公开(公告)号：JP4996648B2

公开(公告)日：2012-08-08

申请号：JP2009108190

申请日：2009-04-27

Applicant: 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立超エル・エス・アイ・システムズ

Inventor： 聡 富松 ,  英巳 小池 ,  朗 嶋瀬 ,  有俊 杉本 ,  淳三 東 ,  有一 濱村 ,  亨 石谷 ,  雄 関原

IPC: H01L21/66 ,  G01N1/28 ,  G01N1/32 ,  G01R31/302

公开(公告)号：JP4408538B2

公开(公告)日：2010-02-03

申请号：JP2000222882

申请日：2000-07-24

Applicant: 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立超エル・エス・アイ・システムズ

Inventor： 聡 富松 ,  英巳 小池 ,  朗 嶋瀬 ,  有俊 杉本 ,  淳三 東 ,  有一 濱村 ,  亨 石谷 ,  雄 関原

IPC: G01R31/28 ,  G01N1/28 ,  G01N1/32 ,  G01N23/04 ,  G01N23/225 ,  G01Q10/00 ,  G01Q30/02 ,  G01Q30/04 ,  G01Q30/20 ,  G01Q60/44 ,  G01R1/06 ,  G01R31/311 ,  H01J37/28 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01Q10/06 ,  G01N23/04 ,  G01N23/225 ,  G01R31/2886 ,  G01R31/311 ,  H01J37/28

Abstract: A probe driving method and a probe apparatus for bringing a probe into contact with the surface of a sample in a safe and efficient manner by monitoring the probe height. Information about the height of the probe from the sample surface is obtained by detecting a probe shadow (54) appearing immediately before the probe contacts the sample, or based on a change in relative positions of a probe image and a sample image that are formed as an ion beam is irradiated diagonally.

公开(公告)号：JP5095278B2

公开(公告)日：2012-12-12

申请号：JP2007175578

申请日：2007-07-03

Applicant: 株式会社日立製作所

Inventor： なつよ 森岡 ,  克己 池ヶ谷 ,  泰紀 山口 ,  一夫 伊藤 ,  誠二 石川 ,  有一 濱村

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G05B15/02 ,  G05B17/02

公开(公告)号：JP3564717B2

公开(公告)日：2004-09-15

申请号：JP3556994

申请日：1994-03-07

Applicant: 株式会社日立製作所

Inventor： 隆 上村 ,  文和 伊藤 ,  朗 嶋瀬 ,  義実 川浪 ,  淳三 東 ,  馨 梅村 ,  通伸 水村 ,  有一 濱村 ,  祐一 間所

IPC: H01J27/18 ,  H01J37/08 ,  H01J37/30 ,  H01J37/317 ,  H01L21/265

公开(公告)号：JPWO2017072854A1

公开(公告)日：2017-11-02

申请号：JP2016563864

申请日：2015-10-27

Applicant: 株式会社日立製作所

Inventor： 貴元 松井 ,  貴元 松井 ,  慶 今沢 ,  慶 今沢 ,  濱村　有一 ,  有一 濱村

IPC: G06T7/20 ,  H04N7/18

CPC classification number: G06T7/20 ,  H04N7/18

Abstract: 実態に沿うように標準となるデータを学習する技術を提供する。監視装置であって、動画の入力を受け付けて、該動画に写り込んでいる人物の時刻ごとの位置座標を特定する認識処理部と、所定の時間帯における位置座標を経時順に追跡して動線データを生成する動線追跡処理部と、動線データと複数の動線データとの乖離に応じた所定の距離を算出することで、動線データを高次元空間へ割り当てる次元変換処理部と、高次元空間において所定の距離に応じて動線データの確率分布を推定するクラスター処理部と、動線データについて確率分布を用いて正常である確率を算出する正常確率算出部と、正常である確率が所定の閾値を下回る場合に、異常状態であると判定する異常判定部と、を備える。

公开(公告)号：JP3523405B2

公开(公告)日：2004-04-26

申请号：JP1134096

申请日：1996-01-26

Applicant: 株式会社日立製作所

Inventor： 英巳 小池 ,  朗 嶋瀬 ,  淳三 東 ,  有一 濱村

IPC: H01J37/305 ,  C23C16/26 ,  H01J37/18 ,  H01L21/027 ,  H01L21/302 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01J37/18 ,  C23C16/26 ,  H01J2237/317

公开(公告)号：JP3367201B2

公开(公告)日：2003-01-14

申请号：JP9413494

申请日：1994-05-06

Applicant: 株式会社日立製作所

Inventor： 泰夫 中川 ,  文和 伊藤 ,  靖彦 原 ,  建興 宮内 ,  有一 濱村

IPC: B23Q41/08 ,  G05B19/418 ,  G06F17/50 ,  H01L21/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01L22/20 ,  H01L2924/0002 ,  Y02P90/22 ,  Y02P90/26 ,  H01L2924/00