シリコン基板エッチング溶液
    2.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2020004965A

    公开(公告)日:2020-01-09

    申请号:JP2019116521

    申请日:2019-06-24

    Abstract: 【課題】本発明は、シリコン添加剤を使用することにより、シリコン酸化膜対シリコン窒化膜に対する選択比を上げることができるシリコン基板エッチング溶液を提供することを目的とする。また、本発明は、高温安全性の高いシリコン添加剤を使用することで、高温でシリコン添加剤が分解されて変色することを防止できるシリコン基板エッチング溶液を提供することを目的とする。 【解決手段】リン酸及び所定の第1の化学式(明細書中の化1)及び所定の第2の化学式(明細書中の化2)で表される化合物のうち少なくとも一つを含むシリコン添加剤を含むシリコン基板エッチング溶液が提供される。 【選択図】なし

    シリコン基板エッチング溶液
    6.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2020013991A

    公开(公告)日:2020-01-23

    申请号:JP2019116322

    申请日:2019-06-24

    Abstract: 【課題】本発明は、シリコンエッチング溶液のうちシリコン系パーティクルが生成することを抑制できるシリコン基板エッチング溶液を提供することを目的とする。 【解決手段】無機酸水溶液、所定の第1の化学式(明細書中の化1)又は所定の第2の化学式(明細書中の化2)で表されるシリコン添加剤、及び所定の化学式(明細書中の化3)で表されるイミダゾリウムリン酸塩を含むシリコン基板エッチング溶液が提供される。無機酸水溶液は、硫酸、窒酸、リン酸、ケイ酸、フッ酸、ホウ酸、塩酸、過塩素酸、無水りん酸、ピロリン酸、及びポリリン酸から選択される少なくとも一つの無機酸を含む水溶液である。 【選択図】なし

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