferring and cutting apparatus 有权

    公开(公告)号：KR102229924B1

    公开(公告)日：2021-03-19

    申请号：KR1020190002782A

    申请日：2019-01-09

    Applicant: 한국미쯔보시다이아몬드공업(주)

    Inventor： 김영남

    IPC: H01L21/677 ,  B65G49/06 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683

    CPC classification number: H01L21/67715 ,  B28D5/00 ,  B28D5/0058 ,  B28D5/0082 ,  B28D5/0094 ,  B65G49/061 ,  C03B33/03 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/6838 ,  B65G2201/022

    Abstract: 본 발명은 기판의 이송 위치와 연동하여 이송부 및 흡착부 중 적어도 하나의 위치를 적절하게 변경함으로써, 기판과 흡착부 사이의 비흡착 영역을 없애고, 스크라이브 헤드 또는 브레이크 바가 기판의 상면과 수직으로 맞닿게 하여 스크라이브 라인을 올바르게 형성하고, 크랙을 바람직하게 신장시켜 기판의 절단 품질을 향상시킬 수 있는 기판 이송 및 절단 장치와 이를 이용하는 기판 이송 및 절단 방법을 제공할 수 있다.
    본 발명의 기판 이송 및 절단 장치는, 설치대와, 상기 설치대 상에 설치되며, 로딩되는 기판을 이송하는 이송부 및 상기 설치대 상에 설치되며, 이송되는 상기 기판을 흡착하여 고정하는 흡착부를 포함하고, 상기 이송부와 상기 흡착부는 기판 이송 방향으로 서로 간격을 두고 설치되고, 상기 이송부는 상기 기판 이송 방향으로 상류측에 설치되어 있는 제1 이송 스테이지와, 상기 제1 이송 스테이지보다 기판 이송 방향으로 하류측에 설치되어 있는 제2 이송 스테이지와, 상기 흡착부보다 기판 이송 방향으로 하류측에 설치되어 있는 제3 이송 스테이지를 포함하고, 상기 제2 이송 스테이지와, 상기 제3 이송 스테이지는 이동 가능하게 형성된다.

    KR102223587B1 - Flange mechanism
    82.
    发明专利
    KR102223587B1 - Flange mechanism 有权

    公开(公告)号：KR102223587B1

    公开(公告)日：2021-03-04

    申请号：KR1020170148507A

    申请日：2017-11-09

    Applicant: 가부시기가이샤 디스코

    Inventor： 슈지 닛타 ,  노부히코 와키타

    IPC: H01L21/67 ,  B24B45/00 ,  B26D7/26 ,  B28D5/00 ,  B28D5/02 ,  C03B33/02

    CPC classification number: H01L21/687 ,  H01L21/67092 ,  B24B45/00 ,  B26D7/2621 ,  B28D5/0076 ,  B28D5/0082 ,  B28D5/022 ,  C03B33/02

    Abstract: (과제) 절삭 부스러기의 흡인과, 이른바 스커핑 현상의 발생을 억제한다.
    (해결 수단) 중앙에 장착공을 갖는 원반상의 기대와, 그 기대의 외주 가장자리에 형성된 절삭날을 갖는 절삭 블레이드를, 회전축이 되는 스핀들에 장착하기 위한 플랜지 기구로서, 전후 방향으로 신장되는 원기둥상의 형상이고, O 링이 장착되는 O 링 장착 홈을 전방측의 외주면에 갖는 보스부와, 그 보스부의 후방측으로부터 직경 방향 바깥쪽으로 돌출되고, 그 절삭 블레이드의 그 기대를 지지하고 전방측을 향한 지지면을 갖는 플랜지부와, 그 플랜지부의 내측에 형성되고, 스핀들의 선단부가 삽입되는 스핀들 장착공을 구비하고, 그 기대의 장착공의 직경보다 큰 외경의 O 링이 그 O 링 장착 홈에 장착된 그 보스부를 그 기대의 그 장착공에 삽입하고, 기대의 내주면에 그 O 링을 접촉시킴으로써, 그 절삭 블레이드를 지지한다.

    ワークの切断方法及びワーク保持治具
    85.
    发明专利
    ワークの切断方法及びワーク保持治具 有权
    工作切割方法和工件夹具

    公开(公告)号：JP2015122424A

    公开(公告)日：2015-07-02

    申请号：JP2013265726

    申请日：2013-12-24

    Applicant: 信越半導体株式会社 ,  長野電子工業株式会社

    Inventor： 内山 敦雄 ,  高野 久和 ,  斉藤 雅仁 ,  神頭 宏俊

    IPC: B24B27/06 ,  B28D5/04 ,  H01L21/304

    CPC classification number: B28D5/0082 ,  B24B27/0633 ,  B28D5/045 ,  H01L21/304 ,  H01L22/12

    Abstract: 【課題】方位測定器とワークの測定面の距離の制約に関わらず方位測定をすることができる上に、ソリの悪化とワークの破損を抑制するワークの切断方法及び切断治具を提供する。 【解決手段】ワークをワーク保持治具で保持して結晶軸方位を測定した後、ワーク保持治具でワークを測定した結晶軸方位を崩さないように保持したままワイヤソーにセットしてから切断面方位を調整し、ワークをワイヤ列に押し当てることで切断するワークの切断方法であって、ワーク保持治具はワークを保持したままスライドできるスライド部と該スライド部を固定する固定部とから成るものを用い、結晶軸方位を測定した後、スライド部をスライドさせて、結晶軸方位を崩さないようにワーク保持治具の中央部に移動させ、スライド部を固定部により固定し、保持治具をワイヤソーにセットしてから切断面方位を調整し切断することを特徴とするワークの切断方法。 【選択図】 図1

    Abstract translation: 要解决的问题：提供可以测量方位角的工件切割方法和夹持夹具，而不管方位测量仪器与工件的测量表面之间的距离的约束，并且抑制工件的翘曲和断裂的劣化。解决方案： 工件切割方法在通过工件保持夹具保持工件的同时将工件设置在线锯中，以便在通过工件保持夹具保持工件之后不破坏测量的晶轴方位角以测量晶轴方位角，然后调整切割 表面方位角，并通过将工件压靠在钢丝绳上来切割工件。 工件保持夹具由夹持工件时可以滑动的滑动部和固定滑动部的固定部构成。 在工件切削方式中，在测定晶轴方位角后，滑动部滑动，工件移动到工件保持夹具的中心部分，以不破坏晶轴方位角，滑动部分通过固定 将夹具夹在线锯上，然后调整切割面方位角进行切割。

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