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公开(公告)号:JP5637919B2
公开(公告)日:2014-12-10
申请号:JP2011089466
申请日:2011-04-13
Applicant: エドワーズ リミテッド , エドワーズ リミテッド
Inventor: イアン ディヴィッド ストーンズ , イアン ディヴィッド ストーンズ , ナイジェル ポール ショフィールド , ナイジェル ポール ショフィールド , マーティン ニコラス ステュアート , マーティン ニコラス ステュアート
CPC classification number: F04D19/042 , F04D17/168 , F04D19/044 , F04D19/046 , F04D23/008 , H01J49/24
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公开(公告)号:JP2009503358A
公开(公告)日:2009-01-29
申请号:JP2008524573
申请日:2006-07-18
Applicant: エドワーズ リミテッド
Inventor: ナイジェル ポール ショフィールド , ピーター ヒュー バーチ
CPC classification number: F04C23/001 , F04C18/084 , F04C18/126 , F04C2240/20
Abstract: 多段真空ポンプが、多段ロータ組立体を収容したステータを有し、各段は、噛み合い形ルーツ式ロータコンポーネントを含み、ポンプの入口段におけるロータコンポーネントの先端部半径は、ポンプの出口段におけるロータコンポーネントの先端部半径よりも大きい。
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公开(公告)号:JP5546094B2
公开(公告)日:2014-07-09
申请号:JP2006530555
申请日:2004-09-23
Applicant: エドワーズ リミテッド
Inventor: イアン ディヴィッド ストーンズ , ナイジェル ポール ショフィールド , マーティン ニコラス ステュアート
CPC classification number: F04D19/042 , F04D17/168 , F04D19/044 , F04D19/046 , F04D23/008 , H01J49/24
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公开(公告)号:JP2009511815A
公开(公告)日:2009-03-19
申请号:JP2008535106
申请日:2006-10-06
Applicant: エドワーズ リミテッド
Inventor: ナイジェル ポール ショフィールド
CPC classification number: F04D19/042 , F04D27/0292 , F04D29/601 , Y10T29/49948 , Y10T137/86083
Abstract: エンクロージャを排気するための真空排気装置が提供される。 装置は、排気されるべきエンクロージャの出口に、固定部材を用いて連結可能な入口を有するターボ分子真空ポンプを含む。 固定部材の各々は、入口の第1の孔及び出口の第2の孔を貫通する。 細長い、円周方向に延びるキャビティが、圧縮可能なインサートを収容するために、これらの孔の1つから延び、または孔の1つに隣接して設けられる。 かくして、ターボ分子真空ポンプの故障中、ターボ分子真空ポンプによって固定部材に伝達されるエネルギは、インサートの変形によって吸収される。 かくして、この方法でエネルギの一部を吸収することにより、入口の出口からの分離が防止される。
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公开(公告)号:JP2008523301A
公开(公告)日:2008-07-03
申请号:JP2007544967
申请日:2005-11-16
Applicant: エドワーズ リミテッド
Inventor: ナイジェル ポール ショフィールド
CPC classification number: F04C29/0057 , F04C18/0215 , F04C23/008 , F04C27/00
Abstract: 【課題】本発明は、スクロール型ポンプ装置を提供する。
【解決手段】本発明のスクロール型ポンプ装置は、端板を有し、第1の螺旋ラップ(118)が端板から延びている固定スクロール部材(106)を含む固定子(104)と、端板を有し、第2の螺旋ラップ(120)が端板から延びて上記第1の螺旋ラップと互いに噛み合っている旋回スクロール部材(108)と、を含む。 モータは、固定スクロール部材(106)に対する旋回スクロール部材の旋回運動を発生させるための駆動軸を駆動する。 装置は、駆動軸の回りに配列された複数の可撓性ロッド(122)を含み、各可撓性ロッドは、一端が上記旋回スクロール部材(108)に連結され、他端が上記固定子(104)に連結され、上記旋回スクロール部材(108)を上記固定子に対して支持しかつ固定子に対する旋回スクロール部材の回転を阻止する。
【選択図】図4-
公开(公告)号:JP4467431B2
公开(公告)日:2010-05-26
申请号:JP2004523923
申请日:2003-07-21
Applicant: エドワーズ リミテッド
Inventor: シアマック アッバスザデ , デレク サヴィッジ , ナイジェル ポール ショフィールド
CPC classification number: F04B51/00 , F04D19/04 , F04D27/001 , F05D2260/607
Abstract: A method of monitoring the condition of a pump (10) or at least one component of a system that includes a pump which component or components are not a part of the pump, includes the step of generating a predetermined test condition in the pump or system component or components. During a period in which such a test condition is present, signals indicative of the pump or system component or components are obtained. Wear in the pump bearings, the build-up of deposits in the pump or in pipework forming a part of the pump system can be detected or predicted and corrective action taken before the pump or system fails. By providing a method of monitoring pump or system condition in-situ, it is possible to reduce the likelihood of pump failure in use and the need to carry out over frequent servicing of the pump.
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公开(公告)号:JP4843493B2
公开(公告)日:2011-12-21
申请号:JP2006530557
申请日:2004-09-23
Applicant: エドワーズ リミテッド
Inventor: ナイジェル ポール ショフィールド , マーティン ニコラス ステュアート , イアン ディヴィッド ストーンズ
CPC classification number: F04D19/042 , F04D17/168 , F04D19/044 , F04D19/046 , F04D23/008 , H01J49/24
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