Vacuum exhaust system
    4.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2009511815A

    公开(公告)日:2009-03-19

    申请号:JP2008535106

    申请日:2006-10-06

    Abstract: エンクロージャを排気するための真空排気装置が提供される。 装置は、排気されるべきエンクロージャの出口に、固定部材を用いて連結可能な入口を有するターボ分子真空ポンプを含む。 固定部材の各々は、入口の第1の孔及び出口の第2の孔を貫通する。 細長い、円周方向に延びるキャビティが、圧縮可能なインサートを収容するために、これらの孔の1つから延び、または孔の1つに隣接して設けられる。 かくして、ターボ分子真空ポンプの故障中、ターボ分子真空ポンプによって固定部材に伝達されるエネルギは、インサートの変形によって吸収される。 かくして、この方法でエネルギの一部を吸収することにより、入口の出口からの分離が防止される。

    Scroll-type apparatus
    5.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2008523301A

    公开(公告)日:2008-07-03

    申请号:JP2007544967

    申请日:2005-11-16

    CPC classification number: F04C29/0057 F04C18/0215 F04C23/008 F04C27/00

    Abstract: 【課題】本発明は、スクロール型ポンプ装置を提供する。
    【解決手段】本発明のスクロール型ポンプ装置は、端板を有し、第1の螺旋ラップ(118)が端板から延びている固定スクロール部材(106)を含む固定子(104)と、端板を有し、第2の螺旋ラップ(120)が端板から延びて上記第1の螺旋ラップと互いに噛み合っている旋回スクロール部材(108)と、を含む。 モータは、固定スクロール部材(106)に対する旋回スクロール部材の旋回運動を発生させるための駆動軸を駆動する。 装置は、駆動軸の回りに配列された複数の可撓性ロッド(122)を含み、各可撓性ロッドは、一端が上記旋回スクロール部材(108)に連結され、他端が上記固定子(104)に連結され、上記旋回スクロール部材(108)を上記固定子に対して支持しかつ固定子に対する旋回スクロール部材の回転を阻止する。
    【選択図】図4

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