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公开(公告)号：JP2018188740A
公开(公告)日：2018-11-29
申请号：JP2018156166
申请日：2018-08-23
申请人： 鴻海精密工業股▲ふん▼有限公司
摘要： 【課題】成膜ぼけの発生が抑制され、高精細な蒸着パターンの形成に好適に用いられる蒸着マスクを提供する。 【解決手段】 蒸着マスク(100)は、複数の開口部(11)を含む樹脂層(10)と、樹脂層(10)に重なるように配置された磁性金属層(20)であって、複数の開口部を露出させる形状を有するマスク部(20a)と、マスク部を包囲するように配置された周辺部(20b)とを有する磁性金属層と、磁性金属層の周辺部に固定されたフレーム(30)とを備える。樹脂層は、磁性金属層に、マスク部においては接合されておらず、且つ、周辺部の少なくとも一部において接合されている。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2018534422A
公开(公告)日：2018-11-22
申请号：JP2018519854
申请日：2016-08-17
申请人： 昆山允升吉光電科技有限公司
发明人： 魏 志凌
CPC分类号： C23C14/04
摘要： 蒸着用複合磁性マスキングプレート(30)の作製方法であって、金属支持層(41)を電鋳により作製するステップS1と、金属支持層(41)の表面を被膜するステップS2と、フォトレジスト膜層(42)を露光するステップS3と、フォトレジスト膜層(42)を現像するステップS4と、を含む。
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公开(公告)号：JPWO2017110123A1
公开(公告)日：2018-11-08
申请号：JP2016071765
申请日：2016-07-25
申请人： 鴻海精密工業股▲ふん▼有限公司
摘要： 蒸着マスク(100)は、第1主面(11)および第2主面(12)を有し、複数の開口部(13)を含む樹脂層(10)と、第3主面(21)および第4主面(22)を有し、第4主面が樹脂層側に位置するように、樹脂層の第1主面上に設けられた金属層であって、複数の開口部を露出させる形状を有する金属層(20)とを備える。樹脂層の第1主面の、金属層に接している部分および金属層に接していない部分と、金属層の第3主面とは、それぞれ凹凸形状を有する粗面領域を含む。
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公开(公告)号：JP6410370B2
公开(公告)日：2018-10-24
申请号：JP2016529293
申请日：2015-06-11
申请人： 株式会社アルバック
CPC分类号： H01L41/083 , B32B15/00 , B41J2/14 , C23C14/04 , C23C14/088 , C23C14/185 , C23C14/34 , C23C14/35 , C23C14/566 , C23C14/568 , C23C14/588 , H01L41/0471 , H01L41/0805 , H01L41/29 , H01L41/297 , H01L41/314 , H01L41/316
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公开(公告)号：JP2018525529A
公开(公告)日：2018-09-06
申请号：JP2018509585
申请日：2016-08-17
申请人： 昆山允升吉光電科技有限公司
CPC分类号： C23C14/04
摘要： マスキング層(42)とマスキング支持層(41)を含む二層構造であり、マスキング層(42)はマスキング開口(420)を配列して形成される開口ユニットを備え、マスキング支持層(41)は支持ウィンドウ(410)を配列して形成されるウィンドウユニットを備える小開口の蒸着用マスキングプレート(30)において、マスキング層(42)とマスキング支持層(41)は密着しており、開口ユニットを構成するマスキング開口(420)の配列方式はウィンドウユニットを構成する支持ウィンドウ(410)の配列方式と同じであり、マスキング開口(420)と支持ウィンドウ(410)は一対一で対応しており、且つ、各前記マスキング開口(420)は対応する支持ウィンドウ(410)の内側に設けられ、マスキング開口(420)の開口寸法は、対応する支持ウィンドウ(410)の開口寸法よりも小さく、マスキング層(42)の厚さは、マスキング支持層(41)の厚さ以下である。
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公开(公告)号：JP2018104823A
公开(公告)日：2018-07-05
申请号：JP2018010979
申请日：2018-01-25
申请人： 大日本印刷株式会社
CPC分类号： C23C14/042 , C21D1/74 , C21D6/001 , C22C38/08 , C22C38/40 , C23C14/04 , C23C14/58 , C23F1/00 , H01L51/0011 , H01L51/50 , H01L51/56 , H05B33/10
摘要： 【課題】第1面上に狭い幅のレジストパターンを安定に設けることができる金属板を提供する。 【解決手段】金属板の製造方法は、ニッケルを含む鉄合金からなる板材を準備する準備工程を備えている。板材から得られる金属板の第1面の組成分析を、X線光電子分光法を用いて実施した結果として得られる、ニッケル酸化物のピーク面積値とニッケル水酸化物のピーク面積値との和をA1とし、鉄酸化物のピーク面積値と鉄水酸化物のピーク面積値との和をA2とする場合、A1/A2が0.4以下になっている。 【選択図】図10
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公开(公告)号：JP6352599B2
公开(公告)日：2018-07-04
申请号：JP2013153759
申请日：2013-07-24
CPC分类号： B05B12/00 , C23C14/04 , C23C14/545
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公开(公告)号：JPWO2017154233A1
公开(公告)日：2018-05-24
申请号：JP2018503978
申请日：2016-07-22
申请人： 鴻海精密工業股▲ふん▼有限公司
摘要： 開口部内の樹脂フィルムを完全に除去することができる蒸着マスク、その製造方法及び蒸着マスク用マスク部材を提供する。樹脂フィルム(11)の一方側に、開口部(11a)のパターンを形成するためのレーザ光の照射源が配置され、樹脂フィルム(11)の他方側に、レーザ光の照射源から照射されるレーザ光の波長の光を反射させる反射膜(30)が設けられ、反射膜(30)により反射されるレーザ光が樹脂フィルム(11)の開口部(11a)のパターン形成に利用される。
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公开(公告)号：JP2017179606A
公开(公告)日：2017-10-05
申请号：JP2017065374
申请日：2017-03-29
申请人： 太陽誘電ケミカルテクノロジー株式会社
发明人： 澁澤 邦彦
CPC分类号： B41N1/242 , B41C1/147 , B41F15/34 , B41N1/247 , C23C14/04 , C23C14/0605 , C23C14/0641 , C23C14/081 , C23C14/5846 , C23C16/34 , C23C16/401 , C23C16/405 , C23C16/42 , C23C16/517 , C23C16/56 , C23C28/042 , Y10T428/24802 , Y10T428/24917 , Y10T428/24999 , Y10T442/10
摘要： 【課題】ドライプロセスによって形成され、フッ素含有シランカップリング剤と強固に結合するプライマー薄膜を含む構造体を提供する。 【解決手段】本構造体は、基材と、ケイ素、チタン、アルミニウム、酸化アルミニウム,又はジルコニウムから成る群より選択される少なくとも一つの物質を含み該基材表面にドライプロセスにより形成されるプライマー薄膜と、を備える。 【選択図】図4
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