公开(公告)号：JP4140279B2

公开(公告)日：2008-08-27

申请号：JP2002148014

申请日：2002-05-22

Applicant: ウシオ電機株式会社

Inventor： 立躬 平本

IPC: H01J61/20 ,  H05B41/32 ,  H01J17/20 ,  H01J61/16 ,  H01J61/52 ,  H01J61/80 ,  H05B39/00

CPC classification number: H01J61/20 ,  H01J61/52 ,  H01J61/54 ,  H01J61/80

公开(公告)号：JP3674589B2

公开(公告)日：2005-07-20

申请号：JP2002015149

申请日：2002-01-24

Applicant: ウシオ電機株式会社

Inventor： 龍志 五十嵐 ,  立躬 平本 ,  博光 松野

IPC: B01J19/12 ,  H01J65/00 ,  H01L21/302 ,  H01L21/3065

公开(公告)号：JP4052155B2

公开(公告)日：2008-02-27

申请号：JP2003071873

申请日：2003-03-17

Applicant: ウシオ電機株式会社

Inventor： 和明 堀田 ,  立躬 平本

IPC: G21K5/00 ,  G03F7/20 ,  G21K5/02 ,  G21K5/08 ,  H01L21/027 ,  H05G2/00 ,  H05H1/24

CPC classification number: H05G2/003 ,  H05G2/005

Abstract: A usable 13.5 nm radiation source in which Sn is the radiation substance, in which rapid transport with good reproducibility is possible up to the plasma generation site and in which formation of detrimental "debris" and coagulation of the vapor are suppressed as much as possible is achieved using emission of Sn ions in that SnH 4 is supplied continuously or intermittently to the heating/ excitation part, is subjected to discharge heating and excitation or laser irradiation heating and excitation, and thus, is converted into a plasma from which extreme UV light with a main wavelength of 13.5 nm is emitted.

公开(公告)号：JP3468215B2

公开(公告)日：2003-11-17

申请号：JP2000240002

申请日：2000-08-08

Applicant: ウシオ電機株式会社

Inventor： 龍志 五十嵐 ,  立躬 平本 ,  博光 松野 ,  宣是 菱沼

IPC: C08J7/00 ,  B01J19/12 ,  H01J65/00 ,  H01L21/027 ,  H01L21/205 ,  H01L21/304

公开(公告)号：JP4687436B2

公开(公告)日：2011-05-25

申请号：JP2005359327

申请日：2005-12-13

Applicant: ウシオ電機株式会社

Inventor： 卓 住友 ,  立躬 平本 ,  明理 森田

IPC: A61N5/06 ,  H01J65/00

CPC classification number: H01J65/046 ,  A61N5/0616

公开(公告)号：JP4082419B2

公开(公告)日：2008-04-30

申请号：JP2005154289

申请日：2005-05-26

Applicant: ウシオ電機株式会社

Inventor： 龍志 五十嵐 ,  立躬 平本 ,  博光 松野

IPC: B01J19/12 ,  C01B13/02

公开(公告)号：JP4971665B2

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：JP2006096971

申请日：2006-03-31

Applicant: ウシオ電機株式会社 ,  公立大学法人名古屋市立大学

Inventor： 卓 住友 ,  崇 佐賀 ,  立躬 平本 ,  誠 木村 ,  明理 森田

IPC: A61N5/06 ,  A61B17/00

CPC classification number: A61N5/062 ,  A61N5/0616 ,  A61N2005/0661 ,  H01J65/046

公开(公告)号：JP3778210B2

公开(公告)日：2006-05-24

申请号：JP2005154290

申请日：2005-05-26

Applicant: ウシオ電機株式会社

Inventor： 龍志 五十嵐 ,  立躬 平本 ,  博光 松野

IPC: C08J7/00 ,  B01J19/12

公开(公告)号：JP3702852B2

公开(公告)日：2005-10-05

申请号：JP2002026536

申请日：2002-02-04

Applicant: ウシオ電機株式会社

Inventor： 龍志 五十嵐 ,  立躬 平本 ,  博光 松野

IPC: G03F7/40 ,  B01D53/34 ,  B01D53/70 ,  B01J19/12 ,  C02F1/32 ,  H01J65/00 ,  H01L21/027 ,  H01L21/205 ,  H01L21/302

CPC classification number: Y02W10/37

公开(公告)号：JP3702850B2

公开(公告)日：2005-10-05

申请号：JP2002015150

申请日：2002-01-24

Applicant: ウシオ電機株式会社

Inventor： 龍志 五十嵐 ,  立躬 平本 ,  博光 松野

IPC: G21K5/00 ,  A61L2/10 ,  A61L2/20 ,  B01D53/34 ,  B01D53/70 ,  B01J19/12 ,  C01B13/10 ,  C02F1/32 ,  G03F7/42 ,  H01J65/00

CPC classification number: Y02W10/37