公开(公告)号：KR102226887B1

公开(公告)日：2021-03-12

申请号：KR1020147027394A

申请日：2013-02-28

申请人： 오아시스 머티리얼 코포레이션

发明人： 조나단 에이치 해리스 ,  프랑크 제이. 폴레스 ,  로버트 제이. 테쉬 ,  스테펜 피. 누텐스 ,  소린 디네스쿠 ,  윌리엄 엘. 브레드버리 ,  케이시 씨. 클로센

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/67 ,  H01L21/687

CPC分类号： H01L21/683 ,  C04B37/005 ,  B32B18/00 ,  C04B35/581 ,  C04B35/62813 ,  C04B37/001 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67248 ,  H01L21/68785 ,  H01L21/68792 ,  H05B3/265 ,  H05K13/00 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/3865 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/6581 ,  C04B2235/6582 ,  C04B2235/6587 ,  C04B2235/668 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/85 ,  C04B2235/9607 ,  C04B2235/9615 ,  C04B2237/064 ,  C04B2237/066 ,  C04B2237/08 ,  C04B2237/366 ,  C04B2237/555 ,  C04B2237/568 ,  C04B2237/60 ,  C04B2237/68 ,  C04B2237/704 ,  C04B2237/765 ,  C04B2237/80 ,  C04B2237/84 ,  Y10T156/10 ,  Y10T403/479

摘要： 둘 이상의 알루미늄 질화물("AIN") 세라믹 부품의 모놀리식, 전밀폐식 연결 또는 결합이 부품들 사이의 접촉 영역 부근의 천이 액체상 소결을 촉진함으로써 이루어진다. 첫 번째 접근법에서, AIN 입자는 연결 페이스트에서 이트륨 산화물(Y
2 O
3 )과 같은 희토류 산화물 소결화 첨가제와 조합되고, 부품들을 서로 용접하기 위해 최종 연소하기 전에 연소된 세라믹 예비성형 부품의 연결 표면 사이에 도포될 수 있고, 두 번째 접근법에서, 첨가제는 그린(green) 혼합물에 부가되고, 상이한 수축 아스펙트 비를 가지는 부품들이 합쳐지고 부분적 압력의 첨가제를 함유하는 대기에서 동시소성된다. 첨가제는 최종 연소 도중 접촉 영역 내 세라믹 계면 입자의 표면에 존재하는 액체상의 습윤 및 확산을 촉진한다. 그러한 공정은 집적 회로 제작에서 사용되는 세라믹 서셉터와 같은 복합 세라믹 구조를 형성하기 위해 사용될 수 있다. 부품은 부품들 사이의 계면을 통해 전기적으로 상호접속될 수 있는 다수의 내장된 금속배선 전자 트레이스를 가질 수 있다.