公开(公告)号：JP6217529B2

公开(公告)日：2017-10-25

申请号：JP2014109183

申请日：2014-05-27

Applicant: 富士ゼロックス株式会社

Inventor： 皆見 健史 ,  手塚 弘明 ,  村田 道昭 ,  山崎 憲二

IPC: H01L21/301

CPC classification number: H01L21/78 ,  B23D65/00 ,  B28D5/0011 ,  B28D5/022 ,  H01L21/3043 ,  H01L33/0095

公开(公告)号：JP5790836B2

公开(公告)日：2015-10-07

申请号：JP2014109184

申请日：2014-05-27

Applicant: 富士ゼロックス株式会社

Inventor： 皆見 健史 ,  手塚 弘明 ,  村田 道昭 ,  山崎 憲二 ,  大塚 勤

IPC: H01L21/301

CPC classification number: H01L21/78 ,  B23D65/00 ,  B28D5/0011 ,  B28D5/022 ,  H01L21/3043 ,  H01L33/0095

公开(公告)号：JP5725238B2

公开(公告)日：2015-05-27

申请号：JP2014109187

申请日：2014-05-27

Applicant: 富士ゼロックス株式会社

Inventor： 皆見 健史 ,  手塚 弘明 ,  村田 道昭 ,  山崎 憲二

IPC: B24B27/06 ,  H01L21/301

CPC classification number: H01L21/78 ,  B23D65/00 ,  B28D5/0011 ,  B28D5/022 ,  H01L21/3043 ,  H01L33/0095

公开(公告)号：JP6269319B2

公开(公告)日：2018-01-31

申请号：JP2014109185

申请日：2014-05-27

Applicant: 富士ゼロックス株式会社

Inventor： 皆見 健史 ,  手塚 弘明 ,  村田 道昭 ,  山崎 憲二 ,  山田 秀一 ,  大野 健一

IPC: B24B27/06 ,  H01L21/301

CPC classification number: H01L21/78 ,  B23D65/00 ,  B28D5/0011 ,  B28D5/022 ,  H01L21/3043 ,  H01L33/0095

公开(公告)号：JP5994832B2

公开(公告)日：2016-09-21

申请号：JP2014205556

申请日：2014-10-06

Applicant: 富士ゼロックス株式会社

Inventor： 皆見 健史 ,  手塚 弘明 ,  村田 道昭 ,  山崎 憲二

IPC: B24B27/06 ,  H01L21/301

CPC classification number: H01L21/78 ,  B23D65/00 ,  B28D5/0011 ,  B28D5/022 ,  H01L21/3043 ,  H01L33/0095