公开(公告)号：JP5690686B2

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：JP2011185441

申请日：2011-08-29

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 昌宏 小山 ,  昌宏 小山 ,  博紀 小川 ,  博紀 小川 ,  柴田　信雄 ,  信雄 柴田 ,  松島　勝 ,  勝 松島 ,  敏孝 小林 ,  敏孝 小林 ,  中川　周一 ,  周一 中川

IPC: H01L21/68 ,  H01J37/20

公开(公告)号：JP5155209B2

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：JP2009025355

申请日：2009-02-05

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 信雄 柴田 ,  昌宏 小山 ,  博紀 小川 ,  芳紹 堤 ,  敏孝 小林 ,  勝則 小貫 ,  真志 藤田 ,  周一 中川 ,  悟 岡部

IPC: H01J37/20 ,  H01L21/68

公开(公告)号：JP5178291B2

公开(公告)日：2013-04-10

申请号：JP2008105677

申请日：2008-04-15

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 信雄 柴田 ,  昌宏 小山 ,  博紀 小川 ,  芳紹 堤 ,  敏孝 小林 ,  勝則 小貫 ,  真志 藤田 ,  周一 中川 ,  悟 岡部

IPC: H01J37/20

公开(公告)号：JP5107984B2

公开(公告)日：2012-12-26

申请号：JP2009217641

申请日：2009-09-18

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 博紀 小川 ,  昌宏 小山 ,  信雄 柴田 ,  勝 松島 ,  周一 中川 ,  勝則 小貫 ,  芳雅 福嶋

IPC: H01J37/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J2237/20228 ,  H01J2237/20278

公开(公告)号：JP5281024B2

公开(公告)日：2013-09-04

申请号：JP2010019114

申请日：2010-01-29

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 陽介 堀江 ,  昌宏 小山 ,  勝 松島 ,  周一 中川 ,  博紀 小川 ,  信雄 柴田

IPC: H01J37/20

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To solve such a problem that a plurality of braking mechanisms employed for positioning a sample stage each have different gaps, and if the same drive command is issued to respective braking mechanisms, braking forces produced by the respective braking mechanisms differ, resulting in a positional deviation of the sample stage. SOLUTION: An actuator 301 of each of the plurality of braking mechanisms is driven by a predetermined drive command. While the actuator is being driven, a state difference Vba in the predetermined drive command among the braking mechanisms, when a brake pad 307 of each braking mechanism 125a contacts a braked surface 124u, is obtained based on a contact sensing output from a sensing mechanism for each braking mechanism 125a. Based on the obtained state difference Vba in the predetermined drive command, a final drive command Vat, ... corresponding to the drive state of the actuator 301 while a brake is in operation is decided for each braking mechanism. The actuator 301 of each braking mechanism 125a is driven by the decided final drive command of the corresponding braking mechanism. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

公开(公告)号：JP5090392B2

公开(公告)日：2012-12-05

申请号：JP2009065013

申请日：2009-03-17

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 博紀 小川 ,  昌宏 小山 ,  信雄 柴田 ,  勝 松島 ,  周一 中川 ,  勝則 小貫

IPC: G01N1/28 ,  H01J37/16 ,  H01J37/20

公开(公告)号：JP6254060B2

公开(公告)日：2017-12-27

申请号：JP2014186022

申请日：2014-09-12

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 悠介 森脇 ,  悠介 森脇 ,  光一 寺田 ,  光一 寺田 ,  菅谷　昌和 ,  昌和 菅谷 ,  博紀 小川 ,  博紀 小川 ,  桃井　康行 ,  康行 桃井 ,  柴田　信雄 ,  信雄 柴田 ,  橘内　浩之 ,  浩之 橘内 ,  清水　利彦 ,  利彦 清水 ,  中川　周一 ,  周一 中川

IPC: H01J37/20

公开(公告)号：JP5544238B2

公开(公告)日：2014-07-09

申请号：JP2010169972

申请日：2010-07-29

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 博紀 小川 ,  昌宏 小山 ,  勝 松島 ,  芳雅 福嶋 ,  亨 首藤

IPC: H01J37/20

公开(公告)号：JP5508497B2

公开(公告)日：2014-05-28

申请号：JP2012222405

申请日：2012-10-04

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 博紀 小川 ,  昌宏 小山 ,  信雄 柴田 ,  勝 松島 ,  周一 中川 ,  勝則 小貫 ,  芳雅 福嶋

IPC: H01J37/20

公开(公告)号：JP5331597B2

公开(公告)日：2013-10-30

申请号：JP2009155958

申请日：2009-06-30

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 陽介 堀江 ,  昌宏 小山 ,  勝 松島 ,  周一 中川 ,  博紀 小川 ,  信雄 柴田

IPC: H01J37/20 ,  G05D3/12 ,  H01L21/027 ,  H01L21/68