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    荷電粒子線装置
    1.
    发明专利
    荷電粒子線装置 有权

    公开(公告)号：JPWO2020059114A1

    公开(公告)日：2021-08-30

    申请号：JP2018035048

    申请日：2018-09-21

    Applicant: 株式会社日立ハイテク

    Inventor： 關口 好文 ,  今村 伸 ,  水谷 俊介 ,  ホック シャヘドゥル ,  池田 宇輝

    IPC: H01J37/28 ,  H01J37/244

    Abstract: 光利用効率を向上し得るライトガイドを用いた荷電粒子線装置を提供する。荷電粒子線装置は、荷電電粒子が入射すると光を発光するシンチレータ10と、受光素子12と、シンチレータ10より発生した光を受光素子12に導くライトガイド11を有する検出器16を備える。ライトガイド11は、シンチレータ10の発光面に対向して配置されシンチレータ10で発光した光を入射する入射面11a、受光素子12に対向して配置され光を出射する出射面11b、及び、入射面11aに対向し且つ入射面11aから入射した光を出射面11bの方向へ反射するように入射面11aに対して傾斜して配置された反射面11c1と、を備え、出射面11bは入射面11aよりも小さく、入射面11aと出射面11bの間に、反射面11c1と対向し且つ入射面11aに対して傾斜して配置された斜面11dを備える。

    荷電粒子ビーム装置
    2.
    发明专利
    荷電粒子ビーム装置 审中-公开

    公开(公告)号：JP2020177925A

    公开(公告)日：2020-10-29

    申请号：JP2020126129

    申请日：2020-07-27

    Applicant: 株式会社日立ハイテク

    Inventor： 水谷 俊介 ,  ホック シャヘドゥル ,  池田 宇輝 ,  鈴木 誠

    IPC: H01J37/05 ,  H01J37/28 ,  H01J37/141 ,  H01J37/147 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244

    Abstract: 【課題】本発明は、試料から放出される荷電粒子の検出角度範囲を広範囲にカバーする荷電粒子線装置の提供を目的とする。 【解決手段】本発明によれば、荷電粒子源から放出された荷電粒子ビームを集束する対物レンズと、試料から放出された荷電粒子を検出する検出器を備えた荷電粒子線装置であって、前記対物レンズは、コイル(5)を包囲するように形成された内側磁路と外側磁路(6)を含み、前記内側磁路は、前記荷電粒子ビームの光軸に対向する位置に配置される第1の内側磁路(905)と、前記荷電粒子ビームの光軸に向かって傾斜して形成され、磁路先端を含む第2の内側磁路(7)から構成され、前記磁路先端を通過すると共に、前記荷電粒子ビーム光軸に平行な仮想直線(901)より外側に、前記検出器の検出面(10)が配置される荷電粒子線装置を提案する。 【選択図】図9

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