中科微点-全球专利检索

  1. Login
  2. Sign Up

Search Results

26 records (took 0.02 seconds)

    電子銃
    1.
    发明专利
    電子銃 审中-公开

    公开(公告)号：JP2017201609A

    公开(公告)日：2017-11-09

    申请号：JP2016093476

    申请日：2016-05-06

    Applicant: 株式会社PARAM

    Inventor： 安田 洋

    IPC: H01J1/15

    Abstract: 【課題】高輝度・長寿命・低真空度耐性・高均一照射の電子銃を構成する。 【解決手段】第一の高融点金属により構成されるとともに、第二の金属元素103,104,105および硼素102を含む基体106を有する。第一の高融点金属は、ハフニウム、タンタル、タングステン、レニウム、オスミウム、イリジウム、モリブデン、ニオブ、ルテニウムの内の1つ以上を含む。第二の金属元素は、金属および硼素原子と結合し、硼素原子102が、電子が放出される真空107側に面する。 【選択図】図1

    電子銃
    2.
    发明专利
    電子銃 审中-公开

    公开(公告)号：JP2017183213A

    公开(公告)日：2017-10-05

    申请号：JP2016072458

    申请日：2016-03-31

    Applicant: 株式会社PARAM

    Inventor： 安田 洋

    IPC: H01J1/16 ,  H01J37/063

    Abstract: 【課題】従来に比較して高輝度の電子銃を構成する。 【解決手段】レニウムを始めとする融点が1900K以上の高融点金属(701)を電子銃の基盤として用い、基盤に掘った溝(801)または穴または、高融点の微細ワイヤを用いた硼素蓄積部に硼素(802)を格納し、高融点金属と硼素の融点以下の温度で、硼素を拡散することで、真空側に正の電荷を有する硼素層と、基盤側に負の電荷を有する金属層からなる電気2重層を構成して、仕事関数を低減し、電子銃の輝度を上げる。 【選択図】図8

    真空システム
    6.
    发明专利
    真空システム 审中-公开
    真空系统

    公开(公告)号：JP2016201316A

    公开(公告)日：2016-12-01

    申请号：JP2015082044

    申请日：2015-04-13

    Applicant: 株式会社PARAM

    Inventor： 安田 洋 ,  大饗 義久

    IPC: H01J37/20 ,  H01J37/18 ,  H01J37/16

    Abstract: 【課題】オゾンを効率的に発生すると共に微小の流量とする。 【解決手段】オゾン生成器34は、絶縁体で周囲を囲まれた断面積Aを有するオゾン生成空間に前記気圧制御手段からの酸素ガスを流すとともに、オゾン生成空間に高電圧高周波を印加することで酸素ガスからオゾン含有ガスを生成する。高抵抗流路36は、オゾン生成器34から真空装置37に至るガス流路に設けられ、断面積Bを有する。断面積Bが断面積Aに比較して小さいことによって、オゾン生成器にて生成されるオゾン含有ガスの流量に制限を加えることによって、オゾン生成空間を流れるオゾン含有酸素ガス流速を十分に低速とし、微小量で一定量のオゾン含有ガスが真空装置内に流入する。 【選択図】図1

    Abstract translation: 本发明公开了有效地的微小流量以及产生臭氧。 甲臭氧发生器34，与氧气气体从压力控制流程一起装置到臭氧发生空间具有由绝缘体包围的横截面面积A，施加高电压高频率臭氧发生空间 在从氧气产生含臭氧气体。 高阻力流道36在气体流动路径，从臭氧发生器34的真空装置37提供具有横截面面积B. 通过截面积B小于截面积A时，通过将限制由臭氧发生器产生的含臭氧的气体的流量，彻底减慢流过臭氧产生空间中的含臭氧的氧气流量 用少量一定量含臭氧的气体的流入真空系统。 点域1

    Electron beam device
    9.
    发明专利
    Electron beam device 有权
    电子束装置

    公开(公告)号：JP2012151102A

    公开(公告)日：2012-08-09

    申请号：JP2011280768

    申请日：2011-12-22

    Applicant: Param Co Ltd ,  株式会社Param

    Inventor： YASUDA HIROSHI

    IPC: H01J37/20 ,  H01J37/18

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To effectively clean an electron beam optical lens barrel with an ozone molecule gas.SOLUTION: An electron beam device lets an electron beam generated by an electron gun 102 through the inside of an electron beam optical lens barrel, shapes the electron beam, and irradiates a target 107 with the shaped electron beam. The electron beam device includes: ozone supply means 114 for supplying an ozone molecule gas to the inside of the electron beam optical lens barrel; adhesion amount measuring means for electrically measuring the amount of organic materials adhering to a peripheral surface of an electron beam passage route of the electron beam optical lens barrel; and control means for controlling a supply amount of the ozone molecule gas supplied by the ozone supply means according to the adhesion amount of organic materials measured by the adhesion amount measuring means.

    Abstract translation: 要解决的问题：用臭氧分子气体有效地清洁电子束光学镜筒。 解决方案：电子束装置使由电子枪102通过电子束光学镜头镜筒内部产生的电子束形成电子束，并用成形的电子束照射靶107。 电子束装置包括：臭氧供给装置114，用于向电子束光学透镜镜筒的内部供应臭氧分子气体; 附着量测量装置，用于电子测量附着在电子束光学透镜镜筒的电子束通过路径的周边表面的有机材料的量; 以及控制装置，用于根据由粘附量测量装置测量的有机材料的粘附量来控制由臭氧供应装置供应的臭氧分子气体的供应量。 版权所有（C）2012，JPO＆INPIT

    電子銃
    10.
    发明专利
    電子銃 有权

    公开(公告)号：JP6548179B1

    公开(公告)日：2019-07-24

    申请号：JP2018051579

    申请日：2018-03-19

    Applicant: 株式会社PARAM

    Inventor： 安田 洋 ,  大饗 義久 ,  柴岡 達哉 ,  村田 英一

    IPC: H01J37/06 ,  H01L21/027 ,  H01J1/148 ,  H01J37/065

    Abstract: 【課題】電子銃の高輝度化と長寿命化を達成する。 【解決手段】主としてLaB 6 またはCeB 6 を元にした電子銃陰極材料105を用いた電子銃に関する。電子銃陰極材料105を保持する真空室内部に、メタンガスまたはエタンガスを1×10 −4 pascal以下の真空分圧となるように流入せしめて、1000℃から1500℃の温度範囲で加熱する。 【選択図】図1

Patent Agency Ranking