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公开(公告)号：JP2015162267A
公开(公告)日：2015-09-07
申请号：JP2014034796
申请日：2014-02-26
Applicant: 学校法人トヨタ学園
Inventor： 佐々木 実
IPC: G01J3/10 , H01L21/3065 , H01L21/205 , C23C16/507 , H05H1/24
Abstract: 【課題】 誘導結合型マイクロプラズマは高密度プラズマを発生できるが、プラズマ点火が難しい問題があり、プラズマ点火を促進し、より低パワーで点火を可能とする、効果的な方法が求められていた。 【解決手段】本発明は、浮遊電極の一部を、電位を一定に保つシールド電極で覆うことで、浮遊電極を通して外部に電磁気的に放射していた高周波パワーの損失を減少させ、ガス流路内部に配置された浮遊電極先端に効率よく高周波パワーを伝える小型で高密度な誘導結合型マイクロプラズマ源を実現したものである。 【選択図】 図1
Abstract translation: 要解决的问题为了解决感应耦合的微型等离子体的问题，虽然它可以产生高密度等离子体，但是难以等离子体点火，并且正在寻求一种用于促进等离子体点火和允许以较低功率点火的有效方法。 ：通过用保持恒定电位的屏蔽电极覆盖浮动电极的一部分来实现将布置在气体流路中的浮动电极尖端有效地传输高频功率的紧凑且高密度的电感耦合微等离子体源，从而减少 已经通过浮动电极向外部电磁辐射的高频功率的损失。
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公开(公告)号：JP2018120015A
公开(公告)日：2018-08-02
申请号：JP2017009461
申请日：2017-01-23
Applicant: 学校法人トヨタ学園
Inventor： 佐々木 実
IPC: G03F9/00 , H01L21/683 , G03F7/20
CPC classification number: G03F7/09 , G03F7/2004 , G03F7/2006 , H01L21/0274 , H01L23/544 , H01L2223/54426
Abstract: 【課題】 フォトリソグラフィが持つ、一括処理の高い生産性の長所を保ちながら、立体サンプルに所望の微細パターンを転写できる立体サンプルへの貼り付け用フィルム等を提供する。 【解決手段】 本発明の立体サンプルへの貼り付け用フィルムは、位置または方向の合わせマーク等をもつフォトレジスト層を含む。このフィルムを立体サンプル上の位置または方向合わせマーク等に合わせて、微細パターンの露光を済ませたフォトレジスト膜を立体サンプルの所望の位置に貼り付ける。これにより、適切な微細パターンを転写することができる。本発明のフィルムは、例えば、被処理物への貼り付け前に、面内または厚み方向の一部または全部を現像処理してフォトレジスト層に基準となる凹凸を形成したものである。 【選択図】図1
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP6341690B2
公开(公告)日：2018-06-13
申请号：JP2014034796
申请日：2014-02-26
Applicant: 学校法人トヨタ学園
Inventor： 佐々木 実
IPC: G01J3/10 , H01L21/3065 , H01L21/205 , C23C16/507 , H05H1/24
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公开(公告)号：JP2018063117A
公开(公告)日：2018-04-19
申请号：JP2016199722
申请日：2016-10-11
CPC classification number: G01R19/0084 , G01R5/00 , G01R15/06 , G01R15/16 , G01R15/24 , G01R15/242 , G01R21/06
Abstract: 【課題】部品点数の増加、及び、組み立ての煩雑化を防止しつつ、計測のバラつきを小さくすることができる電圧センサを提供する。 【解決手段】電圧センサ1は、機械的なサスペンション10によって支持されて浮遊電位となる振動子20に隣接する駆動電極50に対して振動子20を振動させるべく交流電圧を印加して共振させ、振動子20に所定の隙間を介して配置された固定電極30に測定対象となる電圧が印加されたときの共振周波数の変化から、測定対象となる電圧の大きさを検出するためのセンサであって、駆動電極50に対して0Vを跨ぐ交流電圧を印加する駆動回路80を備える。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP2016144577A
公开(公告)日：2016-08-12
申请号：JP2015023301
申请日：2015-02-09
IPC: A61B5/11
Abstract: 【課題】呼吸計測の際に計測対象者にかかるストレスをなくして、計測対象者の自然な状態での呼吸計測を実現させる呼吸センサの提供。 【解決手段】呼吸センサ10は、計測対象者90の胸部体表領域91(第1の体表領域)における第1のポイント91Aおよび第2のポイント91Bに配設される電極11、12(第1の電気伝導体、第2の電気伝導体)を備える。電極12は電極11とは別体とされて、この電極11に隣り合う。また、呼吸センサ10は、各電極11、12の間における静電容量の変化を求め、この静電容量の変化から計測対象者90の呼吸を検知する解析装置13(第1の検知手段)を備える。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种呼吸传感器，用于通过消除对测量对象人员在呼吸测量中的压力来实现测量对象人的自然状态下的呼吸测量。解决方案：呼吸传感器10包括电极11和12（第一电 导体和第二导电体）配置在测定对象人90的乳房体表面区域91（第一体表面积）的第一点91A和第二点91B上。电极12与电极11分离，相邻 此外，呼吸传感器10包括分析器13（第一检测装置），其要求电极11和12之间的静电电容的变化，并且检测测量对象人90的呼吸是从 静电电容
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公开(公告)号：JP6944688B2
公开(公告)日：2021-10-06
申请号：JP2017009461
申请日：2017-01-23
Applicant: 学校法人トヨタ学園
Inventor： 佐々木 実
IPC: G03F9/00 , H01L21/683 , G03F7/20
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公开(公告)号：JP2020020916A
公开(公告)日：2020-02-06
申请号：JP2018143226
申请日：2018-07-31
Abstract: 【課題】製造プロセスを簡略化することができる光走査素子を提供する。 【解決手段】光走査素子1Aは、光を反射する平板状の反射部11と、反射部11を揺動させる揺動軸12と、反射部11の揺動軸12上に設けられ、台座8に対して反射部11を揺動自在に支持する梁部13とを有するミラー3と、ミラー3の揺動方向の振れ角を検出する振れ角検出部5とを備える。振れ角検出部5は、ミラー駆動部7が駆動からミラー3を揺動するまでのミラー揺動動作に起因する磁束の変化をミラー3の振れ角として検出する。 【選択図】図1
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