公开(公告)号：JP5002395B2

公开(公告)日：2012-08-15

申请号：JP2007252966

申请日：2007-09-28

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 達哉 前田 ,  利彦 小野塚 ,  広和 沖中 ,  正明 菊池

IPC: H01J37/28 ,  H01L21/66

公开(公告)号：JPWO2012157697A1

公开(公告)日：2014-07-31

申请号：JP2013515188

申请日：2012-05-17

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 佳定 江畠 ,  佳定 江畠 ,  松井　繁 ,  松井　　繁 ,  昇雄 長谷川 ,  昇雄 長谷川 ,  和之 角田 ,  和之 角田 ,  利彦 小野塚 ,  利彦 小野塚

IPC: G02B5/18 ,  G01J3/18

CPC classification number: G02B5/1857 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/18 ,  G01J3/42 ,  G02B5/18 ,  G02B5/1814 ,  G02B5/1861 ,  G03F1/50 ,  G03F1/54 ,  G03F7/0005 ,  H01L21/26

Abstract: 第1技術は、分光光度計に用いるのに好適な、凸部の頂角が概略90度で、高い回折効率と低い迷光量を満足できる回折格子の製造技術の提供を目的とする。周期構造の開口部を有するマスクの開口部形状に対して、露光により形成された基板上のレジストの凸部の断面形状が、非対称の三角形状であって該三角形状の長辺と短辺のなす角が概90度となるように露光条件を設定し、露光を行い、回折格子を形成する。第2技術は、精度向上と制作時間の短縮が可能な回折格子の製造技術の提供を目的とする。光源から放出された光を、光軸に対して非対称な照明形状にして、所定の周期パターンを備えたマスクを透過させ、前記マスクを透過させることにより生じる0次光と1次光とを基板の表面で干渉させて、前記基板の表面の感光材料を露光し、前記基板上に前記ブレーズド状の断面形状を有する回折格子を形成する。