公开(公告)号：JP5496630B2

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：JP2009280672

申请日：2009-12-10

Applicant: 東京エレクトロン株式会社 ,  住友大阪セメント株式会社

Inventor： 康晴 佐々木 ,  健二 増澤 ,  暁之 眞壁 ,  守 小坂井 ,  隆 佐藤 ,  和典 石村 ,  竜二 早原 ,  仁 河野

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31

CPC classification number: H01L21/6831 ,  H01J37/32642 ,  H01J2237/332 ,  H01J2237/338 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67248

公开(公告)号：JP5504924B2

公开(公告)日：2014-05-28

申请号：JP2010018211

申请日：2010-01-29

Applicant: 住友大阪セメント株式会社

Inventor： 隆 佐藤 ,  和典 石村 ,  竜二 早原 ,  剛志 渡辺 ,  守 小坂井

IPC: H01L21/683 ,  H02N13/00

公开(公告)号：JP5423632B2

公开(公告)日：2014-02-19

申请号：JP2010216823

申请日：2010-09-28

Applicant: 住友大阪セメント株式会社

Inventor： 隆 佐藤 ,  和典 石村 ,  竜二 早原 ,  剛志 渡辺 ,  守 小坂井 ,  圭 古内 ,  義明 森谷

IPC: H01L21/683 ,  B23Q3/15 ,  H02N13/00

CPC classification number: H01L21/6831 ,  H01L21/67103 ,  Y10T279/23

公开(公告)号：JP4242037B2

公开(公告)日：2009-03-18

申请号：JP2000080936

申请日：2000-03-22

Applicant: 住友大阪セメント株式会社

Inventor： 隆 佐藤 ,  暢 木下

IPC: B32B7/02 ,  C23C18/28 ,  C09D201/00 ,  C23C18/20 ,  C23C18/31 ,  H01B5/14 ,  H01B13/00

公开(公告)号：JP3454765B2

公开(公告)日：2003-10-06

申请号：JP34727799

申请日：1999-12-07

Applicant: 住友大阪セメント株式会社

Inventor： 隆 佐藤 ,  暢 木下 ,  真治 柴本

IPC: H05K3/26 ,  C11D7/10 ,  C11D7/32 ,  C23C18/18 ,  H01L21/304

公开(公告)号：JP5522220B2

公开(公告)日：2014-06-18

申请号：JP2012200990

申请日：2012-09-12

Applicant: 住友大阪セメント株式会社

Inventor： 守 小坂井 ,  和典 石村 ,  隆 佐藤 ,  竜二 早原 ,  剛志 渡辺 ,  義明 森谷

IPC: H01L21/683 ,  B23Q3/15 ,  H02N13/00

公开(公告)号：JP4727434B2

公开(公告)日：2011-07-20

申请号：JP2006009645

申请日：2006-01-18

Applicant: 住友大阪セメント株式会社

Inventor： 隆 佐藤 ,  進一 前田

IPC: H01L21/683 ,  H02N13/00

公开(公告)号：JP4241571B2

公开(公告)日：2009-03-18

申请号：JP2004307013

申请日：2004-10-21

Applicant: 住友大阪セメント株式会社

Inventor： 隆 佐藤 ,  良樹 吉岡

IPC: H01L21/683 ,  H02N13/00

公开(公告)号：JPWO2012128348A1

公开(公告)日：2014-07-24

申请号：JP2013506014

申请日：2012-03-23

Applicant: 住友大阪セメント株式会社

Inventor： 三浦　幸夫 ,  幸夫 三浦 ,  進一 前田 ,  進一 前田 ,  佐藤　隆 ,  隆 佐藤 ,  圭 古内 ,  圭 古内

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/3065 ,  H02N13/00

CPC classification number: H01L21/6833 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6831 ,  Y10T279/23

Abstract: 本発明の静電チャック装置(1)は、板状試料を載置する載置面として一主面を有するとともに静電吸着用内部電極を内蔵してなる静電チャック部(2)と、前記静電チャック部(2)を冷却する冷却ベース部(3)とを備え、前記静電チャック部(2)の前記載置面と反対側の主面には、第1の接着材層(4)を介して加熱部材(5)が接着され、前記静電チャック部(2)及び前記加熱部材(5)と、前記冷却ベース部(3)とは、柔軟性及び絶縁性を有するアクリル系接着剤層(9)を介して接着一体化されている。

公开(公告)号：JP5163349B2

公开(公告)日：2013-03-13

申请号：JP2008199656

申请日：2008-08-01

Applicant: 住友大阪セメント株式会社

Inventor： 守 小坂井 ,  和典 石村 ,  隆 佐藤 ,  竜二 早原 ,  剛志 渡辺 ,  義明 森谷

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/3065