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公开(公告)号:JP4201739B2
公开(公告)日:2008-12-24
申请号:JP2004161844
申请日:2004-05-31
Applicant: 日本電子材料株式会社 , 独立行政法人物質・材料研究機構
CPC classification number: G01R1/06755 , G01R1/06733
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公开(公告)号:JP4714831B2
公开(公告)日:2011-06-29
申请号:JP2005161070
申请日:2005-06-01
Applicant: 独立行政法人物質・材料研究機構
CPC classification number: H01L2924/0002 , H01L2924/00
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10.
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