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公开(公告)号:JP6215535B2
公开(公告)日:2017-10-18
申请号:JP2013018374
申请日:2013-02-01
申请人: 本田技研工業株式会社 , 学校法人早稲田大学
IPC分类号: H01L21/336 , H01L51/05 , H01L51/30 , H01L21/205 , H01L29/06 , H01L29/786
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公开(公告)号:JP2015074585A
公开(公告)日:2015-04-20
申请号:JP2013212198
申请日:2013-10-09
申请人: 本田技研工業株式会社 , 学校法人早稲田大学
IPC分类号: B01J23/745 , C01B31/02
摘要: 【課題】後処理不要で、高密度且つ一方向に配向した単層CNT集合体を得られるCNTの製造方法を提供する。 【解決手段】処理室2内にCNTの原料気体を流通しつつ処理室2内を減圧し、触媒担持基板9上にCVD法によりCNTを成長させる。触媒担持基板9の触媒が担持されている面上に成長するCNTに対し、成長方向に対向する方向に押圧力を加える。 【選択図】 図3
摘要翻译: 要解决的问题:提供一种能够获得具有高密度且在一个方向上取向而不需要后处理的单层CNT聚集体的CNT(碳纳米管)的方法。解决方案:提供一种生产CNT的方法 CNT通过CVD法在承载催化剂9的基板上生长,通过在将CNT的原料气体流入处理室2的同时使处理室2减压而使处理室2进行减压。在与生长方向相反的方向上施加按压力, 相对于承载载有催化剂9的载体上的催化剂的表面上生长的CNT。
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公开(公告)号:JP6215536B2
公开(公告)日:2017-10-18
申请号:JP2013018375
申请日:2013-02-01
申请人: 本田技研工業株式会社 , 学校法人早稲田大学
IPC分类号: H01L21/336 , H01L51/05 , H01L51/30 , H01L21/28 , H01L29/06 , H01L29/49 , H01L29/423 , H01L29/786
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公开(公告)号:JP6215537B2
公开(公告)日:2017-10-18
申请号:JP2013018376
申请日:2013-02-01
申请人: 本田技研工業株式会社 , 学校法人早稲田大学
IPC分类号: H01L21/336 , H01L51/05 , H01L51/30 , H01L21/205 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , H01L29/786
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公开(公告)号:JP5732636B2
公开(公告)日:2015-06-10
申请号:JP2011528893
申请日:2010-08-30
申请人: 本田技研工業株式会社 , 学校法人早稲田大学
IPC分类号: C01B31/02
CPC分类号: B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B31/0233 , H01J37/32192 , H01J37/3222 , C01B2202/08
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公开(公告)号:JP6037281B2
公开(公告)日:2016-12-07
申请号:JP2013040586
申请日:2013-03-01
申请人: 本田技研工業株式会社 , 学校法人早稲田大学
IPC分类号: C01B31/02
CPC分类号: B01J19/126 , B01J19/088 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B31/0226 , C01P2002/82
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公开(公告)号:JP6042315B2
公开(公告)日:2016-12-14
申请号:JP2013246432
申请日:2013-11-28
申请人: 本田技研工業株式会社
IPC分类号: B01J23/745 , C01B31/02
CPC分类号: B01J23/78 , B01J23/745 , B01J37/0244 , B01J37/342 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C23C14/5893 , C23C14/081 , C23C14/18 , C23C14/5853
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公开(公告)号:JP6321420B2
公开(公告)日:2018-05-09
申请号:JP2014060258
申请日:2014-03-24
申请人: 本田技研工業株式会社
IPC分类号: H01M4/62 , H01M4/02 , H01M4/139 , H01M4/04 , H01M10/054 , H01M12/06 , H01M12/08 , H01G11/86 , H01G11/38 , H01G11/36 , H01M4/13
CPC分类号: H01G11/32 , C01B25/45 , H01G11/36 , H01G11/38 , H01G11/50 , H01M4/13 , H01M4/139 , H01M4/5825 , H01M4/62 , H01M4/625 , H01M10/0525 , H01M10/054 , H01M12/08 , Y02E60/128 , Y02E60/13
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