公开(公告)号：JP5496630B2

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：JP2009280672

申请日：2009-12-10

Applicant: 東京エレクトロン株式会社 ,  住友大阪セメント株式会社

Inventor： 康晴 佐々木 ,  健二 増澤 ,  暁之 眞壁 ,  守 小坂井 ,  隆 佐藤 ,  和典 石村 ,  竜二 早原 ,  仁 河野

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31

CPC classification number: H01L21/6831 ,  H01J37/32642 ,  H01J2237/332 ,  H01J2237/338 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67248

公开(公告)号：JP4028274B2

公开(公告)日：2007-12-26

申请号：JP2002086965

申请日：2002-03-26

Applicant: 住友大阪セメント株式会社

Inventor： 高郎 北川 ,  幸弘 坂本 ,  幹郎 小西 ,  仁 河野

IPC: C04B35/565 ,  C04B41/87 ,  C04B35/626 ,  C23C16/26 ,  C23C16/27

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a corrosion resistant material which has not only a high corrosion resistance to halogen corrosive gases, such as fluorine corrosive gas and chlorine corrosive gas, and their plasma gases but has a good adhesion property to a base material, has no possibility of peeling and further has an excellent electrical conductivity and oxidation resistance as well. SOLUTION: The corrosion resistant material comprises the base material consisting of a sintered silicon carbide compact obtained by firing without being added with a sintering assistant and a diamond-containing carbon coating film covering at least a part of the base material and consisting of diamond single crystal particles, diamond polycrystalline particles, diamond-like carbon particles, or the like. COPYRIGHT: (C)2004,JPO

公开(公告)号：JP3802429B2

公开(公告)日：2006-07-26

申请号：JP2002017631

申请日：2002-01-25

Applicant: 住友大阪セメント株式会社 ,  財団法人鉄道総合技術研究所

Inventor： 孝 前田 ,  良樹 吉岡 ,  幹郎 小西 ,  悟 廿日出 ,  仁 河野 ,  朝紀 渡邉

IPC: B60L15/20

CPC classification number: Y02T10/7275

公开(公告)号：JPWO2016052115A1

公开(公告)日：2017-04-27

申请号：JP2015554914

申请日：2015-09-09

Applicant: 住友大阪セメント株式会社

Inventor： 仁 河野 ,  仁 河野 ,  文洋 牛坊 ,  文洋 牛坊

IPC: H01L21/683 ,  B25J15/00 ,  H01L21/3065 ,  H02N13/00

CPC classification number: H01L21/6833 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/6875 ,  H02N13/00

Abstract: 板状試料を静電吸着用電極により吸着するとともに板状試料を冷却する静電チャック装置であって、セラミック焼結体を形成材料とし、一主面が板状試料を載置する載置面である静電チャック部とを有し、載置面には、板状試料を支持する複数の突起部が設けられ、突起部は、頂面で板状試料と接して板状試料を支持し、且つ頂面の高さ位置から下方に断面積が漸増しており、突起部の頂面の下端から0.6μm下方の断面積が、頂面の下端の断面積に対し110%以下である静電チャック装置。

公开(公告)号：JPWO2017051748A1

公开(公告)日：2017-09-28

申请号：JP2016564342

申请日：2016-09-13

Applicant: 住友大阪セメント株式会社

Inventor： 進一 前田 ,  進一 前田 ,  三浦　幸夫 ,  幸夫 三浦 ,  小坂井　守 ,  守 小坂井 ,  仁 河野 ,  仁 河野

IPC: H01L21/683 ,  H02N13/00

CPC classification number: H01L21/683 ,  H02N13/00

Abstract: 本発明の静電チャック装置は、板状試料を載置する載置面を有する静電チャック部と、静電チャック部の載置面と反対側の面に対向して配置された温度調整用ベース部と、静電チャック部と温度調整用ベース部との間を接着する接着部と、載置面の周囲を囲む環状のフォーカスリングと、を備え、静電チャック部、フォーカスリング、接着部及び温度調整用ベース部の堤部によって囲まれた空間の体積は、接着部の使用温度における体積膨張量より大きい。

公开(公告)号：JP4056774B2

公开(公告)日：2008-03-05

申请号：JP2002086957

申请日：2002-03-26

Applicant: 住友大阪セメント株式会社

Inventor： 高郎 北川 ,  幹郎 小西 ,  仁 河野

IPC: C23C16/26 ,  C23C28/04

CPC classification number: C23C28/322 ,  C23C28/34 ,  C23C28/343

公开(公告)号：JP4108341B2

公开(公告)日：2008-06-25

申请号：JP2002017632

申请日：2002-01-25

Applicant: 住友大阪セメント株式会社 ,  財団法人鉄道総合技術研究所

Inventor： 孝 前田 ,  良樹 吉岡 ,  幹郎 小西 ,  悟 廿日出 ,  仁 河野 ,  朝紀 渡邉

IPC: C04B35/565 ,  H01C7/00 ,  H01C17/00

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a grounding resistor, which is free of fear of breakage, erosion, and local heat generation caused by thermal stress or a large surge voltage, whose impedance can be made small by stabilizing the impedance of the resister itself in a wide frequency band, and which has high mechanical strength and thereby is free of fear of the generation of failure, such as breakage, even when it is used at a place in a railway vehicle or the like, generating vibrations, and to provide a method of producing the same, by which the grounding resistors can be produced in a good yield with a high production efficiency. SOLUTION: The grounding resistor has a resistive element made of a silicon carbide sintered compact, and the silicon carbide sintered compact contains ≥10 wt.% silicon carbide crystal grains including aluminum in an amount of ≥0.04 wt.%. COPYRIGHT: (C)2003,JPO

公开(公告)号：JP4060575B2

公开(公告)日：2008-03-12

申请号：JP2001352223

申请日：2001-11-16

Applicant: 住友大阪セメント株式会社

Inventor： 良樹 吉岡 ,  幹郎 小西 ,  仁 河野 ,  雅之 石塚

IPC: C04B35/565 ,  H01L21/302 ,  H01L21/3065

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a high-frequency transmitting material which eliminates the possibility of the self-heat generation by high frequencies, does not give rise to a process defect, does not contain impurities to exert and adverse influence on an object to be treated, such as a wafer, is excellent in corrosion resistance and is free of toxici ty and a method of manufacturing the high-frequency transmitting material which can manufacture the high-frequency transmitting material having such characteristics. SOLUTION: The high-frequency transmitting material is formed to be composed of a silicon carbide-base sintered compact of =1×10 Ω.cm in volumetric resistivity value, and

公开(公告)号：JPWO2016052291A1

公开(公告)日：2017-04-27

申请号：JP2015553946

申请日：2015-09-24

Applicant: 住友大阪セメント株式会社

Inventor： 仁 河野 ,  仁 河野 ,  高橋　健太郎 ,  健太郎 高橋 ,  文洋 牛坊 ,  文洋 牛坊

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/3065 ,  H02N13/00

CPC classification number: H01L21/6833 ,  B23Q3/15 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/68735 ,  H02N13/00 ,  H05K7/20009

Abstract: 本発明は、フォーカスリングを静電吸着力を増大でき、フォーカスリングを均一に冷却できる静電チャック装置を提供する。本発明の静電チャック装置(10)では、載置台(11)が載置面(24a)の周囲にフォーカスリング(12)の周方向に沿って設けられ、フォーカスリング(12)を静電吸着する保持部(15)を有し、保持部(15)が周方向に沿って設けられ、フォーカスリング(12)が載置される一対の堤部(16)と、これらの間に形成された環状の溝部(17)とを有し、一対の堤部(16)のうち少なくともフォーカスリング(12)の外周側に位置する堤部(16A)において、フォーカスリング(12)と対向する面には、複数の微小突起を含む微小突起部が形成されるか、溝部(17)の底面(17a)には凸部(18)が設けられている。凸部(18)はフォーカスリングと接することなく、一対の堤部(16)又は複数の微小突起はフォーカスリング(12)と接し、凸部(18)と協働してフォーカスリング(12)を静電吸着する。