公开(公告)号：JP6347553B2

公开(公告)日：2018-06-27

申请号：JP2015519801

申请日：2014-05-20

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： ▲よし▼川 潤 ,  市村 幹也 ,  今井 克宏

IPC: C04B37/00 ,  H01L33/32 ,  H03H9/64 ,  H03H9/145 ,  C04B35/01

CPC classification number: H01L29/0649 ,  B32B5/022 ,  B32B5/18 ,  B32B7/12 ,  B32B9/005 ,  B32B9/04 ,  B32B15/04 ,  B32B15/20 ,  B32B2260/021 ,  B32B2260/046 ,  B32B2262/0246 ,  B32B2262/0253 ,  B32B2262/0261 ,  B32B2262/0276 ,  B32B2266/0278 ,  B32B2457/00 ,  B32B2457/14 ,  C04B35/111 ,  C04B35/453 ,  C04B37/00 ,  C04B37/001 ,  C04B37/005 ,  C04B37/008 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/6025 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/963 ,  C04B2237/062 ,  C04B2237/064 ,  C04B2237/08 ,  C04B2237/30 ,  C04B2237/34 ,  C04B2237/341 ,  C04B2237/343 ,  C04B2237/36 ,  C04B2237/52 ,  H01L29/16 ,  H01L29/2003 ,  H01L33/007 ,  H01L41/08 ,  H01L41/081 ,  H01L41/312 ,  H01L41/313 ,  H03H9/02566 ,  H03H9/02574 ,  H03H9/02834