基板に貫通穴を開ける方法及び装置とそのようにして製作された基板
    3.
    发明专利
    基板に貫通穴を開ける方法及び装置とそのようにして製作された基板 有权
    基底通孔在所述衬底制造成具有这样的方式的方法和装置

    公开(公告)号:JP2016517626A

    公开(公告)日:2016-06-16

    申请号:JP2015561940

    申请日:2014-04-03

    Abstract: 本発明は、レーザー光線を用いて、インターポーザとして使用可能な基板(2)に多数の穴(5)を開ける方法及び装置と、そのようにして製作された基板(2)に関する。そのために、レーザー光線(3)が基板(2)の表面に向けられる。この場合、レーザー光線(3)の作用時間が極端に短く選定され、その結果、基板材料の穴を発生させること無く、基板(2)の改変だけがレーザー光線の光線軸(Z)の周りに同心状に生じる。レーザー光線(3)は、先ず空気よりも大きな強度依存屈折率を有する透過性媒体(8)を通過するように偏向され、それに続き基板(2)に当たる。使用するパルスレーザーの強度が一定ではなく、単一パルスの時間的な推移に渡って最大値にまで上昇し、その後下降する強度を有することによって、屈折率も変化する。そのため、レーザー光線(3)の焦点(9a)が基板(2)の外側表面(11,12)の間で光線軸(Z)に沿って移動し、その結果、レーザー処理ヘッド(10)をZ軸に追従させること無く、光線軸(Z)に沿った所望の改変が生じる。

    Abstract translation: 本发明使用的激光束,以及(5)在基板上,可用于打开多个孔的方法和装置的内插器(2)涉及以这种方式制造的衬底(2)。 因此,激光束(3)在基板(2)的表面被引导。 在这种情况下,激光束(3)的效果选择极短,其结果,而不引起基底材料的孔时,同心地围绕衬底射线轴线变形例只的激光辐射(2)(Z) 发生。 激光束(3)被第一偏转以穿过(8),其具有比空气大的强度相关的折射率的透明介质,它击中持续衬底(2)。 而不是所使用的脉冲激光的强度是恒定的,然后它上升到最大值在单个脉冲的时间过程中,通过具有强度然后落下,以改变折射率。 因此,激光束(3)的焦点(图9a)沿着衬底(2)的(11,12)的外表面之间的光束轴线(Z)移动,其结果是,Z轴激光加工头(10) 无需遵循沿射线轴线(Z)发生所希望的改性。

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