半導体パッケージの製造方法
    1.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2021525458A

    公开(公告)日:2021-09-24

    申请号:JP2020567090

    申请日:2020-01-23

    Abstract: 本発明は、複数のシリコン貫通電極が具備され、バンプ電極が形成された基板上に、非導電性フィルムを用いて真空ラミネーション(vacuum lamination)後、紫外線照射を実施して、光硬化前後の溶融粘度の上昇を30%以下に調節することができ、これにより、熱圧着ボンディング時、ボイドなしにボンディング可能であり、ソルダの中間に樹脂が挟まる現象を防止することができ、フィレットが最小化されて信頼性を向上させることができる半導体パッケージの製造方法に関する。

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