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公开(公告)号:JPWO2016098622A1
公开(公告)日:2017-11-16
申请号:JP2016564788
申请日:2015-12-07
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
CPC classification number: G01N35/1079 , G01N1/00 , G01N1/10 , G01N35/10
Abstract: CTSノズルにおいて、ゴム栓挿抜時に発生するゴムの切り屑を少なくし、さらにCTSノズル先端の磨耗を抑え繰り返しの使用に耐えるCTSノズルを提供することを目的とする。本発明では、ノズル先端部に2面の切削面を設けることで、ノズルをゴム栓に挿入したときにゴムから受ける圧力がノズルの片側カット面に偏らず、ノズルの2面に分散する。また2面の切削面の一方である先端側テーパ部(第2の面)は、ノズル先端の局所的な位置に、円筒形の円周方向に湾曲しノズルの長さ方向に対して直線的に傾斜する曲面を有する。そのため、ノズルが押しのけたゴムの復元力によりノズルが受ける圧力は分散し、ノズルの斜め挿入を安定的に抑制しつつ切断したゴムを押しのけやすくなり、ノズルのカット面とゴムとの摩擦によって発生するゴムの切り屑を低減できる。また、ゴムとの摩擦が低減することで、ノズル先端部の磨耗が抑えられ、ノズルの寿命を延ばすことを可能とする。
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公开(公告)号:JP5281024B2
公开(公告)日:2013-09-04
申请号:JP2010019114
申请日:2010-01-29
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: H01J37/20
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To solve such a problem that a plurality of braking mechanisms employed for positioning a sample stage each have different gaps, and if the same drive command is issued to respective braking mechanisms, braking forces produced by the respective braking mechanisms differ, resulting in a positional deviation of the sample stage. SOLUTION: An actuator 301 of each of the plurality of braking mechanisms is driven by a predetermined drive command. While the actuator is being driven, a state difference Vba in the predetermined drive command among the braking mechanisms, when a brake pad 307 of each braking mechanism 125a contacts a braked surface 124u, is obtained based on a contact sensing output from a sensing mechanism for each braking mechanism 125a. Based on the obtained state difference Vba in the predetermined drive command, a final drive command Vat, ... corresponding to the drive state of the actuator 301 while a brake is in operation is decided for each braking mechanism. The actuator 301 of each braking mechanism 125a is driven by the decided final drive command of the corresponding braking mechanism. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
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