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公开(公告)号：JPWO2016204022A1
公开(公告)日：2018-01-25
申请号：JP2017525155
申请日：2016-06-07
申请人： 株式会社アルバック
摘要： 所望とする膜質及びパターン形状を有する樹脂層を安定に形成することができる成膜方法及び成膜装置を提供する。本発明の一形態に係る成膜方法は、減圧雰囲気に維持されたチャンバ内で、基板Wを第1の温度以下に冷却し、エネルギ線硬化樹脂を含み上記第1の温度以下で液化可能な原料ガスGを、ガス供給部13から基板Wの表面に供給し、上記第1の温度よりも高い第2の温度に維持され所定の開口パターンを有するマスク部材16を、基板Wの表面に対向して配置し、基板Wの表面にエネルギ線を照射する。
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公开(公告)号：JP2017171946A
公开(公告)日：2017-09-28
申请号：JP2015051304
申请日：2015-03-13
申请人： 株式会社アルバック
摘要： 【課題】低コストで量産性の高い薄膜形成装置を提供する。 【解決手段】成膜室11の内部にターンテーブルからなる回転装置21を配置し、アラインメント場所16上で成膜対象物5a、5bのアラインメントを行った後、回転装置21に設けられた基板ホルダ34a、34bに、マスク4a、4bとの間のアラインメントがされた成膜対象物5a、5bを配置し、回転装置21を回転させて成膜場所15上に移動させる。次いで、成膜材料の微粒子を放出させながら成膜源22を移動させ、成膜場所15上の成膜対象物5a、5bに薄膜を形成する。このとき、アラインメント場所16上に未成膜の成膜対象物5a、5bを配置し、位置合を行うことができる。従って、本薄膜形成装置10では、成膜源22と、アラインメントに要する装置とが、一台で済む。 【選択図】 図1
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公开(公告)号：JPWO2018128025A1
公开(公告)日：2019-01-17
申请号：JP2017042071
申请日：2017-11-22
申请人： 株式会社アルバック
摘要： 【課題】巻取式でフィルムにリチウム層を形成するときのフィルムへの熱損傷を抑制する。 【解決手段】巻取式成膜装置は、真空容器と、フィルム走行機構と、リチウム源と、第1ローラとを具備する。上記真空容器は、減圧状態を維持することができる。上記フィルム走行機構は、上記真空容器内でフィルムを走行させることができる。上記リチウム源は、上記真空容器内でリチウムを溶融することができる。上記第1ローラは、上記フィルムの成膜面と上記リチウム源との間に配置されている。上記第1ローラは、上記リチウム源から溶融した上記リチウムを受容する転写パターンを有する。上記第1ローラは、上記転写パターンに対応するリチウム層のパターンを上記成膜面に回転しながら転写する。
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公开(公告)号：JP2016079420A
公开(公告)日：2016-05-16
申请号：JP2014208954
申请日：2014-10-10
申请人： 株式会社アルバック
摘要： 【課題】回収した有機材料を簡単に使用できる技術を提供する。 【解決手段】各蒸発ユニット20a〜20eに、加熱装置3 1 又は3 2 と冷却装置4 1 又は4 2 の両方を有する二台の蒸発槽16 1 、16 2 をそれぞれ設け、一方の蒸発槽16 1 又は16 2 を放出装置15に接続して加熱によって有機材料の蒸気を生成して放出装置15から放出させているときに、他方の蒸発槽16 1 又は16 2 では、蒸発槽16 1 又は16 2 の槽壁を冷却しておき、放出装置15からの蒸気の放出を停止するときは、蒸発槽16 1 、16 2 同士を接続し、一方の蒸発槽16 1 又は16 2 で生成された蒸気を他方の蒸発槽16 1 又は16 2 に移動させ、冷却して有機材料を析出させる。析出した蒸発槽16 1 又は16 2 を加熱すると、析出した有機材料の蒸気が生成されるので、その蒸気を放出装置15から放出させることができる。 【選択図】図2
摘要翻译： 要解决的问题：提供使回收的有机材料容易使用的技术。溶液：每个蒸发单元20a-20e设置有两个蒸发罐16和16，每个具有加热装置3或3和冷却装置4或4。 当有机材料的蒸汽通过加热释放并通过一个连接到释放装置15的一个蒸发罐16或16从释放装置15释放时，另一个蒸发箱16或16的罐壁被冷却。 当释放装置15的蒸汽释放停止时，蒸发箱16和16彼此连接，并且在一个蒸发罐16或16中产生的蒸汽移动到另一蒸发罐16或16并在其中冷却以沉淀有机材料。 通过加热已经发生沉淀的蒸发箱16或16，产生沉淀的有机材料的蒸气以从释放装置15释放。选择的图：图2
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公开(公告)号：JP2020164932A
公开(公告)日：2020-10-08
申请号：JP2019067053
申请日：2019-03-29
申请人： 株式会社アルバック
摘要： 【課題】高寿命化を図ることができる通電加熱線及びその製造方法並びに通電加熱線を用いた真空処理装置を提供する。 【解決手段】本発明の一形態に係る通電加熱線は、芯材と、被覆層と、を具備する。上記芯材は、表面にタンタルの炭化物が形成される。上記被覆層は、表面にタンタルのホウ化物又はホウ素の少なくとも一方が形成され、上記芯材の表面を被覆する。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP2015079100A
公开(公告)日：2015-04-23
申请号：JP2013215682
申请日：2013-10-16
申请人： 株式会社アルバック
IPC分类号： G02B5/30
摘要： 【課題】金属材料の利用効率を高めることのできるワイヤーグリッド偏光子の製造方法、および、ワイヤーグリッド偏光子用基材を提供する。 【解決手段】基材Sbの表面に段差部10を形成することであって、段差部10が、底面11、頂面12、および、底面11と頂面12とをつなぐ側面13を備える。段差部10の有する段差Uが、底面11と頂面12との高低の差であり、底面11および頂面12が、一つの方向に沿って延びることを備える。金属粒子を含む液状体を撥液する性質が撥液性であり、底面11のなかで底面11と側面13とからなる角部以外の部分の有する撥液性、および、頂面12の有する撥液性を、角部の有する撥液性、および、側面の有する撥液性よりも高く設定することを備える。段差部10に塗布された液状体を側面13上、および、角部上に凝集させること、および、凝集した液状体を乾燥することを経てワイヤーを形成することを備える。 【選択図】図2
摘要翻译： 要解决的问题：提供一种用于制造线栅偏振器的方法，通过该方法可以提高金属材料的使用效率和用于线栅偏振器的基板。解决方案：线栅偏振器的制造方法包括以下 过程。 阶梯部10形成在基板Sb的表面上，阶梯部10包括底面11，顶面12和连接底面和顶面12的侧面13; 阶梯部10的高度差U是底面11与顶面12之间的高度差; 并且底面11和顶面12沿着一个方向延伸。 作为排斥含有金属颗粒的液体材料的性质的排斥性被控制为使除了由底面11和侧面13形成的角部以外的底面的排斥性和拒液性 顶面12的液面被设定为高于侧面的防液性和侧面的拒液性。 施加到阶梯部10的液体材料在侧面13和角部被聚集，并且将聚集的液体材料干燥以形成线。
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公开(公告)号：JP6646799B1
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：JP2019556727
申请日：2019-05-16
申请人： 株式会社アルバック
IPC分类号： C23C14/04
摘要： 巻取式成膜装置は、真空容器と、フィルム走行機構と、リチウム源と、第1ローラとを具備する。上記真空容器は、減圧状態を維持することができる。上記フィルム走行機構は、上記真空容器内でフィルムを走行させることができる。上記リチウム源は、上記真空容器内でリチウムを蒸発させることができる。上記第1ローラは、上記フィルムの成膜面と上記リチウム源との間に配置されている。上記第1ローラは、上記リチウム源から蒸発した上記リチウムを受容する転写パターンを有する。上記第1ローラは、上記転写パターンに対応するリチウム層のパターンを上記成膜面に回転しながら転写する。
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