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公开(公告)号：JP2019066793A
公开(公告)日：2019-04-25
申请号：JP2017195074
申请日：2017-10-05
申请人： 日立化成株式会社
IPC分类号： G03F7/027 , H05K3/46 , C08F290/06 , G03F7/004
摘要： 【課題】優れたデスミア耐性及び絶縁層上形成された導体層との優れた密着性(ピール強度)を有し、絶縁信頼性(HAST耐性)に優れる感光性樹脂組成物、感光性エレメント、及び前記感光性樹脂組成物又は感光性エレメントを用いて得られる高信頼性のプリント配線板を提供する。 【解決手段】本発明は、(A)分子内にカルボキシル基とエチレン性不飽和基を有するアルカリ可溶性樹脂、(B)光重合開始剤、及び(C)シアネートエステル化合物、を含有するアルカリ現像型の感光性樹脂組成物であり、さらに、エポキシ樹脂、メラミン又はトリアジン構造を有するメラミン誘導体、及び多官能マレイミド化合物の少なくともいずれかを含有し、無機フィラー成分を除く樹脂固形分の酸価を10〜100mg/KOHの範囲にすることが好ましい。 【選択図】なし
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公开(公告)号：JP2016142939A
公开(公告)日：2016-08-08
申请号：JP2015019106
申请日：2015-02-03
申请人： 日立化成株式会社
摘要： 【課題】微細配線間でのHAST耐性に特に優れるレジストパターンを形成できる感光性樹脂組成物を提供すること。 【解決手段】(A)成分:クレゾール及びビスフェノール由来のノボラック型エポキシ樹脂、(B)成分:光重合性化合物、及び(C)成分:光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物。 【選択図】なし
摘要翻译： 要解决的问题：提供一种感光性树脂组合物，其可以形成在微丝之间的HAST电阻特别优异的抗蚀剂图案。溶解性：光敏树脂组合物包含（A）成分：甲酚和双酚衍生的酚醛清漆型环氧树脂， （B）成分：光聚合性化合物，（C）成分：光聚合引发剂
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公开(公告)号：JP2016066080A
公开(公告)日：2016-04-28
申请号：JP2015188122
申请日：2015-09-25
申请人： 日立化成株式会社
摘要： 【課題】解像性に優れたパターンを形成でき、耐熱性、密着性、機械特性、及び電気特性に加えて、ピッチの微細化に伴い要求される耐PCT性(耐湿熱性)、耐リフロー性、電気絶縁性(HAST耐性)、耐無電解めっき耐性、はんだ耐熱性等に優れた感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、永久マスクレジスト、及び該永久マスクレジストを具備するプリント配線板を提供すること。 【解決手段】(A)酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂、(B)光重合開始剤、(C)無機フィラー、(D)光重合性化合物、及び(E)シロキサン結合含有ビニル重合体を含有し、該(E)シロキサン結合含有ビニル重合体が特定の構造を有するものである、感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、永久マスクレジスト、及びプリント配線板である。 【選択図】なし
摘要翻译： 要解决的问题：提供一种感光性树脂组合物，其能够形成分辨率优异且显示耐热性，粘合性，机械特性和电特性以及优异的PCT耐久性（耐湿热性），回流耐久性，电绝缘性 （HAST耐久性），耐化学镀性，耐焊料耐热性等，以及使用上述组合物的光敏元件和永久掩模抗蚀剂等，以及包含永久掩模抗蚀剂的印刷线路板。 感光性树脂组合物包含（A）含酸改性乙烯基的环氧树脂，（B）光聚合引发剂，（C）无机填料，（D）光聚合性化合物和（E）含硅氧烷键的乙烯基 聚合物，其中（E）含硅氧烷键的乙烯基聚合物具有特定的结构。 还公开了一种感光元件，永久掩模抗蚀剂和使用上述组合物的印刷线路板。选择图：无
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公开(公告)号：JP2016066004A
公开(公告)日：2016-04-28
申请号：JP2014195550
申请日：2014-09-25
申请人： 日立化成株式会社
摘要： 【課題】解像性に優れたパターンを形成でき、耐熱性、密着性、機械特性、及び電気特性に加えて、ピッチの微細化に伴い要求される耐PCT性(耐湿熱性)、耐リフロー性、電気絶縁性(HAST耐性)、耐無電解めっき耐性、はんだ耐熱性等に優れた感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、永久マスクレジスト、及び該永久マスクレジストを具備するプリント配線板を提供すること。 【解決手段】(A)酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂、(B)光重合開始剤、(C)無機フィラー、(D)光重合性化合物、及び(E)アルコキシポリシロキサンを含有し、該(E)アルコキシポリシロキサンが特定の構造を有するものである、感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、永久マスクレジスト、及びプリント配線板である。 【選択図】なし
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公开(公告)号：JPWO2018139407A1
公开(公告)日：2019-11-14
申请号：JP2018001821
申请日：2018-01-22
申请人： 日立化成株式会社
摘要： 本発明は、基材上に配置されている1個又は複数の半導体素子を覆うと共に、前記半導体素子及び前記基材の間、若しくは前記半導体素子同士の間のいずれか、又はその両方を埋め込むように、感光性樹脂組成物からなる封止用樹脂部を形成する工程と、前記封止用樹脂部の露光及びアルカリ現像により、開口部を有するパターンを形成しており、前記感光性樹脂組成物の硬化物を含む、封止部を形成させる工程と、前記開口部内に導体部を形成する工程と、を備える、半導体装置の製造方法に関する。
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公开(公告)号：JP2016066006A
公开(公告)日：2016-04-28
申请号：JP2014195558
申请日：2014-09-25
申请人： 日立化成株式会社
IPC分类号： G03F7/027 , H05K3/28 , C08F290/06 , G03F7/004 , G03F7/075
摘要： 【課題】解像性に優れたパターンを形成でき、耐熱性、密着性、機械特性、及び電気特性に加えて、ピッチの微細化に伴い要求される耐PCT性(耐湿熱性)、耐リフロー性、電気絶縁性(HAST耐性)、耐無電解めっき耐性、はんだ耐熱性等に優れた感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、永久マスクレジスト、及び該永久マスクレジストを具備するプリント配線板を提供すること。 【解決手段】(A)酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂、(B)光重合開始剤、(C)無機フィラー、(D)光重合性化合物、及び(E)シリル基含有ビニル重合体を含有し、該(E)シリル基含有ビニル重合体が特定の構造を有するものである、感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、永久マスクレジスト、及びプリント配線板である。 【選択図】なし
摘要翻译： 要解决的问题：提供：能够形成分辨率优异且PCT耐受性（耐湿热性），回流电阻，电绝缘性（HAST电阻），无电镀电阻，焊料耐热性优异的图案的感光性树脂组合物 除了耐热性，粘附性，机械特性和电特性之外，还需要用于精制沥青的类似物; 感光元件和使用其的永久掩模抗蚀剂; 和（A）含有酸改性乙烯基的环氧树脂，（B）光引发剂，（C）无机填料，（D）可光聚合的 化合物和（E）含甲硅烷基的乙烯基聚合物，其中（E）含甲硅烷基的乙烯基聚合物具有特定的结构。 还提供了光敏元件，永久掩模抗蚀剂和使用该感光性树脂组合物的印刷线路板。选择图：无
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公开(公告)号：JP2016066003A
公开(公告)日：2016-04-28
申请号：JP2014195548
申请日：2014-09-25
申请人： 日立化成株式会社
IPC分类号： G03F7/004 , G03F7/027 , H05K3/28 , C08F290/06 , G03F7/075
摘要： 【課題】解像性に優れたパターンを形成でき、耐熱性、密着性、機械特性、及び電気特性に加えて、ピッチの微細化に伴い要求される耐PCT性(耐湿熱性)、耐リフロー性、電気絶縁性(HAST耐性)、耐無電解めっき耐性、はんだ耐熱性等に優れた感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、永久マスクレジスト、及び該永久マスクレジストを具備するプリント配線板を提供すること。 【解決手段】(A)酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂、(B)光重合開始剤、(C)無機フィラー、(D)光重合性化合物、及び(E)アルコキシポリシロキサンを含有し、該(E)アルコキシポリシロキサンが特定の構造を有するものである、感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、永久マスクレジスト、及びプリント配線板である。 【選択図】なし
摘要翻译： 要解决的问题：提供：能够形成分辨率优异且PCT耐受性（耐湿热性），回流电阻，电绝缘性（HAST电阻），无电镀电阻，焊料耐热性优异的图案的感光性树脂组合物 除了耐热性，粘附性，机械特性和电特性之外，还需要用于精制沥青的类似物; 感光元件和使用其的永久掩模抗蚀剂; 和（A）含有酸改性乙烯基的环氧树脂，（B）光引发剂，（C）无机填料，（D）可光聚合的 化合物和（E）烷氧基聚硅氧烷，其中（E）烷氧基聚硅氧烷具有特定结构。 还提供了光敏元件，永久掩模抗蚀剂和使用该感光性树脂组合物的印刷线路板。选择图：无
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