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公开(公告)号:JP6786638B2
公开(公告)日:2020-11-18
申请号:JP2019018631
申请日:2019-02-05
申请人: 株式会社名城ナノカーボン
IPC分类号: C23C16/26 , C01B32/159 , C01B32/164
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公开(公告)号:JP2019064918A
公开(公告)日:2019-04-25
申请号:JP2019018631
申请日:2019-02-05
申请人: 株式会社名城ナノカーボン
IPC分类号: C23C16/26 , C01B32/159 , C01B32/164
摘要: 【課題】CVD法を適用してCNTを効率よく製造する装置および方法を提供する。 【解決手段】本発明により提供されるCNT製造装置1は、筒体のチャンバ10と、排気 管50に設けられた制御バルブ60とを備える。チャンバ10は、当該チャンバ10の筒 軸方向の一部範囲に設けられた反応ゾーン20と、反応ゾーン20よりも下流に設けられ た堆積ゾーン22と、堆積ゾーン22におけるカーボンナノチューブの堆積状態を示す物 性値を検知する堆積状態検知部40とを備える。堆積状態検知部40で検知した物性値が 所定の閾値以下の場合には、制御バルブ60を閉じて堆積ゾーン22にカーボンナノチュ ーブを堆積し、当該物性値が所定の閾値を超えた場合には、制御バルブ60を開いて堆積 ゾーン22に堆積されたカーボンナノチューブを回収するように構成されている。 【選択図】図1
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公开(公告)号:JP6479202B2
公开(公告)日:2019-03-06
申请号:JP2017543657
申请日:2016-09-30
申请人: 株式会社名城ナノカーボン
IPC分类号: C01B32/164
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公开(公告)号:JPWO2020027000A1
公开(公告)日:2021-08-12
申请号:JP2019029533
申请日:2019-07-26
申请人: 株式会社大阪ソーダ , 株式会社名城ナノカーボン
IPC分类号: C01B32/16
摘要: 高純度の単層カーボンナノチューブを高効率で製造できる方法を提供する。 気相流動CVD法によるカーボンナノチューブの製造方法であって、 Al 2 O 3 とSiO 2 の合計質量が全質量の90%以上を占めており、かつ、Al 2 O 3 /SiO 2 の質量比が1.0〜2.3の範囲にある物質(A)を、1200℃以上に加熱する工程と、 前記物質(A)を1200℃以上に加熱している環境に存在しているガスを、カーボンナノチューブの原料ガスと接触させて、カーボンナノチューブを生成させる工程と、 を備える、カーボンナノチューブの製造方法。
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公开(公告)号:JPWO2017057751A1
公开(公告)日:2018-08-09
申请号:JP2016079159
申请日:2016-09-30
申请人: 株式会社名城ナノカーボン
IPC分类号: C01B32/164
CPC分类号: B01J23/825 , B01J4/002 , B01J8/008 , B01J8/1818 , B01J8/1836 , B01J19/26 , B01J23/835 , B01J2219/00135 , B01J2219/00162 , B82Y40/00 , C23C16/511 , C30B25/00 , C30B25/105 , C30B25/16 , C30B29/02 , C30B29/602 , H01J37/32449
摘要: 本発明により提供されるCNT製造装置1は、筒体のチャンバ10と、排気管50に設けられた制御バルブ60とを備える。チャンバ10は、当該チャンバ10の筒軸方向の一部範囲に設けられた反応ゾーン20と、反応ゾーン20よりも下流に設けられた堆積ゾーン22と、堆積ゾーン22におけるカーボンナノチューブの堆積状態を示す物性値を検知する堆積状態検知部40とを備える。堆積状態検知部40で検知した物性値が所定の閾値以下の場合には、制御バルブ60を閉じて堆積ゾーン22にカーボンナノチューブを堆積し、当該物性値が所定の閾値を超えた場合には、制御バルブ60を開いて堆積ゾーン22に堆積されたカーボンナノチューブを回収するように構成されている。
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