公开(公告)号：JP4408538B2

公开(公告)日：2010-02-03

申请号：JP2000222882

申请日：2000-07-24

Applicant: 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立超エル・エス・アイ・システムズ

Inventor： 聡 富松 ,  英巳 小池 ,  朗 嶋瀬 ,  有俊 杉本 ,  淳三 東 ,  有一 濱村 ,  亨 石谷 ,  雄 関原

IPC: G01R31/28 ,  G01N1/28 ,  G01N1/32 ,  G01N23/04 ,  G01N23/225 ,  G01Q10/00 ,  G01Q30/02 ,  G01Q30/04 ,  G01Q30/20 ,  G01Q60/44 ,  G01R1/06 ,  G01R31/311 ,  H01J37/28 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01Q10/06 ,  G01N23/04 ,  G01N23/225 ,  G01R31/2886 ,  G01R31/311 ,  H01J37/28

Abstract: A probe driving method and a probe apparatus for bringing a probe into contact with the surface of a sample in a safe and efficient manner by monitoring the probe height. Information about the height of the probe from the sample surface is obtained by detecting a probe shadow (54) appearing immediately before the probe contacts the sample, or based on a change in relative positions of a probe image and a sample image that are formed as an ion beam is irradiated diagonally.

公开(公告)号：JP4996648B2

公开(公告)日：2012-08-08

申请号：JP2009108190

申请日：2009-04-27

Applicant: 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立超エル・エス・アイ・システムズ

Inventor： 聡 富松 ,  英巳 小池 ,  朗 嶋瀬 ,  有俊 杉本 ,  淳三 東 ,  有一 濱村 ,  亨 石谷 ,  雄 関原

IPC: H01L21/66 ,  G01N1/28 ,  G01N1/32 ,  G01R31/302

公开(公告)号：JP3729784B2

公开(公告)日：2005-12-21

申请号：JP2001562747

申请日：2000-02-25

Applicant: 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立超エル・エス・アイ・システムズ

Inventor： 聡 富松 ,  英巳 小池 ,  有俊 杉本 ,  淳三 東 ,  馨 梅村 ,  亨 石谷 ,  雄 関原

IPC: G01R31/265 ,  G01R31/28 ,  G01R31/302 ,  G01R31/303 ,  G01R31/305 ,  G01R31/307 ,  G01R31/311 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  G01N23/225 ,  G01R31/02 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01R31/311 ,  G01R31/2851 ,  G01R31/303