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公开(公告)号:JP6308714B2
公开(公告)日:2018-04-11
申请号:JP2012187615
申请日:2012-08-28
Applicant: キヤノン株式会社
CPC classification number: H01J35/16 , A61B6/06 , A61B6/08 , A61B6/40 , G21K1/02 , H01J2235/081 , H01J2235/086 , H01J2235/087 , H01J2235/168
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公开(公告)号:JP5911323B2
公开(公告)日:2016-04-27
申请号:JP2012022976
申请日:2012-02-06
Applicant: キヤノン株式会社
CPC classification number: H01J35/08 , H01J2235/081 , H01J2235/186
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公开(公告)号:JP5812700B2
公开(公告)日:2015-11-17
申请号:JP2011127513
申请日:2011-06-07
Applicant: キヤノン株式会社
IPC: H01J35/08
CPC classification number: H01J35/12 , H01J35/08 , H01J35/16 , H01J35/18 , H01J2235/081 , H01J2235/084 , H01J2235/087 , H01J2235/1291 , H01J2235/16 , H01J2235/186 , H05G1/06
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公开(公告)号:JP6381269B2
公开(公告)日:2018-08-29
申请号:JP2014087465
申请日:2014-04-21
Applicant: キヤノン株式会社
CPC classification number: H01J35/08 , G21K1/02 , H01J35/16 , H01J2235/081 , H01J2235/087 , H01J2235/166 , H05G1/06
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公开(公告)号:JP2018113270A
公开(公告)日:2018-07-19
申请号:JP2018082457
申请日:2018-04-23
Applicant: キヤノン株式会社
Abstract: 【課題】 多結晶ダイアモンドを透過基板として有し、衝撃が加えられた場合においても放電や陽極電流の低下が生じ難い透過型ターゲットを提供する。 【解決手段】 透過基板は、一方の面が対向する他方の面よりも小さな平均結晶粒径を呈する多結晶ダイアモンドからなり、ターゲット層は一方の面または他方の面において支持されていることを特徴とする透過型ターゲット。 【選択図】 図1
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公开(公告)号:JP2017212229A
公开(公告)日:2017-11-30
申请号:JP2017172340
申请日:2017-09-07
Applicant: キヤノン株式会社
IPC: H01J35/08
Abstract: 【課題】 炭素を含有する基材に対するターゲット層の密着性と放熱性とが維持された信頼性の高い放射線発生装置を提供する。 【解決手段】 電子の照射により放射線を発生するターゲット金属を含有するターゲット層と、ターゲット層を支持し、炭素を主成分として含有する基材と、を備える透過型ターゲットであって、ターゲット層は、基材との界面の側における面内方向において、ターゲット金属の炭化物を含む炭化物領域と、ターゲット金属を金属状態として含む非炭化物領域と、を混在するように備え、炭化物領域が面内方向において占める面積密度が20%以上80%以下であることを特徴とする。 【選択図】 図1
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