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公开(公告)号:JP4201739B2
公开(公告)日:2008-12-24
申请号:JP2004161844
申请日:2004-05-31
Applicant: 日本電子材料株式会社 , 独立行政法人物質・材料研究機構
CPC classification number: G01R1/06755 , G01R1/06733
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公开(公告)号:JP5435533B2
公开(公告)日:2014-03-05
申请号:JP2008192437
申请日:2008-07-25
Applicant: 独立行政法人物質・材料研究機構
IPC: F03G7/06
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公开(公告)号:JPWO2008142980A1
公开(公告)日:2010-08-05
申请号:JP2009515133
申请日:2008-05-01
Applicant: 独立行政法人物質・材料研究機構
IPC: F03G7/06
CPC classification number: F03G7/065 , B81B3/0021 , C22C14/00 , C23C14/0005 , C23C14/14 , C23C14/541
Abstract: 2方向性形状記憶合金薄膜アクチュエータは、結晶性の形状記憶合金薄膜からなり、成膜時の残留応力を有したまま実質的に単層化されて形成され、室温以上の温度で作動し、特段のバイアス力付与が不要である。
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