公开(公告)号：KR102236374B1

公开(公告)日：2021-04-05

申请号：KR1020190045940A

申请日：2019-04-19

申请人： 주식회사 이에스티

发明人： 김영곤 ,  정태환

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/677

CPC分类号： H01L21/6833 ,  H01L21/677 ,  H01L21/6835

摘要： 정전척 및 정전척을 이용한 기판 이송장치 및 이송방법이 소개된다. 본 발명은 기판 이송의 자동화 및 클린 환경이 요구되는 제조공정에 활용될 수 있다. 정전척은 내부에 클램핑 전극이 마련된 유전체 플레이트; 클램핑 전극과 전기적으로 연결된 단자; 및 이 단자와 전원과의 연결이 끊긴 후에도 잔류 전하에 의해 일시적으로 안정적인 클램핑력을 유지할 수 있도록 단자와 클램핑 전극 사이에 마련된 커패시터를 포함한다.

公开(公告)号：KR20210032217A

公开(公告)日：2021-03-24

申请号：KR1020190113707A

申请日：2019-09-16

申请人： 주식회사 이에스티

发明人： 김영곤 ,  정태환

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/66 ,  H01L21/67

CPC分类号： H01L21/6833 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/67242 ,  H01L22/12

摘要： 기판 또는 기판 가공에 불량이 있는지 여부를 검사하는데 유용하게 사용될 수 있는 정전척 및 검사장치가 소개된다. 정전척은 하부 플레이트 측에서 조사된 빛이 하부 플레이트, 투명 전극 및 상부 플레이트를 투과하여 상부 플레이트 위에 놓인 기판을 비출 수 있도록 구성된다. 하부 플레이트는 글라스로 구성될 수 있다.

公开(公告)号：KR102224583B1

公开(公告)日：2021-03-08

申请号：KR1020190036494A

申请日：2019-03-29

申请人： (주)케이디엠씨 ,  주식회사 이에스티

发明人： 손재천 ,  김준현 ,  이재학

IPC分类号： C23C4/12 ,  C23C4/129 ,  C23C4/134 ,  C25B1/04

CPC分类号： C23C4/12 ,  C23C4/129 ,  C23C4/134 ,  C25B1/04 ,  Y02E60/36

摘要： 본 발명의 수산소 혼합 가스 화염 코팅 장치는 노즐부에서 아크를 발생시키는 아크 발생기; 노즐부에 불활성 가스를 공급하여, 노즐부에서 발생한 아크에 의하여 아크 플라즈마 가스가 발생하도록 하는 불활성 가스 공급관; 노즐부에서 발생한 아크 플라즈마 가스에 수산소 혼합 가스를 공급하여 화염이 발생하도록 하는 수산소 혼합 가스 공급관; 및 노즐부에 분말 코팅 재료를 공급하여, 상기 노즐부에서 발생한 화염에 분말 코팅 재료가 용융되어 분사되도록 하는 분말 코팅재료 공급관으로 이루어진다.