カーボンナノチューブの製造装置および製造方法

    公开(公告)号:JP2019064918A

    公开(公告)日:2019-04-25

    申请号:JP2019018631

    申请日:2019-02-05

    发明人: 橋本 剛 高野 慶

    摘要: 【課題】CVD法を適用してCNTを効率よく製造する装置および方法を提供する。 【解決手段】本発明により提供されるCNT製造装置1は、筒体のチャンバ10と、排気 管50に設けられた制御バルブ60とを備える。チャンバ10は、当該チャンバ10の筒 軸方向の一部範囲に設けられた反応ゾーン20と、反応ゾーン20よりも下流に設けられ た堆積ゾーン22と、堆積ゾーン22におけるカーボンナノチューブの堆積状態を示す物 性値を検知する堆積状態検知部40とを備える。堆積状態検知部40で検知した物性値が 所定の閾値以下の場合には、制御バルブ60を閉じて堆積ゾーン22にカーボンナノチュ ーブを堆積し、当該物性値が所定の閾値を超えた場合には、制御バルブ60を開いて堆積 ゾーン22に堆積されたカーボンナノチューブを回収するように構成されている。 【選択図】図1