Multilayer coatings for use on the electronic device or other article

    公开(公告)号:JP2010508670A

    公开(公告)日:2010-03-18

    申请号:JP2009535261

    申请日:2007-09-19

    Abstract: 表面上に多層被膜を形成する方法が開示されている。 この方法は、前駆体物質の単一源を用意する段階と被覆しようとする表面に近接した反応場に前駆体物質を移送する段階とを含む。 第1層は、前駆体物質の単一源を用いて第一の反応条件の組の下で化学蒸着法により、表面上に蒸着される。 第2層は、前駆体物質の単一源を用いて第二の反応条件の組の下で化学蒸着法により、表面上に蒸着される。 第1層は主としてポリマー成分を有してよく、第2層は主として非ポリマー成分を有してよい。 化学蒸着法はプラズマで支援されてもよいし、反応原料ガスを用いて行ってもよい。 前駆体物質はシロキサンなどの有機ケイ素化合物でよい。 第1層および第2層は、シリコーンポリマーなどの種々のポリマー物質および酸化ケイ素などの種々の非ポリマー物質を含み得る。 多層被膜は、光学的な透明性、不透過性、および/または柔軟性などの、有機発光デバイスでの使用に適した種々の性質を有し得る。

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