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公开(公告)号:JP3525330B2
公开(公告)日:2004-05-10
申请号:JP9298898
申请日:1998-04-06
Applicant: 株式会社アプコ , 独立行政法人物質・材料研究機構
IPC: B25H7/04 , H01J37/244 , H01J37/305 , H01L21/027 , H01L21/302 , H01L21/3065
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公开(公告)号:JP3735674B2
公开(公告)日:2006-01-18
申请号:JP2004100764
申请日:2004-03-30
Applicant: 独立行政法人物質・材料研究機構
IPC: C01B31/02
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公开(公告)号:JP4151053B2
公开(公告)日:2008-09-17
申请号:JP2004120028
申请日:2004-04-15
Applicant: 株式会社竹中工務店 , 独立行政法人物質・材料研究機構
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10.
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